Band für Wafer

Das Band kann auch für einen Überkopftransport eingesetzt werden und befördert gleichzeitig mehrere Wafer. Dabei erreicht es eine Geschwindigkeit von maximal fünf Metern pro Sekunde. Das ergibt eine Kapazität von 4.000 Wafern pro Stunde. Montech betont: Im Vergleich zu anderen Handlinglösungen befördert das Vakuum-Transportband die empfindliche Ware schonend und hat nur einen geringen Platzbedarf.

Das Vakuum-Transportband kann mehrere Spuren auf eine Spur zusammenführen und umgekehrt von einer Spur auf mehrere Spuren verteilen. Somit wird ein chaotischer Betrieb möglich. Durch den Einsatz des Vakuum-Transportbandes wird der Bruch von Wafern minimiert. Auch sei die Investition in das Band wesentlich geringer als die Investition in ein Handlingsystem.

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