Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Für Elektronenstrahl-Tools mit hohem Durchsatz und Quellen hoher Intensität

15.02.2006


Eine innovative Technologie aus Israel ermöglicht das Wachstum einzelner Kohlenstoff-Nanoröhren (CNT Carbon Nanotubes) zur Einbettung in Chips oder MEM-Strukturen für fortschrittliche Elektronikanwendungen.



Im Rahmen der Technologie, die sich sich auf das Wachstum von Kohlenstoff-Nanoröhren richtet, findet der kostengünstige Prozess der plasmagestützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD) an verschiedenen Substraten und in 3D-Strukturen Anwendung. Dabei werden einzelne oder Gruppen mehrwandiger Kohlenstoff-Nanoröhren (MWCNT) gezüchtet. Der PECVD-Prozess könnte zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren-Arrays mit vollständiger Kontrolle über Standort und Morphologie der Nanoröhren selbst in 3D-Strukturen genutzt werden. Das Herstellungsverfahren für CNT in Strukturen mikroelektronischer mechanischer Systeme (MEMS) eignet sich zum Ersatz geläufiger Elektronenquellen in zahlreichen Anwendungen.



Die Methode der Kathodenwanne impliziert das Wachstum einzelner Nanoröhren innerhalb einer geschützten Wannenstruktur und resultiert in einer Elektronenquelle eines kalten Feldsenders (FE - Field Emitter) mit hervorragenden Strahleigenschaften. Das Verfahren ermöglicht die Lieferung von Elektronenstrahlen mit einer kleineren Winkelstreuung und somit einer geringeren Interaktion der Elektronen mit den Wänden und Öffnungen innerhalb der zugehörigen Elektronenoptik. Die kalten FE-Elektronenquellen weisen eine starke Helligkeit auf und eignen sich für Elektronenstrahl-Tools mit hohem Durchsatz oder Starkstrom-Quellen. Das Verfahren kann problemlos an spezifische Anwendungen angepasst werden, dazu ist nur minimaler Aufwand bezüglich der Entwicklung von MEMS-Herstellungsverfahren erforderlich.

Auf der Grundlage des modifizierten PECVD-Prozesses und der Kathodenwannen-Methode sowie in Abhängigkeit von der Anwendung werden in einen einzigen Sender-Chip Zufallszahlen für individuell kontrollierbare Elektronenquellen integriert. Der Chip ermöglicht die individuelle oder allgemeine Kontrolle der Absaugspannung und somit des Emissionsstroms. Die Array-Größen können von einer einzelnen Quelle für ein Rasterelektronenmikroskop (SEM - Scanning Electron Microscope) bis hin zu einer Million Ausgangspunkte für Starkstromquellen reichen.

Der Feldsender-Chip der Kohlenstoff-Nanoröhre kann auf zahlreichen Gebieten Anwendung finden, wie beispielsweise bei Quellen für Elektronenstrahl-Tools mit hohem Durchsatz in der Halbleiterproduktion und der Herstellung von Analyseinstrumenten. Aufgrund ihrer außergewöhnlichen Eigenschaften könnten sie auch die geläufigen Starkstrom-Elektronenquellen von Geräten zum Elektronenstrahl-Schweißen und zur Oberflächenbehandlung ersetzen. Darüber hinaus könnten sie als Ionisierungsquellen für Massenspektrometrie, als Kaltkathodenquellen für Röntgenröhren, in der Vakuumelektronik und als Teilchenbeschleuniger eingesetzt werden.

Die Technologie ist durch den Entwickler über die kompletten geistigen Eigentumsrechte geschützt, was wiederum die Bemühungen zur Geschäftsentwicklung erleichtert. Zur Entwicklung spezieller Anwendungen und zur Vermarktung werden Hersteller von Tools zur Halbleiterproduktion, nanotechnologischen Produkten, Ionisierungsgeräten und Analyseinstrumenten gesucht.

Chanan Shiloh | ctm
Weitere Informationen:
http://www.irc.org.il

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Informationstechnologie:

nachricht Maschinelles Lernen: Neue Methode ermöglicht genaue Extrapolation
13.07.2018 | Institute of Science and Technology Austria

nachricht Gegen das Verblassen historischer Dokumente
11.07.2018 | Hochschule für Technik, Wirtschaft und Kultur Leipzig

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Informationstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Superscharfe Bilder von der neuen Adaptiven Optik des VLT

Das Very Large Telescope (VLT) der ESO hat das erste Licht mit einem neuen Modus Adaptiver Optik erreicht, die als Lasertomografie bezeichnet wird – und hat in diesem Rahmen bemerkenswert scharfe Testbilder vom Planeten Neptun, von Sternhaufen und anderen Objekten aufgenommen. Das bahnbrechende MUSE-Instrument kann ab sofort im sogenannten Narrow-Field-Modus mit dem adaptiven Optikmodul GALACSI diese neue Technik nutzen, um Turbulenzen in verschiedenen Höhen in der Erdatmosphäre zu korrigieren. Damit ist jetzt möglich, Bilder vom Erdboden im sichtbaren Licht aufzunehmen, die schärfer sind als die des NASA/ESA Hubble-Weltraumteleskops. Die Kombination aus exquisiter Bildschärfe und den spektroskopischen Fähigkeiten von MUSE wird es den Astronomen ermöglichen, die Eigenschaften astronomischer Objekte viel detaillierter als bisher zu untersuchen.

Das MUSE-Instrument (kurz für Multi Unit Spectroscopic Explorer) am Very Large Telescope (VLT) der ESO arbeitet mit einer adaptiven Optikeinheit namens GALACSI. Dabei kommt auch die Laser Guide Stars Facility, kurz ...

Im Focus: Diamant – ein unverzichtbarer Werkstoff der Fusionstechnologie

Forscher am KIT entwickeln Fenstereinheiten mit Diamantscheiben für Fusionsreaktoren – Neue Scheibe mit Rekorddurchmesser von 180 Millimetern

Klimafreundliche und fast unbegrenzte Energie aus dem Fusionskraftwerk – für dieses Ziel kooperieren Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler weltweit. Bislang...

Im Focus: Wiener Forscher finden vollkommen neues Konzept zur Messung von Quantenverschränkung

Quantenphysiker/innen der ÖAW entwickelten eine neuartige Methode für den Nachweis von hochdimensional verschränkten Quantensystemen. Diese ermöglicht mehr Effizienz, Sicherheit und eine weitaus geringere Fehleranfälligkeit gegenüber bisher gängigen Mess-Methoden, wie die Forscher/innen nun im Fachmagazin „Nature Physics“ berichten.

Die Vision einer vollständig abhörsicheren Übertragung von Information rückt dank der Verschränkung von Quantenteilchen immer mehr in Reichweite. Wird eine...

Im Focus: Was passiert, wenn wir das Atomgitter eines Magneten plötzlich aufheizen?

„Wir haben jetzt ein klares Bild davon, wie das heiße Atomgitter und die kalten magnetischen Spins eines ferrimagnetischen Nichtleiters miteinander ins Gleichgewicht gelangen“, sagt Ilie Radu, Wissenschaftler am Max-Born-Institut in Berlin. Das internationale Forscherteam fand heraus, dass eine Energieübertragung sehr schnell stattfindet und zu einem neuartigen Zustand der Materie führt, in dem die Spins zwar heiß sind, aber noch nicht ihr gesamtes magnetisches Moment verringert haben. Dieser „Spinüberdruck“ wird durch wesentlich langsamere Prozesse abgebaut, die eine Abgabe von Drehimpuls an das Gitter ermöglichen. Die Forschungsergebnisse sind jetzt in "Science Advances" erschienen.

Magnete faszinieren die Menschheit bereits seit mehreren tausend Jahren und sind im Zeitalter der digitalen Datenspeicherung von großer praktischer Bedeutung....

Im Focus: Erste Beweise für Quelle extragalaktischer Teilchen

Zum ersten Mal ist es gelungen, die kosmische Herkunft höchstenergetischer Neutrinos zu bestimmen. Eine Forschungsgruppe um IceCube-Wissenschaftlerin Elisa Resconi, Sprecherin des Sonderforschungsbereichs SFB1258 an der Technischen Universität München (TUM), liefert ein wichtiges Indiz in der Beweiskette, dass die vom Neutrino-Teleskop IceCube am Südpol detektierten Teilchen mit hoher Wahrscheinlichkeit von einer Galaxie in vier Milliarden Lichtjahren Entfernung stammen.

Um andere Ursprünge mit Gewissheit auszuschließen, untersuchte das Team um die Neutrino-Physikerin Elisa Resconi von der TU München und den Astronom und...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

Stadtklima verbessern, Energiemix optimieren, sauberes Trinkwasser bereitstellen

19.07.2018 | Veranstaltungen

Innovation – the name of the game

18.07.2018 | Veranstaltungen

Wie geht es unserer Ostsee? Ein aktueller Zustandsbericht

17.07.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Automatisiertes Befüllen von Regalen im Einzelhandel

19.07.2018 | Verkehr Logistik

Mobilfunkstrahlung kann die Gedächtnisleistung bei Jugendlichen beeinträchtigen

19.07.2018 | Studien Analysen

Mit dem Nano-U-Boot gezielt gegen Kopfschmerzen und Tumore

19.07.2018 | Medizin Gesundheit

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics