Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Für Elektronenstrahl-Tools mit hohem Durchsatz und Quellen hoher Intensität

15.02.2006


Eine innovative Technologie aus Israel ermöglicht das Wachstum einzelner Kohlenstoff-Nanoröhren (CNT Carbon Nanotubes) zur Einbettung in Chips oder MEM-Strukturen für fortschrittliche Elektronikanwendungen.



Im Rahmen der Technologie, die sich sich auf das Wachstum von Kohlenstoff-Nanoröhren richtet, findet der kostengünstige Prozess der plasmagestützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD) an verschiedenen Substraten und in 3D-Strukturen Anwendung. Dabei werden einzelne oder Gruppen mehrwandiger Kohlenstoff-Nanoröhren (MWCNT) gezüchtet. Der PECVD-Prozess könnte zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren-Arrays mit vollständiger Kontrolle über Standort und Morphologie der Nanoröhren selbst in 3D-Strukturen genutzt werden. Das Herstellungsverfahren für CNT in Strukturen mikroelektronischer mechanischer Systeme (MEMS) eignet sich zum Ersatz geläufiger Elektronenquellen in zahlreichen Anwendungen.



Die Methode der Kathodenwanne impliziert das Wachstum einzelner Nanoröhren innerhalb einer geschützten Wannenstruktur und resultiert in einer Elektronenquelle eines kalten Feldsenders (FE - Field Emitter) mit hervorragenden Strahleigenschaften. Das Verfahren ermöglicht die Lieferung von Elektronenstrahlen mit einer kleineren Winkelstreuung und somit einer geringeren Interaktion der Elektronen mit den Wänden und Öffnungen innerhalb der zugehörigen Elektronenoptik. Die kalten FE-Elektronenquellen weisen eine starke Helligkeit auf und eignen sich für Elektronenstrahl-Tools mit hohem Durchsatz oder Starkstrom-Quellen. Das Verfahren kann problemlos an spezifische Anwendungen angepasst werden, dazu ist nur minimaler Aufwand bezüglich der Entwicklung von MEMS-Herstellungsverfahren erforderlich.

Auf der Grundlage des modifizierten PECVD-Prozesses und der Kathodenwannen-Methode sowie in Abhängigkeit von der Anwendung werden in einen einzigen Sender-Chip Zufallszahlen für individuell kontrollierbare Elektronenquellen integriert. Der Chip ermöglicht die individuelle oder allgemeine Kontrolle der Absaugspannung und somit des Emissionsstroms. Die Array-Größen können von einer einzelnen Quelle für ein Rasterelektronenmikroskop (SEM - Scanning Electron Microscope) bis hin zu einer Million Ausgangspunkte für Starkstromquellen reichen.

Der Feldsender-Chip der Kohlenstoff-Nanoröhre kann auf zahlreichen Gebieten Anwendung finden, wie beispielsweise bei Quellen für Elektronenstrahl-Tools mit hohem Durchsatz in der Halbleiterproduktion und der Herstellung von Analyseinstrumenten. Aufgrund ihrer außergewöhnlichen Eigenschaften könnten sie auch die geläufigen Starkstrom-Elektronenquellen von Geräten zum Elektronenstrahl-Schweißen und zur Oberflächenbehandlung ersetzen. Darüber hinaus könnten sie als Ionisierungsquellen für Massenspektrometrie, als Kaltkathodenquellen für Röntgenröhren, in der Vakuumelektronik und als Teilchenbeschleuniger eingesetzt werden.

Die Technologie ist durch den Entwickler über die kompletten geistigen Eigentumsrechte geschützt, was wiederum die Bemühungen zur Geschäftsentwicklung erleichtert. Zur Entwicklung spezieller Anwendungen und zur Vermarktung werden Hersteller von Tools zur Halbleiterproduktion, nanotechnologischen Produkten, Ionisierungsgeräten und Analyseinstrumenten gesucht.

Chanan Shiloh | ctm
Weitere Informationen:
http://www.irc.org.il

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Informationstechnologie:

nachricht Diamanten, die besten Freunde der Quantenwissenschaft - Quantenzustand in Diamanten gemessen
21.02.2019 | Universität Ulm

nachricht Schachmatt durch CrazyAra: Künstliche Intelligenz schlägt mehrfachen Weltmeister im Einsetzschach
19.02.2019 | Technische Universität Darmstadt

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Informationstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Materialdesign in 3D: vom Molekül bis zur Makrostruktur

Mit additiven Verfahren wie dem 3D-Druck lässt sich nahezu jede beliebige Struktur umsetzen – sogar im Nanobereich. Diese können, je nach verwendeter „Tinte“, die unterschiedlichsten Funktionen erfüllen: von hybriden optischen Chips bis zu Biogerüsten für Zellgewebe. Im gemeinsamen Exzellenzcluster „3D Matter Made to Order” wollen Forscherinnen und Forscher des Karlsruher Instituts für Technologie (KIT) und der Universität Heidelberg die dreidimensionale additive Fertigung auf die nächste Stufe heben: Ziel ist die Entwicklung neuer Technologien, die einen flexiblen, digitalen Druck ermöglichen, der mit Tischgeräten Strukturen von der molekularen bis zur makroskopischen Ebene umsetzen kann.

„Der 3D-Druck bietet gerade im Mikro- und Nanobereich enorme Möglichkeiten. Die Herausforderungen, um diese zu erschließen, sind jedoch ebenso gewaltig“, sagt...

Im Focus: Diamanten, die besten Freunde der Quantenwissenschaft - Quantenzustand in Diamanten gemessen

Mithilfe von Kunstdiamanten gelang einem internationalen Forscherteam ein weiterer wichtiger Schritt in Richtung Hightech-Anwendung von Quantentechnologie: Erstmals konnten die Wissenschaftler und Wissenschaftlerinnen den Quantenzustand eines einzelnen Qubits in Diamanten elektrisch zu messen. Ein Qubit gilt als die Grundeinheit der Quanteninformation. Die Ergebnisse der Studie, die von der Universität Ulm koordiniert wurde, erschienen jüngst in der renommierten Fachzeitschrift Science.

Die Quantentechnologie gilt als die Technologie der Zukunft. Die wesentlichen Bausteine für Quantengeräte sind Qubits, die viel mehr Informationen verarbeiten...

Im Focus: Wasser ist homogener als gedacht

Um die bekannten Anomalien in Wasser zu erklären, gehen manche Forscher davon aus, dass Wasser auch bei Umgebungsbedingungen aus einer Mischung von zwei Phasen besteht. Neue röntgenspektroskopische Analysen an BESSY II, der ESRF und der Swiss Light Source zeigen jedoch, dass dies nicht der Fall ist. Bei Raumtemperatur und normalem Druck bilden die Wassermoleküle ein fluktuierendes Netz mit durchschnittlich je 1,74 ± 2.1% Donator- und Akzeptor-Wasserstoffbrückenbindungen pro Molekül, die eine tetrahedrische Koordination zwischen nächsten Nachbarn ermöglichen.

Wasser ist das „Element“ des Lebens, die meisten biologischen Prozesse sind auf Wasser angewiesen. Dennoch gibt Wasser noch immer Rätsel auf. So dehnt es sich...

Im Focus: Licht von der Rolle – hybride OLED ermöglicht innovative funktionale Lichtoberflächen

Bislang wurden OLEDS ausschließlich als neue Beleuchtungstechnologie für den Einsatz in Leuchten und Lampen verwendet. Dabei bietet die organische Technologie viel mehr: Als Lichtoberfläche, die sich mit den unterschiedlichsten Materialien kombinieren lässt, kann sie Funktionalität und Design unzähliger Produkte verändern und revolutionieren. Beispielhaft für die vielen Anwendungsmöglichkeiten präsentiert das Fraunhofer FEP gemeinsam mit der EMDE development of light GmbH im Rahmen des EU-Projektes PI-SCALE auf der Münchner LOPEC (19. bis 21. März 2019), erstmals in Textildesign integrierte hybride OLEDs.

Als Anbieter von Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen auf dem Gebiet der organischen Elektronik setzt sich das Fraunhofer FEP schon lange mit der...

Im Focus: Light from a roll – hybrid OLED creates innovative and functional luminous surfaces

Up to now, OLEDs have been used exclusively as a novel lighting technology for use in luminaires and lamps. However, flexible organic technology can offer much more: as an active lighting surface, it can be combined with a wide variety of materials, not just to modify but to revolutionize the functionality and design of countless existing products. To exemplify this, the Fraunhofer FEP together with the company EMDE development of light GmbH will be presenting hybrid flexible OLEDs integrated into textile designs within the EU-funded project PI-SCALE for the first time at LOPEC (March 19-21, 2019 in Munich, Germany) as examples of some of the many possible applications.

The Fraunhofer FEP, a provider of research and development services in the field of organic electronics, has long been involved in the development of...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

Unendliche Weiten: Geophysiker nehmen den Weltraum ins Visier

21.02.2019 | Veranstaltungen

Tagung rund um zuverlässige Verbindungen

20.02.2019 | Veranstaltungen

LastMileLogistics Conference in Frankfurt befasst sich mit Lieferkonzepten für Ballungsräume

19.02.2019 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Materialdesign in 3D: vom Molekül bis zur Makrostruktur

21.02.2019 | Verfahrenstechnologie

Neue Mechanismen der Regulation von Nervenstammzellen

21.02.2019 | Biowissenschaften Chemie

Fledermäusen auf der Spur: Miniatur-Sensoren entschlüsseln Mutter-Kind-Beziehung

21.02.2019 | Biowissenschaften Chemie

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics