Fraunhofer FEP erhält Preis für das innovativste Produkt

Die Wissenschaftler des Dresdener Fraunhofer-Instituts für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP stellten auf der Industrieausstellung »VacuumTechExpo« vom 16.–18. April 2013 ihre Präzisionstechnologien und -prozesse zur Hochratebeschichtung von besonders anspruchsvollen Dünnschichten vor. Besonders eine Spezialkomponente für die Vakuum-Präzisionsbeschichtung, das Doppel-Ring-Magnetron DRM 400, überzeugte dabei die Jury der russischen Ausstellungsorganisation MVK und der russischen Vakuumgesellschaft.

Das DRM 400 ist eine Beschichtungsquelle zur Veredelung von Oberflächen für Anwendungen, die besonders präzise abgeschiedene Schichten erfordern. Optische Schichten für Laseranwendungen oder Brillengläser müssen beispielsweise mit einer extremen Genauigkeit aufgebracht werden, da bereits Schichtdickenabweichungen von wenigen Nanometern zum Produktausschuss führen.

Der Doppel-Ring-Aufbau des DRM 400 ermöglicht es, solche präzisen Schichten auf Substraten bis zu einem Durchmesser von 200 mm abzuscheiden. Mit dem verwendeten Sputterverfahren können reine Metallschichten, Verbindungsschichten, Gradientenschichten oder komplexe Mehrlagen-Schichtsysteme wirtschaftlich aufgebracht werden. Das Fraunhofer FEP verfügt neben langjährigem Prozess-Know-how über die entsprechende Anlagentechnik. Elektrische, optische, akustische oder magnetisch wirksame Schichten können dadurch auch im Pilotmaßstab präzise und homogen abgeschieden werden.

Deutsche Vakuumtechnologien für die Optik, Sensorik und Elektronik fanden aber auch über das DRM 400 hinaus bei russischen Messebesuchern großen Anklang. Auf dem, vom Fraunhofer FEP organisierten Technologietag »Funktionale Beschichtungen für die Optik, Sensorik und Elektronik« am 16. April 2013 stellten kleine und mittelständische deutsche Unternehmen ihre neuesten Entwicklungen und Produkte deutscher Vakuumtechnologien vor.

Die Technologien stießen besonders bei russischen Industrie- und Forschungsvertretern der Branchen Optik, Batterietechnologie und Folienbeschichtung auf großes Interesse, sodass weitergehende Kooperationen initiiert werden konnten.

Das Programm des deutschen Technologietages auf der »VacuumTechExpo« finden Sie unter:

www.fep.fraunhofer.de/de/veranstaltungen/rueckblick_2013/vacuumtechexpo.html

Nähere Informationen zur Präzisionsbeschichtungstechnologie des Fraunhofer FEP finden Sie unter:

www.fep.fraunhofer.de/de/Geschaeftsfelder/Praezisionsbeschichtung.html