Innovative Analytik in der Nanotechnologie

Die im Herbst 2006 vertraglich vereinbarte Zusammenarbeit zwischen Qimonda Dresden und dem FZD über zunächst 2 Jahre schließt neben der Nutzung und Weiterentwicklung der im FZD vorhandenen Analysentechnik auch die enge Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT) ein.

Die stetige Verkleinerung der Strukturdimensionen bei Speicherchips erfordert zunehmend den Ersatz bisher eingesetzter Materialsysteme. Qimonda entwickelt am Standort Dresden die nächsten Technologien für Speicherbauelemente. Für diese Technologien spielen neue Materialen eine wichtige Rolle zum Erreichen der Produktspezifikationen bei ständig höherer Speicherdichte.

Bei der Entwicklung neuer Materialien und Schichtsysteme sowie deren Integration in einen Fertigungsprozess nimmt die Analytik eine wichtige Funktion ein. Da die Schichten inzwischen mitunter nur noch wenige Atomlagen „dick“ sind, werden Methoden benötigt, die einerseits eine Tiefenauflösung im Bereich einzelner Atomlagen besitzen und andererseits für solch geringe Materialmengen empfindlich genug sind.

Hier trafen sich das Interesse von Qimonda Dresden und die analytischen Möglichkeiten im Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD) in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer CNT. Mit der hochauflösenden Ionenstrahlanalytik gelingt es, Element-Tiefenprofile an ultradünnen Schichten mit einer sehr hohen Tiefenauflösung zu messen und diese Profile hinsichtlich Tiefe und Elementkonzentration standardfrei zu quantifizieren. Die Vertragspartner werden dieses Verfahren weiter qualifizieren, damit die zukünftigen Anforderungen aus den neuen Material- und Schichtsystemen insbesondere bei der Empfindlichkeit erfüllt werden. Ein anderes Feld der Zusammenarbeit ist die röntgenanalytische Charakterisierung der strukturellen Schichteigenschaften, z.B. deren kristalline Phasen und die Stabilität bei der Anwendung thermischer Prozessschritte. Von besonderem Interesse ist dabei die Einbindung des Synchrotron-Messplatzes des FZD (Rossendorf Beamline) an der Europäischen Synchrotron-Strahlungsquelle in Grenoble. Durch die um Größenordnungen höhere Strahlintensität und die Möglichkeit der Energievariation der Röntgenstrahlung ist eine sehr hohe Empfindlichkeit und optimale Anpassung an unterschiedliche Materialsysteme gegeben.

Weitere Informationen:
Dr. Johannes von Borany; Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung; Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD);
Tel.: 0351 260 – 3378; j.v.borany@fzd.de
Dr. Rainer Käsmaier; Physikalische Fehleranalyse, Qimonda Dresden GmbH & Co OHG; rainer.kaesmaier@qimonda.com
Pressekontakt:
Dr. Christine Bohnet
Presse- und Öffentlichkeitsarbeit, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD)
Bautzner Landstr. 128, 01328 Dresden
Tel.: 0351 260 – 2450 oder 0160 969 288 56
Fax: 0351 260 – 2700
c.bohnet@fzd.de
Juliane Neumann
Management Assistant & Public Relation, Fraunhofer CNT
Center Nanoelektronische Technologien
Tel.: 0351 2607 – 3001
Fax: 0351 2607 – 3005
juliane.neumann@cnt.fraunhofer.de
Jenny Engländer
Head of Communication
Qimonda Dresden GmbH & Co. OHG
Tel.: 0351 886 – 1115
Fax: 0351 886 – 1147
jenny.englaender@qimonda.com
Über FZD:
Das FZD erbringt wesentliche Beiträge der Grundlagenforschung sowie der anwendungsorientierten Forschung und Entwicklung zu folgenden Fragestellungen:

o Wie verhält sich Materie unter dem Einfluss hoher Felder und in winzigen Dimensionen?

o Wie können Tumor- und Stoffwechselerkrankungen frühzeitig erkannt und wirksam behandelt werden?

o Wie schützt man Mensch und Umwelt vor technischen Risiken?

Dazu werden 6 Großgeräte eingesetzt, die europaweit unikale Untersuchungs-möglichkeiten auch für auswärtige Nutzer bieten.

Das FZD ist mit ca. 650 Mitarbeitern das größte Institut der Leibniz-Gemeinschaft (www.wgl.de) und verfügt über ein jährliches Budget von rund 54 Mill. Euro. Hinzu kommen etwa 7 Mill. Euro aus nationalen und europäischen Förderprojekten sowie aus Verträgen mit der Industrie.

Über Qimonda:

Die Qimonda AG ist der weltweit zweitgrößte DRAM-Hersteller in den ersten neun Monaten des Kalenderjahres 2006 laut Marktforscher Gartner Dataquest. Das neue Speicherunternehmen Qimonda AG wurde am 1. Mai 2006 aus der Infineon Technologies AG ausgegliedert und ging am 9. August 2006 an der New York Stock Exchange an die Börse. Im Geschäftsjahr 2006 erzielte Qimonda mit weltweit rund 12.000 Mitarbeitern einen Umsatz von 3,81 Milliarden Euro. Qimonda kann auf fünf 300-mm-Fertigungsstätten auf drei Kontinenten zugreifen und betreibt fünf bedeutende Forschungs- und Entwicklungseinrichtungen, wobei Dresden das unternehmensweit führende Forschungs- und Entwicklungszentrum ist. Das Unternehmen ist ein führender Zulieferer von DRAM-Produkten für PC und Server-Hersteller und fokussiert sich zunehmend auf Anwendungen im Bereich Grafik, Mobile Kommunikation und Consumer-Anwendungen auf Basis seiner Strom sparenden Trench-Technologie.