Errichtung des Fraunhofer-Zentrums für Nanoelektronische Technologien CNT in Dresden

Der Senat der Fraunhofer-Gesellschaft hat die Errichtung des Fraunhofer-Zentrums für Nanoelektronische Technologien CNT in Dresden unter der Leitung von Dr. Peter Kücher mit Wirkung ab 1.12.2004 beschlossen.

Grundlage für die Errichtung des Fraunhofer-Zentrums für Nanoelektronische Technologien CNT in Dresden ist das mit den Industriepartnern Infineon Technologies AG und Advanced Micro Devices AMD sowie dem Bundesministerium für Bildung und Forschung und der sächsischen Landesregierung unterzeichnete Memorandum of
Understanding vom 30.08.2004. Damit wird Dresden zu einem der wichtigsten Standorte der europäischen Spitzenforschung auf dem Gebiet der Nanoelektronik. »Zur Zeit laufen die Verhandlungen mit den Industriepartnern zur näheren Ausgestaltung des Kooperationsvertrags«, berichtet Fraunhofer-Präsident Prof. Hans-Jörg Bullinger. Ziel ist, ab Mitte nächsten Jahres den Betrieb des CNT in den bis dahin von Infineon fertig gestellten Räumen in Dresden aufnehmen zu können.

Der wirtschaftliche Erfolg von Halbleiterherstellern hängt ganz entscheidend davon ab, dass sie neue Chips mit Milliarden von Transistoren und Speicherzellen schnell, effektiv und fehlerfrei entwerfen, testen und fertigen können. Nun steht der Vorstoß in den Nanometer-Bereich bevor. Da neue Forschungsergebnisse nur in den modernsten Fertigungslinien erprobt werden können, ist es sinnvoll, Forschung und Entwicklung direkt am Standort industrieller Produktion in public private partnership zu betreiben.

Aus diesen Gründen wird das CNT bis zu 800 qm Reinraumflächen – und Infrastrukturleistungen von der Infineon AG in unmittelbarer Nähe zu deren Fertigung nutzen.

Mit der Planung für das CNT wurde der von der Fraunhofer-Gesellschaft designierte Leiter Dr. Peter Kücher beauftragt. Seine langjährige Erfahrung im Bereich Forschung und Entwicklung sowie in der Fertigung aber auch im Aufbau des Geschäftsgebiets Flash für Infineon prädestinieren ihn für diese Aufgabe. Unter anderem war er als Leiter des Joint Venture SEMICONDUCTOR 300 einer der Pioniere für die Entwicklung der Fertigungstechnologie auf 300 mm Siliziumscheiben.

Dresden bietet in Deutschland mit der laufenden 300 mm-Fertigung der Infineon AG und der in Kürze verfügbaren 300 mm-Fertigung von AMD ausgezeichnete Standortbedingungen für eine partnerschaftlich von der Fraunhofer-Gesellschaft betriebene Forschungsplattform für Nanoelektronische Technologien, die offen ist für die Zusammenarbeit mit Material- und Geräteherstellern auf der einen und Forschungsinstituten auf der anderen Seite.
»Das CNT hat damit das Potenzial, ein europäisches Forschungszentrum – vergleichbar mit dem LETI in Frankreich und dem IMEC in Belgien – zu werden und die europäische Kooperation in der Nano-elektronik gemeinsam mit diesen voranzutreiben«, stellt Prof. Bullinger die europäische Perspektive dar.

Das CNT konzentriert sich auf die Bearbeitung ausgewählter Prozessschritte für die Fertigung von high-density Speicherbausteinen und high-performance Mikroprozessoren. Für die Fraunhofer-Gesellschaft eröffnet sich die Möglichkeit, Kompetenzen ihrer Institute in den Bereichen Material- und Schichtsysteme, Basisprozesse, Aufbau- und Verbindungstechnologien, Entwurfstechniken und Lithographie einzubringen. Im stationären Betrieb des CNT werden so rund 100 eigene und aus den Unternehmen abgeordnete Entwicklungs- und Fertigungsingenieure zusammenarbeiten.

Für die Erstausstattung sind 80 Mio. Euro vorgesehen, die vom Freistaat Sachsen und dem Bund getragen werden. Die Industriepartner planen in Abstimmung mit der Fraunhofer-Gesellschaft #in den nächsten fünf Jahren Forschungsprojekte mit einem Volumen von rund 170 Mio. Euro.

Fraunhofer-Gesellschaft und Industriepartner streben den Betrieb einer dauerhaften Forschungsplattform an. Die Vertragsvereinbarung sieht zunächst eine Laufzeit von fünf Jahren vor, an deren Ende eine gemeinsame Evaluation stehen wird. Entscheidend für die Fortsetzung werden Erfolg und Marktentwicklungen auf der einen und die Entwicklung der Förderlandschaft auf der anderen Seite sein.