Preiswertes und flexibles Messen durch neuartiges optisches Messsystem

Das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT präsentiert am Fraunhofer-Vision-Stand auf der Control 2001 ein neuartiges optisches Messsystem zur flexiblen und kostengünstigen Messung von Mikrostrukturen.
Besonderheit des Systems ist die Verwendung eines sogenannten Digital Micromirror DeviceTM (DMDTM), einer Matrix aus fast 800 000 Mikrospiegeln. Jeder einzelne Mikrospiegel hat eine Kantenlänge von 16 m und kann individuell um plus oder minus zehn Grad verkippt werden.

Neben dem »klassischen« Einsatz von DMD im Bereich der digitalen Videoprojektion lassen sich auch andere Anwendungen erschließen: In der optischen Messtechnik beispielsweise kann die neue Technologie zur Messung bifokaler Kontaktlinsen oder zur Verschleißprüfung von DVD- oder CD-Prägestempeln eingesetzt werden. Die DMD-Technologie ermöglicht individuelle Beleuchtung, flexible Blendeneinstellungen und ist zudem preiswerter als konventionelle Standardlösungen.

Jeder Mikrospiegel lässt sich als einzelne optische Blende einsetzen und dynamisch an unterschiedliche Messaufgaben anpassen. Dadurch wird eine höhere Flexibilität hinsichtlich Scanbereich, lateraler Schrittweite, Auflösung und Messgeschwindigkeit erzielt. Ein weiterer Vorteil der DMD-Technologie ist die Tatsache, dass ein Produkt aus dem Massenmarkt zum Einsatz kommt, während bislang eingesetzte mechanische Komponenten in der Regel Speziallösungen aus Nischenmärkten darstellten.

Im Rahmen des von der Europäischen Kommission geförderten Projekts wurde in enger Zusammenarbeit mit internationalen Projektpartnern aus Forschung und Industrie am Fraunhofer IPT ein Prototyp entwickelt. Projektpartner sind AXXICOM, GFM, Gruber, Nanofocus, Nederlands Meetinstituut NMI, Procornea Nederland BV und die Technische Universität Eindhoven.

Die Markteinführung durch einen der Projektpartner könnte im Laufe des Jahres 2002 erfolgen.

Messedaten:
Control 2001, Sinsheim
8.-12. Mai 2001
Halle 3, 3407

Pressekontakt:
Regina Fischer
Fraunhofer-Allianz Vision
Am Weichselgarten 3
91058 Erlangen
Tel. 09131/776-530
Fax 0 91 31/776-599
E-Mail: vision@fhg.de
http://vision.fhg.de

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Regina Fischer idw

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