CrossBeam-System für die Nanotechnologie

„Wir sind einer der Pioniere für diese Klasse von kombinierten Partikelstrahlsystemen“, erläuterte der Leiter des Produktmanagements, Dr. Thomas Albrecht. AURIGA verfügt über 15 Anschlussstellen für Detektoren. Eine Ladungskompensation ermöglicht es, auch elektrisch nicht leitende Proben wie Glas, Kunststoffe und viele biologische Präparate mit der vollen Funktionalität sämtlicher Detektoren zu untersuchen. Die Detektion von Rückstreuelektronen und Sekundärelektronen zur Bildgebung wird dadurch ebenso möglich wie eine Vielzahl analytischer Verfahren wie etwa energiedispersive und wellenlängendispersive Röntgenstrahlanalyse oder Massenspektrometrie von Sekundärionen (SIMS). Die eingesetzte Ionenstrahlsäule bietet eine Bildauflösung von 2,5 nm. Zusätzlich steht ein Gasinjektionssystem mit bis zu fünf elementaren Gasen zur Verfügung, mit dem Proben durch Ätzen oder Abscheiden bearbeitet werden können.