Rauheit polierter Oberflächen mit Weißlichtinterferometrie bestimmen

Durch Einsatz einer externen Lichtquelle findet eine Wärmeentwicklung im Gehäuse nicht statt und mögliche Abbildungsfehler durch Materialexpansion können ausgeschlossen werden. Aufgrund des quadratischen CCD-Chips mit mehr als 1 Mio. Pixel sind ein optischer Zoom oder ein Objektivwechsel (Turret) nicht notwendig. Instabilitäten werden vermieden und eine zeitaufwendige Kalibrierung entfällt.

Die Genauigkeit bei der Peak- und Phasenbestimmung des schnellen CCI-Algorithmus sowie dessen präzise Steuerung des vertikalen Messbereichs, unterstützt durch das geringe Gewicht eines Einzelobjektivs, gewährleisteten eine laterale Auflösung in X- und Y- sowie Z-Richtung von 0,01 nm und ermöglichten es, so die Anforderungen an Rauheitsmessungen zu erfüllen.

Mit einer typischen Messzeit von nur 5 bis 20 Sekunden trage der CCI-Algorithmus zu einem zeiteffizienten Probendurchsatz bei. Anwendungsgebiete finden sich unter anderem in der Optik- und Halbleiterindustrie sowie in der Automobilindustrie.

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Jürgen Schreier MM MaschinenMarkt

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