Koordinaten-Messmaschine für große Bauteile

Die Messmaschine eignet sich für Anwender im Hochtechnologiesektor wie Luft- und Raumfahrtindustrie und für Hersteller von präzisen optischen Geräten wie großen Freiform-Komponenten aus Glas, führt der Hersteller aus.

Messvolumen wurde verdoppelt

Das Messvolumen wurde im Vergleich zum Vorgängermodell auf das Vierzigfache (400 × 400 × 100 mm³) gesteigert und ermögliche die Vermessung großer, komplexer Bauteile. Sollen mehrere Bauteile zeitsparend in einem Durchgang vermessen werden, so lässt sich ein Spezialträger verwenden. Zudem erhöhe sich dadurch die Vergleichbarkeit der Messergebnisse.

Objekt-Position wird gemäß dem Abbe-Prinzip ermittelt

Die eindimensionale Messunsicherheit liegt in allen drei Richtungen bei 45 nm, teilt IBS Recision Engineering mit. Diese Genauigkeit im Nanometerbereich bei großem Messvolumen werde durch mehrere konstruktive Maßnahmen erreicht. Über 3 Planspiegel und 3 Laserinterferometer wird die Position eines Objektes auf einem Tisch gemäß dem Abbe-Prinzip gemessen: Um Parallaxenfehler zu vermeiden, haben die 3 Laserinterferometer ihren virtuellen Schnittpunkt im Messpunkt des Messtasters und sind zusammen mit dem Messtaster in einem steifen Metrology-Frame aus Siliziumkarbid (SiC) eingebaut.

Produkttisch aus Siliziumkarbid ist thermisch stabil

Der Metrology-Frame bewegt sich in Z-Richtung unter Verwendung von Luftlagern über eine Führungsfläche aus Granit. Die Interferometer zeigen dabei immer auf den Mittelpunkt der Messtasterspitze und erfüllen damit das Abbe-Prinzip, erläutert der Hersteller.

Der Produkttisch ist ebenfalls aus Siliziumkarbid und soll sehr steif und thermisch stabil sein. Er ist auf einem Spiegeltisch plaziert, der unter Verwendung von Luftlagern aus porösem Material in X- und Y-Richtung über eine Granitplatte bewegt werden kann.

Der Spiegeltisch besteht aus einem monolithischen Block aus Zerodur mit reflektierenden Beschichtungen, die 3 Spiegel bilden. Er wird direkt auf der Maschine kalibriert unter Berücksichtigung der Ebenheit.

Grundrahmen mit zwei Führungsschienen

Der stabile Grundrahmen des Messgeräts besteht aus zwei Führungsschienen aus Granit, eine für das X-Y-System und eine für das Z-System. Die luftgelagerten Direktantriebe sind jeweils unabhängig von dem Teil, das sie antreiben, montiert. Zusätzlich sollen drei Vibrationsisolatoren Störungen der Messung durch Erschütterungen in der Umgebung des Geräts verhindern.

Der neu entwickelte Messtaster Triskelion gehört zur Ausstattung der Messmaschine. Das Multisensorgerät kann, wie es weiter heißt, jedoch auch mit anderen Tastertypen betrieben werden.