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Kompetenzzentrum Ultrapräzise Oberflächenbearbeitung e. V.


Als eingetragener Verein organisiert das CC UPOB die Zusammenarbeit von Großbetrieben, KMU, Hochschulinstituten und außeruniversitären Forschungsinstituten auf dem Gebiet der Ultrapräzisen Oberflächenbearbeitung.

49 Mitglieder haben sich zusammengeschlossen, um ihre wissenschaftlichen und technischen Kompetenzen zu bündeln. Das gemeinsame Ziel der Mitglieder besteht darin, Möglichkeiten weiterzuentwickeln, um technische Funktionsflächen mit höchster Genauigkeit herzustellen und messtechnisch zu charakterisieren. Dieses Ziel erreicht niemand im technologischen Alleingang, sondern nur durch die Verknüpfung unterschiedlichster Ansätze und Methoden.

Speziell in der Optik und Feinmechanik sind Bearbeitungsverfahren für beliebig geformte Oberflächen, Polierfehlerkorrekturverfahren und Optik-Beschichtungstechniken, sowie Geräteentwicklungen für die sub-100nm- Lithographie und Online-Überwachung bei der Ultrapräzisionsbearbeitung von hoher industrieller Bedeutung. Der Einsatz ultraglatter Linsen in Photolithographie-Belichtungssystemen und auch die Erweiterung der Optiken-Palette zu anderen Wellenlängenfenstern (Röntgenbereich, evtl. Infrarot) wird ebenfalls als ein wichtiges Themenfeld angesehen (z.B. für die Projektions-Röntgenlithographie).

Die Ultrapräzisionstechnik beinhaltet alle Bearbeitungsverfahren, bei denen Körper und Oberflächen mit makroskopischen Abmessungen extrem präzise in Form und Glattheit hergestellt werden. Je präziser geglättet und geformt Oberflächen sind, desto bessere optische Eigenschaften weisen sie auf. Dabei muss jedoch die Bearbeitung von verschiedensten Materialien erforscht werden, da das Spektrum der optisch nutzbaren Wellenlängen sehr breit ist. Neben immer glatter und formgenauer herzustellenden Linsen für den sichtbaren Bereich werden zunehmend Optiken für den Infrarot- und auch den UV- und Röntgenbereich gefordert. Hierzu ist eine zunehmende Perfektionierung der Polierkunst aus einer Kombination konventioneller und total neuer Produktionsverfahren notwendig. Marktperspektiven ergeben sich daher sowohl für Hersteller von Bearbeitungsmaschinen als auch von optischen Komponenten und Substraten. Die Arbeitsgebiete innerhalb des CC UPOB unterscheiden sich nach ihren Methoden deutlich. Entsprechend ist der Kommunikationsbedarf zwischen verwandten Technologien am höchsten. Dem wird durch eine Strukturierung des CC in vier Kompetenzbereiche Rechnung getragen. Diese Bereiche sollen die Kommunikation erleichtern und bereits gewachsene Strukturen in das CC einbeziehen.

Kernbereiche des CC-UPOB sind:

  • Mechanisch/chemische Bearbeitungsverfahren
  • Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungsverfahren
  • Optische Bearbeitungsverfahren und verwandte Gebiete
  • Charakterisierung von Oberflächen

Ergänzende Bereiche:

  • Optische und röntgenoptische Schichten
  • Hochgenaue 3D-Strukturierungen
  • Nanopositionier- und Messsysteme


 

Kompetenzzentrum Ultrapräzise Oberflächenbearbeitung e. V.

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Weitere Informationen: http://www.upob.de