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Fraunhofer-Institut Elektronenstrahl- und Plasmatechnik


Das Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP erforscht und entwickelt Verfahren zur Nutzung von Elektronenstrahlen und Plasmen in Produktionsprozessen. Im Vordergrund steht dabei die Einsatzvorbereitung neuer Technologien. Die Nutzung von Elektronenstrahlen hoher Leistung und von dichten Plasmen gilt als Innovationsschub in der Oberflächentechnik.

Typische Anwendungen im FEP sind das Veredeln von Oberflächen, wie die Modifikation und die Schichtabscheidung mit hohen Raten auf große Flächen durch Bedampfen und Sputtern. Arbeitsschwerpunkte des Instituts sind Verfahrensforschung sowie Prozessführung und alle damit zusammenhängenden Fragen wie Monitoring, Qualitätskontrolle, Reproduzierbarkeit, Aufskalierung und Wirtschaftlichkeit. Neue Lacksysteme können an einer Großanlage im FEP erprobt werden. Besondere Beachtung erfährt die komplexe Erprobung von »Integrated Packages« im FEP.
So können Dual-Magnetron-Systeme bis zu 3 700 mm Länge auf ihr Verhalten im Produktionsbetrieb bereits im FEP auf Herz und Nieren geprüft werden.

Zahlreiche in der internationalen Fachwelt bekannte Wissenschaftler haben eine leitende Funktion übernommen. Das Institut verfügt über umfangreiche Erfahrungen bei der Umsetzung wissenschaftlicher Ergebnisse in die Produktion. Firmen der Metallurgie, Verpackung, Glasveredelung, Mikroelektronik, Automobilindustrie sowie des Maschinenbaus sind bereits Auftraggeber. Arbeiten im Rahmen verschiedener Förderprogramme sichern die notwendige Vorlaufforschung.

Das Institut beschäftigt 98 feste Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter.


 

Fraunhofer-Institut Elektronenstrahl- und Plasmatechnik
FEP

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Weitere Informationen: http://www.fep.fhg.de/