Das CiS Institut für Mikrosensorik ist eine gemeinnützige wirtschaftsnahe Forschungseinrichtung des Freistaats Thüringen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Seit seiner Gründung im Jahr 1993 hat sich das CiS zu einem national wie international anerkannten Kooperationspartner für Industrieunternehmen wie Forschungseinrichtungen entwickelt.

Das Institut hat seinen Sitz im verkehrsgünstig gelegenen Industriezentrum Erfurt-Südost, an dem sich sowohl High-Tech-Produzenten der Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Mikrosensorik als auch Forschungseinrichtungen angesiedelt haben.

Im Jahr 2002 konnte hier das neu errichtete Anwendungszentrum Mikrosystemtechnik bezogen werden. In diesem Zentrum stehen den ca. 60 Mitarbeitern des CiS moderne Reinräume, Labors und Büroräume zur Verfügung.

Arbeitsgebiete

Das Institut widmet sich der Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik bzw. Mikrosensorik/-aktorik. Das CiS versteht sich als marktorientierter F&E-Dienstleister, der sowohl Grundlagenforschung betreibt als auch die umsetzungsorientierte industrielle Forschung und Entwicklung von der Machbarkeitsstudie über das Prototyping bis zur Produktion von Kleinserien mit dem entsprechenden Equipment und Know-how betreut.

Die Arbeitsgebiete umfassen:

• Mikrosystemtechnik
  
• Mikrosensorikkomponenten und -systeme
  
• Sensordesign
  
• Waferprocessing
  
• Aufbau- und Verbindungstechnik
  
• Mess- und Prüftechnik
  
• Festkörperanalytik
  
• Technologietransfer

Leistungsangebot

• industrienahe Forschung und Entwicklung zu Mikrosensorikkomponenten und -systemen im Rahmen von Verbundprojekten und als Auftragsforschung
  
• kundenspezifische Entwicklung von Sensorikmodulen vom Systementwurf bis zum Prototyping
  
• F&E-Dienstleistungen zu Sensordesign, Waferprocessing, Aufbau- und Verbindungstechniken, Mess- und Prüftechnik, Festkörperanalytik, Technologietransfer und Consulting
  
• Fertigungsservice für Silizium- Wafer und Montage

Anwendungen/Produktlinien

• Silizium-basierte Mikrosensoren für die Detektion von optischen, geometrischen, mechanischen, physiologischen, biologischen und klimatischen Größen unter Nutzung optischer, kapazitiver, impedimetrischer und piezoresistiver Wirkprinzipien
  
• Typische Anwendungen z.B. im Präzisionsmaschinenbau, der Mess- und Regelungstechnik, Medizin- und Klimatechnik, Biotechnologie sowie Hochenergiephysik
• Referenzprodukte auf Basis von CiS-Sensorik: hochgenaue Längen- und Positionsmesstechnik, Drucktransmitter, Feuchte- bzw. Taupunktmessgeräte und Strahlungsdetektoren.

Spezialausstattungen

• Waferprocessing (Reinraumklasse 100)
  
• Aufbau- und Verbindungstechnik (Reinraumklasse 10 000)
  
• messtechnische Spezialausstattungen