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Fraunhofer-Institut Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie


Das Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie hat die Aufgabe, gemeinsam mit der Industrie neue Halbleiter-Fertigungsgeräte und -verfahren zu entwickeln und Simulationswerkzeuge zur Beschreibung moderner mikroelektronischer Fertigungsschritte bereitzustellen. Als Kompetenzzentrum für Leistungselektronik entwickelt das IISB darüber hinaus leistungselektronische Bauelemente und Systeme - von Einzeldioden bis hin zu kompletten Prototypen für Schaltnetzteile, Frequenzumrichter u.v.a.m

Im Arbeitsgebiet Technologiesimulation werden leistungsfähige Simulationsprogramme zur Optimierung von Einzelprozessen und Prozeßfolgen in der Halbleitertechnologie entwickelt.

Im Arbeitsgebiet Halbleiter-Fertigungsgeräte und -methoden werden Firmen bei der Entwicklung und Verbesserung neuer Fertigungsgeräte, Materialien und der zugehörigen Prozesse unterstützt (durch Integration von In-situ-Meßtechniken und durch Minimierung der Kontamination).

Neue technologische Prozesse und Herstellungsmethoden für die VLSI- und ULSI-Technologie und für moderne Leistungsbauelemente werden im Arbeitsgebiet Technologie entwickelt. Höchstauflösende Meß- und Analysemethoden erlauben dabei, Verunreinigungen geringster Konzentrationen in Gasen, Chemikalien und auf Siliciumscheiben sowie ihre Wirkung auf die elektrischen Eigenschaften von Bauelementen zu erfassen.

Im Frühjahr 2000 wurde das Institut um das Arbeitsgebiet Leistungselektronische Systeme erweitert, das in idealer Weise die bereits bestehenden Aktivitäten im Bereich der Technologie-Entwicklung für Leistungshalbleiterbauelemente ergänzt. Hier werden in enger Zusammenarbeit mit industriellen Auftraggebern Prototypen und Demonstratoren für leistungselektronische Systeme entwickelt.

Im Arbeitsgebiet Kristallzüchtung werden Firmen bei der Entwicklung und Optimierung von Anlagen und Prozessen zur Herstellung von Kristallen für die Mikroelektronik und für die Mikrolithographie unterstützt.

Weitere Forschungsschwerpunkte bilden die Entwicklung, Anwendung und Lizenzvergabe von Simulationsprogrammen zur Berechnung von Hochtemperaturanlagen und -prozessen sowie die Entwicklung und Anwendung von Meßtechniken zur Bestimmung des Stoff- und Wärmetransportes in Kristallzüchtungsprozessen.

Der Bereich des Instituts beschäftigt über 80 feste Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter. Zur Bearbeitung der Forschungsaufträge stehen fast 5000 m² Büros, Reinräume und Labors zur Verfügung.

Das IISB wurde 1985 durch die gemeinsame Initiative des Freistaates Bayern und eines industriellen Förderkreises gegründet. Sein Leiter, Prof. Heiner Ryssel, ist gleichzeitig Inhaber des Lehrstuhls für Elektronische Bauelemente der Universität Erlangen-Nürnberg, mit dem das IISB eng zusammenarbeitet.


 

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Weitere Informationen: http://www.iisb.fraunhofer.de