NanoSpray-Technologie zur Beschichtung von außergewöhnlichen Oberflächen
Das Verfahren ermöglicht es, so genannte Vias mit konformalen Schichten gleichmäßig zu belacken. Vias werden vor allem in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zum Kontaktieren von Vorder- und Rückseiten der Wafer verwendet.
Durch die NanoSpray-Technologie können Vias mit vertikalen Seitenwänden – hergestellt mittels Trockenätzverfahren – sowie 200 Mikrometern Tiefe und 20 Mikrometern Durchmesser mit einer konformalen Schicht von zwei bis fünf Mikrometern Dicke gleichmäßig beschichtet werden. Anwendungsbereiche ergeben sich zurzeit vor allem im Bereich von Beschichtungen mit dielektrischen (zum Beispiel BCB) und fotostrukturierbaren Polymeren (zum Beispiel AZ6612), um mittels weiterer Ätzschritte genau definierte Öffnungen am Grund der Via-Strukturen zu realisieren.
Weiterhin erlaubt das Verfahren die einfache und kostengünstige Herstellung von zähen Hybridschichten, bestehend aus einer dicken, dielektrischen Schicht und dünnen, elektrisch isolierenden Schichten (zum Beispiel SiN), welche durch die speziellen Eigenschaften der Polymerschicht Selbstheilungseffekte bei den spröden und rissigen Metallschichten ermöglichen. Diese neuartigen Hybridschichten können die zur elektrischen Kontaktierung verwendeten Vias gegenüber dem Grundmaterial des Halbleitersubstrates isolieren.
Kontakt:
EV Group
Markus Wimplinger
Tel: +43 7712 5311 5300
m.wimplinger@EVGroup.com
Media Contact
Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie
Dieses Fachgebiet umfasst wissenschaftliche Verfahren zur Änderung von Stoffeigenschaften (Zerkleinern, Kühlen, etc.), Stoffzusammensetzungen (Filtration, Destillation, etc.) und Stoffarten (Oxidation, Hydrierung, etc.).
Unter anderem finden Sie Wissenswertes aus den Teilbereichen: Trenntechnologie, Lasertechnologie, Messtechnik, Robotertechnik, Prüftechnik, Beschichtungsverfahren und Analyseverfahren.
Neueste Beiträge
Neue universelle lichtbasierte Technik zur Kontrolle der Talpolarisation
Ein internationales Forscherteam berichtet in Nature über eine neue Methode, mit der zum ersten Mal die Talpolarisation in zentrosymmetrischen Bulk-Materialien auf eine nicht materialspezifische Weise erreicht wird. Diese „universelle Technik“…
Tumorzellen hebeln das Immunsystem früh aus
Neu entdeckter Mechanismus könnte Krebs-Immuntherapien deutlich verbessern. Tumore verhindern aktiv, dass sich Immunantworten durch sogenannte zytotoxische T-Zellen bilden, die den Krebs bekämpfen könnten. Wie das genau geschieht, beschreiben jetzt erstmals…
Immunzellen in den Startlöchern: „Allzeit bereit“ ist harte Arbeit
Wenn Krankheitserreger in den Körper eindringen, muss das Immunsystem sofort reagieren und eine Infektion verhindern oder eindämmen. Doch wie halten sich unsere Abwehrzellen bereit, wenn kein Angreifer in Sicht ist?…
