Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Der Sprung von der Mikro- zur Nanoelektronik ist eine große Herausforderung für die Halbleiterindustrie

31.05.2005


Am Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT in Dresden entwickeln Wissenschaft und Wirtschaft in Public Private Partnership gemeinsam neue Prozesstechnologien für die Nanoelektronik. Heute, am 31. Mai, fand die feierliche Eröffnung mit Gästen von Bund, dem Freistaat Sachsen, der Wissenschaft und Wirtschaft statt.


Das Fraunhofer CNT wird in den beiden rechten (hinteren) Gebäuden integriert sein (also im Reinraum und im Bürogebäude). © Infineon



"Das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT steht modellhaft für eine neue Art der Verzahnung von Forschung und Fertigung", hebt Dr. Alfred Gossner, Vorstand der Fraunhofer-Gesellschaft, auf der Eröffnung des CNT hervor. "Nur durch gemeinsame Anstrengungen von Wissenschaft und Wirtschaft haben wir in Deutschland eine Chance, so große technologische Herausforderungen wie den Übergang zur Nanoelektronik mitzugestalten." Das CNT erweitert die Kompetenzen des Fraunhofer-Verbunds Mikroelektronik gemeinsam mit führenden Halbleiterherstellern in der Technologie-entwicklung. So ist das CNT Teil der europäischen Initiative ENIAC (European Nanoelectronic Initiative Advisory Council) zur Stärkung der Nanoelektronik. "Wie IMEC in Belgien und LETI in Frankreich wird das CNT direkt mit der Industrie zusammenarbeiten", beschreibt Dr. Gossner die europäische Antwort auf Initiativen wie Sematech in USA und Selete in Japan. "Mit dem CNT wird Dresden zu einem wichtigen Forschungsstandort für Nanoelektronik in Europa."



Im August des vergangenen Jahres hatten die Partner - Fraunhofer-Gesellschaft, Infineon Technologies AG und Advanced Micro Devices Inc. (AMD) und die Förderer Bundesforschungsministerium sowie der Freistaat Sachsen - die Absichtserklärung zur Gründung des Fraunhofer CNT unterschrieben. Nach nur neun Monaten kann das CNT nun feierlich eröffnet werden. "Für das CNT stehen auf dem Dresdner Fertigungsgelände von Infineon 800 m² Reinraumfläche sowie eine Infrastruktur, die Industriestandard entspricht, zur Verfügung", freut sich Dr. Peter Kücher, der Leiter des CNT, über den Aufbau nach Plan.

Ziel ist es, die Synergien zwischen Forschung, Entwicklung und Fertigung von Prozesstechnologien für die Nanoelektronik am Standort Dresden maximal zu nutzen. "Mit dieser Forschungsplattform haben wir die Möglichkeit, innovative Prozesslösungen schnell und effizient zu entwickeln und direkt in die Fertigungsumgebung zu transferieren", beschreibt Dr. Andreas von Zitzewitz, Mitglied des Vorstands von Infineon, die Vorteile für die Wirtschaft. "Bei den kurzen Produkt- und Technologielebensdauern in der zyklischen Halbleiterindustrie und den rasch wachsenden Entwicklungskosten ist dies eine der kritischsten Aufgaben, die vorzugsweise durch enge Kooperation in Forschung und Entwicklung gelöst werden kann."

Die Halbleiterhersteller stehen derzeit vor der Herausforderung, die Strukturen bis unter 50 Nanometer weiter zu verkleinern und diese Innovationen schnell in die Fertigung zu implementieren. Die Halbleitertechnologie ist eine wichtige Grundlage für die Entwicklung in vielen anderen Branchen. Sie erschließt neue Produkte und Märkte. Nanoelektronische Technologien werden so zu einer umfassenden Basistechnologie.

Dresden bietet in Deutschland mit der laufenden 300-mm-DRAMFertigung der Infineon AG und den beiden Mikroprozessor-Werken von AMD ausgezeichnete Standortbedingungen für eine partnerschaftlich betriebene Forschungsplattform für Nanoelektronik. "Das CNT wird die effiziente Entwicklung neuer Technologiegenerationen voran treiben - und dies immer aus dem Blickwinkel des Endkunden", sagt Dr. William Siegle von AMD. "Kundenorientierung ist der Kern der AMD-Strategie. Darauf sind auch die Projekte des CNT zugeschnitten: Sie ermöglichen uns fertigungsnahe Technologieforschung, die uns bei der Produktion von innovativen und anwendungsorientierten Mikroprozessoren unterstützen". In den Reinräumen des CNT können die Industriepartner Infineon und AMD zusammen mit Fraunhofer-Forschern, der TU Dresden und weiteren Instituten Prozesstechnologien für die Fertigung der Nanoelektronik entwickeln. Das CNT ist offen für die Zusammenarbeit mit Material und Geräteherstellern.

Insgesamt investieren Unternehmen und Staat zusammen erneut 700 Mio Euro in den Ausbau des Nanoelektronikstandorts Deutschland. Ein Drittel dieser Mittel stammen vom Bund, dem Land und der EU. Neben den Gebäudekosten unterstützen das BMBF und der Freistaat Sachsen die neue Fraunhofer-Einrichtung in den nächsten fünf Jahren mit Zuschüssen von insgesamt 80 Mio Euro für die Anlagen-Erstausstattung. Die Industriepartner planen in diesem Zeitraum Forschungsprojekte von rund 170 Mio Euro, die vom BMBF, dem Freistaat Sachsen und der EU-Kommision mit 85 Mio Euro gefördert werden. Bundesforschungsministerin Edelgard Bulmahn: "Das CNT ist eine von Staat und Wirtschaft getragene Zukunftsinvestition, von der nicht nur die Menschen in Dresden, sondern auch in ganz Deutschland profitieren werden. Das CNT wird anwendungsnahe Spitzenforschung mit Hilfe der BMBF-Förderung nicht nur betreiben, sondern auch unmittelbar in Innovationen - und damit in Arbeitsplätze - umsetzen." Sachsens Ministerpräsident Georg Milbradt hob hervor: "Der Freistaat Sachsen beteiligt sich umfassend an der Förderung des CNT. Als Einrichtung von Unternehmen und Wissenschaft ist es ein entscheidender Baustein für die Zukunft des Halbleiterstandorts Dresden. Heute reden wir über Mikroelektronik, an ihre Stelle wird morgen die Nanoelektronik treten. Die atemberaubend schnellen Entwicklungen machen es wichtig, Forschung, Ausbildung und Fertigung so eng wie möglich zu vernetzen. Der Ausbau des High-Tech-Standorts Sachsen hat weiterhin meine volle Unterstützung." Die Vertragsvereinbarung für das CNT sieht zunächst eine Laufzeit von fünf Jahren vor, an deren Ende eine gemeinsame Evaluation stehen wird. Fraunhofer-Gesellschaft und Industriepartner streben den Betrieb einer dauerhaft betriebenen Forschungsplattform an. Entscheidend für die Fortsetzung werden Erfolg und Marktentwicklungen auf der einen und die Entwicklung der Forschungslandschaft auf der anderen Seite sein.

Schwerpunktthemen sind die Bearbeitung ausgewählter Prozessschritte für die Fertigung von high-density-Speicherbausteinen sowie high-performance-Transistoren. Die Fraunhofer-Gesellschaft wird vor allem die Kompetenz ihrer Institute in den Bereichen Material- und Schichtsysteme, Basisprozesse, Aufbau- und Verbindungstechnologien, Entwurfstechniken und Lithografie einbringen. Nahezu 100 Entwicklungs- und Fertigungsingenieure der Industriepartner sowie wissenschaftliche Mitarbeiter der Fraunhofer-Gesellschaft werden im CNT innovative Lösungen für die Nanoelektronik erarbeiten.

Der Leiter des CNT, Dr. Peter Kücher, kennt aus seinen früheren Tätigkeiten für Infineon die Anforderungen der Chipindustrie. So hat er gemeinsam mit IBM und Toshiba in East Fishkill, New York den ersten 256Mbit Chip in 0,25 µm Technologie entwickelt, die weltweit erste 300-mm Linie in Dresden geleitet und zuletzt als Geschäftsführer der Infineon Technologies Flash GmbH den Aufbau des Geschäftsgebiets verantwortet.

Kücher sieht in der Siliziumtechnologie noch großes Potenzial. Neue Erkenntnisse auf dem Feld der Lithographie ermöglichen es immer wieder, wesentliche Hürden auf dem Weg zur Strukturverkleinerung zu überwinden. "Jüngster Hoffnungsträger ist die Immersions-Lithografie, die bisher in der Mikroskopie eingesetzt wurde, aber nun für die Serienproduktion der Chips entdeckt wurde", erklärt Dr. Kücher. "Sie erlaubt mit den derzeitigen Lichtquellen von 193 Nanometer Wellenlänge noch jenseits von 90 Nanometer Strukturbreite zu fertigen". Wegen der hohen Kosten müssen Entscheidungen über die Weiterführung oder das Einstellen von Entwicklungen möglichst früh getroffen werden. "Gleichzeitig dürfen wir uns nicht nur auf die vermeintlich logischen Folgeentwicklungen konzentrieren, sondern müssen Alternativen erarbeiten", weiß Kücher. Denn vom technisch Möglichen wird sich nur das durchsetzen, was am wirtschaftlichsten realisierbar ist. Das CNT in Dresden wird gemeinsam mit Infineon und AMD alles tun, damit innovative Halbleitertechnologien zukünftig noch öfter das Prädikat "Made in Germany" tragen.

Ansprechpartner am Bundesministerium für Bildung und Forschung:
Peter Ziegler
Hannoversche Str. 28 - 30
10115 Berlin
Telefon: 0 18 88/ 57-50 51 oder 0 30 / 2 85 40-50 51
peter.ziegler@bmbf.bund.de

Sächsische Staatskanzlei:
Burkhard Beyer
Archivstraße 1
01097 Dresden
Telefon: 0 3 51 / 5 64 13 14
Burkhard.Beyer@dd.sk.sachsen.de

Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT:
Dr. Peter Kücher
Königsbrücker Straße 180
01099 Dresden
Telefon: 0 3 51/ 8 86-90 00
peter.kuecher@infineon.com

AMD:
Cornelia Sonntag
Wilschdorfer Landstraße 101
01109 Dresden
Telefon: 0 3 51 / 2 77 10 10
cornelia.sonntag@amd.com

Infineon Technologies:
Diana Rulle
Königsbrücker Straße 180
01099 Dresden
Telefon: 0 3 51 / 8 86-11 00
diana.rulle@infineon.com

Dr. Johannes Ehrlenspiel | idw
Weitere Informationen:
http://www.fraunhofer.de
http://www.amd.com
http://www.infineon.com

Weitere Berichte zu: AMD CNT Fertigung Industriepartner Infineon Nanoelektronik Nanoelektronisch

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Verfahrenstechnologie:

nachricht Elektrodenmaterialien aus der Mikrowelle
18.10.2017 | Technische Universität München

nachricht Metallisches Fused Filament Fabrication - Neues Verfahren zum metallischen 3D-Druck
12.10.2017 | Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Hochfeldmagnet am BER II: Einblick in eine versteckte Ordnung

Seit dreißig Jahren gibt eine bestimmte Uranverbindung der Forschung Rätsel auf. Obwohl die Kristallstruktur einfach ist, versteht niemand, was beim Abkühlen unter eine bestimmte Temperatur genau passiert. Offenbar entsteht eine so genannte „versteckte Ordnung“, deren Natur völlig unklar ist. Nun haben Physiker erstmals diese versteckte Ordnung näher charakterisiert und auf mikroskopischer Skala untersucht. Dazu nutzten sie den Hochfeldmagneten am HZB, der Neutronenexperimente unter extrem hohen magnetischen Feldern ermöglicht.

Kristalle aus den Elementen Uran, Ruthenium, Rhodium und Silizium haben eine geometrisch einfache Struktur und sollten keine Geheimnisse mehr bergen. Doch das...

Im Focus: Schmetterlingsflügel inspiriert Photovoltaik: Absorption lässt sich um bis zu 200 Prozent steigern

Sonnenlicht, das von Solarzellen reflektiert wird, geht als ungenutzte Energie verloren. Die Flügel des Schmetterlings „Gewöhnliche Rose“ (Pachliopta aristolochiae) zeichnen sich durch Nanostrukturen aus, kleinste Löcher, die Licht über ein breites Spektrum deutlich besser absorbieren als glatte Oberflächen. Forschern am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) ist es nun gelungen, diese Nanostrukturen auf Solarzellen zu übertragen und deren Licht-Absorptionsrate so um bis zu 200 Prozent zu steigern. Ihre Ergebnisse veröffentlichten die Wissenschaftler nun im Fachmagazin Science Advances. DOI: 10.1126/sciadv.1700232

„Der von uns untersuchte Schmetterling hat eine augenscheinliche Besonderheit: Er ist extrem dunkelschwarz. Das liegt daran, dass er für eine optimale...

Im Focus: Schnelle individualisierte Therapiewahl durch Sortierung von Biomolekülen und Zellen mit Licht

Im Blut zirkulierende Biomoleküle und Zellen sind Träger diagnostischer Information, deren Analyse hochwirksame, individuelle Therapien ermöglichen. Um diese Information zu erschließen, haben Wissenschaftler des Fraunhofer-Instituts für Lasertechnik ILT ein Mikrochip-basiertes Diagnosegerät entwickelt: Der »AnaLighter« analysiert und sortiert klinisch relevante Biomoleküle und Zellen in einer Blutprobe mit Licht. Dadurch können Frühdiagnosen beispielsweise von Tumor- sowie Herz-Kreislauf-Erkrankungen gestellt und patientenindividuelle Therapien eingeleitet werden. Experten des Fraunhofer ILT stellen diese Technologie vom 13.–16. November auf der COMPAMED 2017 in Düsseldorf vor.

Der »AnaLighter« ist ein kompaktes Diagnosegerät zum Sortieren von Zellen und Biomolekülen. Sein technologischer Kern basiert auf einem optisch schaltbaren...

Im Focus: Neue Möglichkeiten für die Immuntherapie beim Lungenkrebs entdeckt

Eine gemeinsame Studie der Universität Bern und des Inselspitals Bern zeigt, dass spezielle Bindegewebszellen, die in normalen Blutgefässen die Wände abdichten, bei Lungenkrebs nicht mehr richtig funktionieren. Zusätzlich unterdrücken sie die immunologische Bekämpfung des Tumors. Die Resultate legen nahe, dass diese Zellen ein neues Ziel für die Immuntherapie gegen Lungenkarzinome sein könnten.

Lungenkarzinome sind die häufigste Krebsform weltweit. Jährlich werden 1.8 Millionen Neudiagnosen gestellt; und 2016 starben 1.6 Millionen Menschen an der...

Im Focus: Sicheres Bezahlen ohne Datenspur

Ob als Smartphone-App für die Fahrkarte im Nahverkehr, als Geldwertkarten für das Schwimmbad oder in Form einer Bonuskarte für den Supermarkt: Für viele gehören „elektronische Geldbörsen“ längst zum Alltag. Doch vielen Kunden ist nicht klar, dass sie mit der Nutzung dieser Angebote weitestgehend auf ihre Privatsphäre verzichten. Am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) entsteht ein sicheres und anonymes System, das gleichzeitig Alltagstauglichkeit verspricht. Es wird nun auf der Konferenz ACM CCS 2017 in den USA vorgestellt.

Es ist vor allem das fehlende Problembewusstsein, das den Informatiker Andy Rupp von der Arbeitsgruppe „Kryptographie und Sicherheit“ am KIT immer wieder...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Das Immunsystem in Extremsituationen

19.10.2017 | Veranstaltungen

Die jungen forschungsstarken Unis Europas tagen in Ulm - YERUN Tagung in Ulm

19.10.2017 | Veranstaltungen

Bauphysiktagung der TU Kaiserslautern befasst sich mit energieeffizienten Gebäuden

19.10.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Forscher finden Hinweise auf verknotete Chromosomen im Erbgut

20.10.2017 | Biowissenschaften Chemie

Saugmaschinen machen Waschwässer von Binnenschiffen sauberer

20.10.2017 | Ökologie Umwelt- Naturschutz

Strukturbiologieforschung in Berlin: DFG bewilligt Mittel für neue Hochleistungsmikroskope

20.10.2017 | Förderungen Preise