Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Verbesserte Ausrüstung - SUMICAP Projekt

05.10.2004


Mikro-elektromechanische Systeme (MEMS) sind Miniatursysteme, die in Silizium mittels Mikrobearbeitung mit elektrischen, mechanischen, optischen und biochemischen Komponenten eingearbeitet werden. Einer der wichtigsten Einflussfaktoren auf das weitere Wachstum dieser Branche ist die Verpackung von MEMS.



MEMS sollen bei der Entwicklung und Weiterführung intelligenter Geräte eine tragende Rolle spielen. Im Vergleich zu normalen integrierten Schaltkreisen handelt es sich dabei um komplexere Anwendungen aufgrund der Interaktion zwischen den verschiedenen Komponenten und den strengen Verpackungsanforderungen.

... mehr zu:
»Know-how »MEMS »Prozess »SUMICAP »Verpackung


Die Verpackung von MEMS-Geräten ist ein kritischer Faktor sowohl für ihr funktionsgerechtes Verhalten als auch für die Herstellungskosten. Der Verpackungsplan muss Schutz während des Dicing-Vorgangs bieten, aber auch gegen Umwelteinflüsse wie Feuchtigkeit oder Druck. Aufgrund der Verschiedenartigkeit der Basis-Bauelemente von MEMS ist die Verpackung in starkem Maße abhängig von der jeweiligen Anwendung und kann daher nicht als generischer Prozess auf eine breite Reihe von Geräten angewendet werden.

Die derzeit für die Verpackung von MEMS angewandten Verfahren basieren auf Vorgängen auf Wafer-Ebene. Diese Prozesse umfassen Wafer-Bonding-Verfahren, bei denen zwei Halbleiter-Wafer gebondet werden, um ein Substrat mit den gewünschten Eigenschaften zu erzeugen. Alternativ ist dabei auch die Herstellung und Versiegelung von an der Oberfläche mikrobearbeiteter Membranen über das zu verpackende Gerät inbegriffen. Diese Methoden sind zwar effektiv, aber auch teuer und platzaufwändig. Das Forschungsprojekt SUMICAP hat sich die Entwicklung einer Wafer-Ummantelungsmethode zum Ziel gesetzt, die die bisherigen Einschränkungen überwindet und die Kosten reduziert.

Im Rahmen des SUMICAP Projektes wurde eine Reihe von Verfahren für die Verpackung von MEMS mittels Ummantelung entwickelt. Die Ergebnisse sind vielversprechend und werden diesen Bereich um wichtiges Know-how bereichern. Erreicht werden konnte dies durch die tiefgreifende Analyse möglicher Verfahren wie zum Beispiel Siliziumtiefätzen, Silizium-Germanium-(SiGe)-Ätzen oder die Beschichtung von Bor-Phosphor-Silikat-Glas (BPSG). Außerdem wurden zwei neue Verfahren auf Grundlage des BPSG-Prozesses und der PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition)-Methode entwickelt, die voraussichtlich einen unmittelbaren Einfluss auf die Verpackungstechniken haben werden.

Die Umsetzung der daraus resultierenden Prozesse und die Nutzung des erreichten Know-hows wird aufgrund der geringeren Verpackungskosten neue Wege für die Kommerzialisierung und den breiteren Einsatz von MEMS-Geräten eröffnen. Dies würde nicht nur zur Produktion neuer und modernerer Geräte führen, sondern auch zu einer Verbesserung der Lebensqualität.

Dr. Stuart Watcham | ctm
Weitere Informationen:
http://www.stsystems.com

Weitere Berichte zu: Know-how MEMS Prozess SUMICAP Verpackung

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Verfahrenstechnologie:

nachricht Neue Einblicke in die Materie: Hochdruckforschung in Kombination mit NMR-Spektroskopie
11.12.2017 | Universität Bayreuth

nachricht Bioverfahrenstechnik - Mit Kugeln optimal messen
01.12.2017 | Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Lange Speicherung photonischer Quantenbits für globale Teleportation

Wissenschaftler am Max-Planck-Institut für Quantenoptik erreichen mit neuer Speichertechnik für photonische Quantenbits Kohärenzzeiten, welche die weltweite...

Im Focus: Long-lived storage of a photonic qubit for worldwide teleportation

MPQ scientists achieve long storage times for photonic quantum bits which break the lower bound for direct teleportation in a global quantum network.

Concerning the development of quantum memories for the realization of global quantum networks, scientists of the Quantum Dynamics Division led by Professor...

Im Focus: Electromagnetic water cloak eliminates drag and wake

Detailed calculations show water cloaks are feasible with today's technology

Researchers have developed a water cloaking concept based on electromagnetic forces that could eliminate an object's wake, greatly reducing its drag while...

Im Focus: Neue Einblicke in die Materie: Hochdruckforschung in Kombination mit NMR-Spektroskopie

Forschern der Universität Bayreuth und des Karlsruhe Institute of Technology (KIT) ist es erstmals gelungen, die magnetische Kernresonanzspektroskopie (NMR) in Experimenten anzuwenden, bei denen Materialproben unter sehr hohen Drücken – ähnlich denen im unteren Erdmantel – analysiert werden. Das in der Zeitschrift Science Advances vorgestellte Verfahren verspricht neue Erkenntnisse über Elementarteilchen, die sich unter hohen Drücken oft anders verhalten als unter Normalbedingungen. Es wird voraussichtlich technologische Innovationen fördern, aber auch neue Einblicke in das Erdinnere und die Erdgeschichte, insbesondere die Bedingungen für die Entstehung von Leben, ermöglichen.

Diamanten setzen Materie unter Hochdruck

Im Focus: Scientists channel graphene to understand filtration and ion transport into cells

Tiny pores at a cell's entryway act as miniature bouncers, letting in some electrically charged atoms--ions--but blocking others. Operating as exquisitely sensitive filters, these "ion channels" play a critical role in biological functions such as muscle contraction and the firing of brain cells.

To rapidly transport the right ions through the cell membrane, the tiny channels rely on a complex interplay between the ions and surrounding molecules,...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Materialinnovationen 2018 – Werkstoff- und Materialforschungskonferenz des BMBF

13.12.2017 | Veranstaltungen

Innovativer Wasserbau im 21. Jahrhundert

13.12.2017 | Veranstaltungen

Innovative Strategien zur Bekämpfung von parasitären Würmern

08.12.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Rest-Spannung trotz Megabeben

13.12.2017 | Geowissenschaften

Computermodell weist den Weg zu effektiven Kombinationstherapien bei Darmkrebs

13.12.2017 | Medizin Gesundheit

Winzige Weltenbummler: In Arktis und Antarktis leben die gleichen Bakterien

13.12.2017 | Geowissenschaften