Drucksensorchips für 0,01-400 bar
Mikromechanische Sensoren auf Kundenwunsch
Erfurt, März 2001 – Drucksensorchips für den Messbereich von 0,01-400 bar aus dem CiS sind für Druckmessungen in Gasen und Flüssigkeiten in vielfältigen Anwendungen geeignet. Die Chips von ca. 6*6 mm2 nutzen als Wirkprinzip eine piezoresistive Widerstandsbrücke. Basierend auf der technologischen Kernkompetenz des CiS zur Entwicklung und Fertigung von bulk-mikromechanischen Sensoren und Sensormodulen ist die Messung weiterer mechanischer Größen wie z.B. Beschleunigung durch entsprechend gestaltete mechanische Verformungskörper (Membran, Balken, Zunge) möglich.
Neben dem piezoresistiven Effekt wird zur Signalwandlung das kapazitive Meßprinzip zur Erfassung von Verformungen ausgenutzt.
Das CiS verfügt über Möglichkeiten zur Entwicklung des kundenspezifischen Designs der Sensoren mittels FEM. Zur kostengünstigen Fertigung im Bereich kleiner und mittlerer Stückzahlen stehen als technologische Plattform eine komplette 4„-Waferlinie und die entsprechenden Prozeßschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik auf ca. 200 m2 Reinraumfläche zur Verfügung.
Das CiS präsentiert sein komplettes Leistungsspektrum im Bereich Design und Prototyping von Si-Mikrosensoren auf den bevorstehenden Fachmessen:
Hannover Industriemesse 2001; Halle 7, Stand E 14
SMT/Hybrid/Packaging 2001 Nürnberg; Halle 3, Stand 641.
Sensor 2001 Nürnberg; Halle 1, Stand 662
Kontakt:
Für die Presse
Andreas Albrecht
CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH
Haarbergstraße 61
99097 Erfurt
Tel: 0361 4205110
Fax: 0361 4205113
E-Mail: info@cismst.de
http://www.cismst.de
Media Contact
Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie
Dieses Fachgebiet umfasst wissenschaftliche Verfahren zur Änderung von Stoffeigenschaften (Zerkleinern, Kühlen, etc.), Stoffzusammensetzungen (Filtration, Destillation, etc.) und Stoffarten (Oxidation, Hydrierung, etc.).
Unter anderem finden Sie Wissenswertes aus den Teilbereichen: Trenntechnologie, Lasertechnologie, Messtechnik, Robotertechnik, Prüftechnik, Beschichtungsverfahren und Analyseverfahren.
Neueste Beiträge
Nanofasern befreien Wasser von gefährlichen Farbstoffen
Farbstoffe, wie sie zum Beispiel in der Textilindustrie verwendet werden, sind ein großes Umweltproblem. An der TU Wien entwickelte man nun effiziente Filter dafür – mit Hilfe von Zellulose-Abfällen. Abfall…
Entscheidender Durchbruch für die Batterieproduktion
Energie speichern und nutzen mit innovativen Schwefelkathoden. HU-Forschungsteam entwickelt Grundlagen für nachhaltige Batterietechnologie. Elektromobilität und portable elektronische Geräte wie Laptop und Handy sind ohne die Verwendung von Lithium-Ionen-Batterien undenkbar. Das…
Wenn Immunzellen den Körper bewegungsunfähig machen
Weltweit erste Therapie der systemischen Sklerose mit einer onkologischen Immuntherapie am LMU Klinikum München. Es ist ein durchaus spektakulärer Fall: Nach einem mehrwöchigen Behandlungszyklus mit einem immuntherapeutischen Krebsmedikament hat ein…