Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Besser Ätzen dank Industriekooperation

27.02.2004


Erfolgreiches Entwicklungsprojekt mit SENTECH Instruments. Neue Perspektiven für Galliumnitrid-Mikrowellenbauelemente am FBH.


Das Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik (FBH) hat dazu beigetragen, dass die Adlershofer Firma SENTECH eine neue Plasmaquelle für ein Ätzgerät entwickeln konnte. Der ICP-Ätzer SI 500 mit der patentierten Plasmaquelle wird bereits am FBH eingesetzt. „Mit diesem Gerät werden international Maßstäbe gesetzt und wir erschließen damit neue Anwendungspotenziale“, erläutert Dr. Joachim Würfl, Leiter der Abteilung Prozesstechnologie am FBH, die Bedeutung der neuen technologischen Möglichkeit. „Jetzt können wir nicht nur die Performance und Leistungsdichte unserer Chips weiter steigern, sondern sind weltweit eine der Wenigen, die die Voraussetzungen für den kompletten Fertigungsprozess für Galliumnitrid-basierte Halbleiter-Mikrowellen bauelemente bieten.“

Die neue Maschine ermöglicht es dem Leibniz-Institut, wirtschaftlich relevante Mikro- bzw. Nanostrukturierung an extrem inerten und harten Materialien wie Siliziumkarbid (SiC), dem Substratmaterial für Galliumnitrid (GaN)-Bauelemente, vorzunehmen. Das Berliner Institut setzt die Anlage im Forschungsbetrieb für Hochrate-Ätzprozesse ein und verfügt nun über eine weitere vielseitige Strukturierungstechnologie. Dieser Ausbau der Leistungskapazitäten erlaubt es, die theoretisch möglichen Absolutleistungen und Leistungsdichten von neuartigen Mikrowellen-Leistungsbauelementen auf GaN- und SiC- Basis praktisch umzusetzen und zu demonstrieren.


Die jetzt gelieferte Hochrate-Plasmaätzanlage ist das jüngste Ergebnis einer mehr jährigen, von der Investitionsbank Berlin geförderten Kooperation zwischen dem FBH und SENTECH. Zielsetzung des gemeinsamen Projekts war es, in kurzer Zeit eine hocheffiziente, homogene Plasmaquelle optimal an die technologischen Anforderungen des FBH anzupassen. Diese sollte insbesondere die Erfordernisse eines modernen Halbleiterprozesses berücksichtigen – unter anderem bei der Realisierung von Mikrowellen-Leistungstransistoren auf GaAs- und SiC-Basis.

Das FBH hat das Projekt von Forschungs- und Anwenderseite begleitet und war für die Anpassung der Prozesse an die Anforderungen der GaAs- und SiC-Technologie zuständig. Die hier gewonnen Erkenntnisse flossen direkt in die technologische Entwicklung bei SENTECH ein und bilden die Grundlage für zukünftige Innovationen auf dem Gebiet der GaN-Technologie. „Durch die Synergieeffekte mit dem FBH ist uns in Deutschland die Entwicklung einer State-of-the-Art-Technologie bei modernsten Plasmaätzverfahren gelungen“, freut sich Dr. Albrecht Krüger, Geschäftsführer von SENTECH Instruments, „damit können wir neue Märkte erschließen und uns an attraktiven internationalen Ausschreibungen erfolgreich beteiligen.“

Weitere Informationen:

Dr. Joachim Würfl
Abteilungsleiter Prozesstechnologie
Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik
Albert-Einstein-Straße 11, 12489 Berlin
Tel. 030.6392-2690, Fax -2685
E-Mail wuerfl@fbh-berlin.de

Dr. Joachim Würfl | FBH
Weitere Informationen:
http://www.fbh-berlin.de
http://www.sentech.de
http://www.fv-berlin.de

Weitere Berichte zu: Industriekooperation Plasmaquelle SENTECH

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Verfahrenstechnologie:

nachricht Neues Verfahren zur Inprozesskontrolle in der Warmumformung
18.08.2017 | Fachhochschule Südwestfalen

nachricht Forschungsprojekt zu optimierten Oberflächen von Metallpulver-Spritzguss-Werkzeugen
17.08.2017 | Hochschule Pforzheim

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Unterwasserroboter soll nach einem Jahr in der arktischen Tiefsee auftauchen

Am Dienstag, den 22. August wird das Forschungsschiff Polarstern im norwegischen Tromsø zu einer besonderen Expedition in die Arktis starten: Der autonome Unterwasserroboter TRAMPER soll nach einem Jahr Einsatzzeit am arktischen Tiefseeboden auftauchen. Dieses Gerät und weitere robotische Systeme, die Tiefsee- und Weltraumforscher im Rahmen der Helmholtz-Allianz ROBEX gemeinsam entwickelt haben, werden nun knapp drei Wochen lang unter Realbedingungen getestet. ROBEX hat das Ziel, neue Technologien für die Erkundung schwer erreichbarer Gebiete mit extremen Umweltbedingungen zu entwickeln.

„Auftauchen wird der TRAMPER“, sagt Dr. Frank Wenzhöfer vom Alfred-Wegener-Institut, Helmholtz-Zentrum für Polar- und Meeresforschung (AWI) selbstbewusst. Der...

Im Focus: Mit Barcodes der Zellentwicklung auf der Spur

Darüber, wie sich Blutzellen entwickeln, existieren verschiedene Auffassungen – sie basieren jedoch fast ausschließlich auf Experimenten, die lediglich Momentaufnahmen widerspiegeln. Wissenschaftler des Deutschen Krebsforschungszentrums stellen nun im Fachjournal Nature eine neue Technik vor, mit der sich das Geschehen dynamisch erfassen lässt: Mithilfe eines „Zufallsgenerators“ versehen sie Blutstammzellen mit genetischen Barcodes und können so verfolgen, welche Zelltypen aus der Stammzelle hervorgehen. Diese Technik erlaubt künftig völlig neue Einblicke in die Entwicklung unterschiedlicher Gewebe sowie in die Krebsentstehung.

Wie entsteht die Vielzahl verschiedener Zelltypen im Blut? Diese Frage beschäftigt Wissenschaftler schon lange. Nach der klassischen Vorstellung fächern sich...

Im Focus: Fizzy soda water could be key to clean manufacture of flat wonder material: Graphene

Whether you call it effervescent, fizzy, or sparkling, carbonated water is making a comeback as a beverage. Aside from quenching thirst, researchers at the University of Illinois at Urbana-Champaign have discovered a new use for these "bubbly" concoctions that will have major impact on the manufacturer of the world's thinnest, flattest, and one most useful materials -- graphene.

As graphene's popularity grows as an advanced "wonder" material, the speed and quality at which it can be manufactured will be paramount. With that in mind,...

Im Focus: Forscher entwickeln maisförmigen Arzneimittel-Transporter zum Inhalieren

Er sieht aus wie ein Maiskolben, ist winzig wie ein Bakterium und kann einen Wirkstoff direkt in die Lungenzellen liefern: Das zylinderförmige Vehikel für Arzneistoffe, das Pharmazeuten der Universität des Saarlandes entwickelt haben, kann inhaliert werden. Professor Marc Schneider und sein Team machen sich dabei die körpereigene Abwehr zunutze: Makrophagen, die Fresszellen des Immunsystems, fressen den gesundheitlich unbedenklichen „Nano-Mais“ und setzen dabei den in ihm enthaltenen Wirkstoff frei. Bei ihrer Forschung arbeiteten die Pharmazeuten mit Forschern der Medizinischen Fakultät der Saar-Uni, des Leibniz-Instituts für Neue Materialien und der Universität Marburg zusammen Ihre Forschungsergebnisse veröffentlichten die Wissenschaftler in der Fachzeitschrift Advanced Healthcare Materials. DOI: 10.1002/adhm.201700478

Ein Medikament wirkt nur, wenn es dort ankommt, wo es wirken soll. Wird ein Mittel inhaliert, muss der Wirkstoff in der Lunge zuerst die Hindernisse...

Im Focus: Exotische Quantenzustände: Physiker erzeugen erstmals optische „Töpfe" für ein Super-Photon

Physikern der Universität Bonn ist es gelungen, optische Mulden und komplexere Muster zu erzeugen, in die das Licht eines Bose-Einstein-Kondensates fließt. Die Herstellung solch sehr verlustarmer Strukturen für Licht ist eine Voraussetzung für komplexe Schaltkreise für Licht, beispielsweise für die Quanteninformationsverarbeitung einer neuen Computergeneration. Die Wissenschaftler stellen nun ihre Ergebnisse im Fachjournal „Nature Photonics“ vor.

Lichtteilchen (Photonen) kommen als winzige, unteilbare Portionen vor. Viele Tausend dieser Licht-Portionen lassen sich zu einem einzigen Super-Photon...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

European Conference on Eye Movements: Internationale Tagung an der Bergischen Universität Wuppertal

18.08.2017 | Veranstaltungen

Einblicke ins menschliche Denken

17.08.2017 | Veranstaltungen

Eröffnung der INC.worX-Erlebniswelt während der Technologie- und Innovationsmanagement-Tagung 2017

16.08.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Eine Karte der Zellkraftwerke

18.08.2017 | Biowissenschaften Chemie

Chronische Infektionen aushebeln: Ein neuer Wirkstoff auf dem Weg in die Entwicklung

18.08.2017 | Biowissenschaften Chemie

Computer mit Köpfchen

18.08.2017 | Informationstechnologie