Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Besser Ätzen dank Industriekooperation

27.02.2004


Erfolgreiches Entwicklungsprojekt mit SENTECH Instruments. Neue Perspektiven für Galliumnitrid-Mikrowellenbauelemente am FBH.


Das Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik (FBH) hat dazu beigetragen, dass die Adlershofer Firma SENTECH eine neue Plasmaquelle für ein Ätzgerät entwickeln konnte. Der ICP-Ätzer SI 500 mit der patentierten Plasmaquelle wird bereits am FBH eingesetzt. „Mit diesem Gerät werden international Maßstäbe gesetzt und wir erschließen damit neue Anwendungspotenziale“, erläutert Dr. Joachim Würfl, Leiter der Abteilung Prozesstechnologie am FBH, die Bedeutung der neuen technologischen Möglichkeit. „Jetzt können wir nicht nur die Performance und Leistungsdichte unserer Chips weiter steigern, sondern sind weltweit eine der Wenigen, die die Voraussetzungen für den kompletten Fertigungsprozess für Galliumnitrid-basierte Halbleiter-Mikrowellen bauelemente bieten.“

Die neue Maschine ermöglicht es dem Leibniz-Institut, wirtschaftlich relevante Mikro- bzw. Nanostrukturierung an extrem inerten und harten Materialien wie Siliziumkarbid (SiC), dem Substratmaterial für Galliumnitrid (GaN)-Bauelemente, vorzunehmen. Das Berliner Institut setzt die Anlage im Forschungsbetrieb für Hochrate-Ätzprozesse ein und verfügt nun über eine weitere vielseitige Strukturierungstechnologie. Dieser Ausbau der Leistungskapazitäten erlaubt es, die theoretisch möglichen Absolutleistungen und Leistungsdichten von neuartigen Mikrowellen-Leistungsbauelementen auf GaN- und SiC- Basis praktisch umzusetzen und zu demonstrieren.


Die jetzt gelieferte Hochrate-Plasmaätzanlage ist das jüngste Ergebnis einer mehr jährigen, von der Investitionsbank Berlin geförderten Kooperation zwischen dem FBH und SENTECH. Zielsetzung des gemeinsamen Projekts war es, in kurzer Zeit eine hocheffiziente, homogene Plasmaquelle optimal an die technologischen Anforderungen des FBH anzupassen. Diese sollte insbesondere die Erfordernisse eines modernen Halbleiterprozesses berücksichtigen – unter anderem bei der Realisierung von Mikrowellen-Leistungstransistoren auf GaAs- und SiC-Basis.

Das FBH hat das Projekt von Forschungs- und Anwenderseite begleitet und war für die Anpassung der Prozesse an die Anforderungen der GaAs- und SiC-Technologie zuständig. Die hier gewonnen Erkenntnisse flossen direkt in die technologische Entwicklung bei SENTECH ein und bilden die Grundlage für zukünftige Innovationen auf dem Gebiet der GaN-Technologie. „Durch die Synergieeffekte mit dem FBH ist uns in Deutschland die Entwicklung einer State-of-the-Art-Technologie bei modernsten Plasmaätzverfahren gelungen“, freut sich Dr. Albrecht Krüger, Geschäftsführer von SENTECH Instruments, „damit können wir neue Märkte erschließen und uns an attraktiven internationalen Ausschreibungen erfolgreich beteiligen.“

Weitere Informationen:

Dr. Joachim Würfl
Abteilungsleiter Prozesstechnologie
Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik
Albert-Einstein-Straße 11, 12489 Berlin
Tel. 030.6392-2690, Fax -2685
E-Mail wuerfl@fbh-berlin.de

Dr. Joachim Würfl | FBH
Weitere Informationen:
http://www.fbh-berlin.de
http://www.sentech.de
http://www.fv-berlin.de

Weitere Berichte zu: Industriekooperation Plasmaquelle SENTECH

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Verfahrenstechnologie:

nachricht Dresdner Forscher drucken die Welt von Morgen
08.02.2017 | Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS

nachricht Neues Verfahren bringt komplex geformte Verbundwerkstoffe in die Serie
23.01.2017 | Evonik Industries AG

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Mehr Sicherheit für Flugzeuge

Zwei Entwicklungen am Lehrgebiet Rechnerarchitektur der FernUniversität in Hagen können das Fliegen sicherer machen: ein Flugassistenzsystem, das bei einem totalen Triebwerksausfall zum Einsatz kommt, um den Piloten ein sicheres Gleiten zu einem Notlandeplatz zu ermöglichen, und ein Assistenzsystem für Segelflieger, das ihnen das Erreichen größerer Höhen erleichtert. Präsentiert werden sie von Prof. Dr.-Ing. Wolfram Schiffmann auf der Internationalen Fachmesse für Allgemeine Luftfahrt AERO vom 5. bis 8. April in Friedrichshafen.

Zwei Entwicklungen am Lehrgebiet Rechnerarchitektur der FernUniversität in Hagen können das Fliegen sicherer machen: ein Flugassistenzsystem, das bei einem...

Im Focus: HIGH-TOOL unterstützt Verkehrsplanung in Europa

Forschung am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) unterstützt die Europäische Kommission bei der Verkehrsplanung: Anhand des neuen Modells HIGH-TOOL lässt sich bewerten, wie verkehrspolitische Maßnahmen langfristig auf Wirtschaft, Gesellschaft und Umwelt wirken. HIGH-TOOL ist ein frei zugängliches Modell mit Modulen für Demografie, Wirtschaft und Ressourcen, Fahrzeugbestand, Nachfrage im Personen- und Güterverkehr sowie Umwelt und Sicherheit. An dem nun erfolgreich abgeschlossenen EU-Projekt unter der Koordination des KIT waren acht Partner aus fünf Ländern beteiligt.

Forschung am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) unterstützt die Europäische Kommission bei der Verkehrsplanung: Anhand des neuen Modells HIGH-TOOL lässt...

Im Focus: Zinn in der Photodiode: nächster Schritt zur optischen On-Chip-Datenübertragung

Schon lange suchen Wissenschaftler nach einer geeigneten Lösung, um optische Komponenten auf einem Computerchip zu integrieren. Doch Silizium und Germanium allein – die stoffliche Basis der Chip-Produktion – sind als Lichtquelle kaum geeignet. Jülicher Physiker haben nun gemeinsam mit internationalen Partnern eine Diode vorgestellt, die neben Silizium und Germanium zusätzlich Zinn enthält, um die optischen Eigenschaften zu verbessern. Das Besondere daran: Da alle Elemente der vierten Hauptgruppe angehören, sind sie mit der bestehenden Silizium-Technologie voll kompatibel.

Schon lange suchen Wissenschaftler nach einer geeigneten Lösung, um optische Komponenten auf einem Computerchip zu integrieren. Doch Silizium und Germanium...

Im Focus: Innovative Antikörper für die Tumortherapie

Immuntherapie mit Antikörpern stellt heute für viele Krebspatienten einen Erfolg versprechenden Ansatz dar. Weil aber längst nicht alle Patienten nachhaltig von diesen teuren Medikamenten profitieren, wird intensiv an deren Verbesserung gearbeitet. Forschern um Prof. Thomas Valerius an der Christian Albrechts Universität Kiel gelang es nun, innovative Antikörper mit verbesserter Wirkung zu entwickeln.

Immuntherapie mit Antikörpern stellt heute für viele Krebspatienten einen Erfolg versprechenden Ansatz dar. Weil aber längst nicht alle Patienten nachhaltig...

Im Focus: Durchbruch mit einer Kette aus Goldatomen

Einem internationalen Physikerteam mit Konstanzer Beteiligung gelang im Bereich der Nanophysik ein entscheidender Durchbruch zum besseren Verständnis des Wärmetransportes

Einem internationalen Physikerteam mit Konstanzer Beteiligung gelang im Bereich der Nanophysik ein entscheidender Durchbruch zum besseren Verständnis des...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

6. Internationale Fachkonferenz „InnoTesting“ am 23. und 24. Februar 2017 in Wildau

22.02.2017 | Veranstaltungen

Wunderwelt der Mikroben

22.02.2017 | Veranstaltungen

Der Lkw der Zukunft kommt ohne Fahrer aus

21.02.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

6. Internationale Fachkonferenz „InnoTesting“ am 23. und 24. Februar 2017 in Wildau

22.02.2017 | Veranstaltungsnachrichten

Neue Prozesstechnik für effizientes Bohren und Schneiden auf der LASER CHINA

22.02.2017 | Messenachrichten

IHP-Forschungsteam verbessert Zuverlässigkeit beim automatisierten Fahren

22.02.2017 | Automotive