Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Jahrestagung Fraunhofer IISB: Technologiesimulation als Werkzeug für Halbleiter- und Geräteindustrie

08.12.2011
Mikro- und Nanoelektronik sind als Schlüsseltechnologie das Fundament für das Informations- und Kommunikationszeitalter – ihre kostengünstige Verfügbarkeit wird mittlerweile als selbstverständlich vorausgesetzt.

Darüber hinaus ist sie aber auch für neue gesellschaftliche Herausforderungen u.a. in den Bereichen (Elektro-)Mobilität, Energieeffizienz, Gesundheit und Sicherheit unverzichtbar. Die rasante Entwicklung der Mikroelektronik war und ist nur mit massiver Unterstützung durch die Simulation von Prozessen und neuen Bauelementen möglich. Wie, das zeigt das Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB bei seiner Jahrestagung am 9. Dezember 2011 in Erlangen.

Die für die Herstellung mikro- und nanoelektronischer Bauelemente verwendete Siliciumtechnologie wird verglichen mit der durch sie ermöglichten Breite von Anwendungen öffentlich kaum wahrgenommen, obwohl es ohne sie keine miniaturisierten Bauelemente gäbe und damit der berufliche und private Alltag der Menschen vollständig anders aussähe – wer möchte schon z.B. für den Transport der Daten seines MP3-Spielers Elektronik für einige Millionen Euro und den Raum eines VW-Busses benötigen?

Neben der Herstellung immer leistungsfähigerer (d.h. schnellerer und kleinerer) Bauelemente und Schaltungen ist eine der zentralen Herausforderungen die weitere Reduktion der Herstellungskosten sowie die weitere Verbesserung der Zuverlässigkeit und Lebensdauer der elektronischen Komponenten. Da sich aktuelle Halbleiterbauelemente durch die fortschreitende Miniaturisierung bis in den Bereich weniger Nanometer immer mehr grundlegenden physikalischen Grenzen annähern, ist es zunehmend wichtig, die zugrundeliegenden Vorgänge genau zu verstehen, um die besten Lösungen finden und einsetzen zu können.

Hier setzt die Halbleiterprozess- und Bauelementesimulation an. Aus der Kombination von Experimenten mit physikalischen Grundlagenbetrachtungen werden physikalische Modelle entwickelt und überprüft, mit deren Hilfe die Herstellung und die Eigenschaften von Halbleiterbauelementen auf dem Computer nachgebildet und optimiert werden können. Damit trägt die Simulation nicht nur stark zur Verminderung von Entwicklungszeiten und -kosten bei, sondern schafft auch vollständig neue Möglichkeiten zur umfassenden Untersuchung, Entwicklung und Optimierung von Halbleiterprozessen und -bauelementen.

Die dazu nötigen Entwicklungen werden u.a. in industriellen Strategiepapieren wie der „International Technology Roadmap for Semiconductors ITRS“ beschrieben, an der das IISB intensiv mitarbeitet und bei der das IISB den Simulationsteil leitet.

Das Fraunhofer IISB ist bereits seit seiner Gründung vor 26 Jahren auf dem Gebiet der Halbleiterprozesssimulation tätig und hat die Entwicklung in Europa entscheidend mit geprägt. Das Institut arbeitet mit zahlreichen Partnern in Industrie und Forschung aus dem In- und Ausland zusammen. Ein aktuelles Beispiel für den Beitrag der Simulation zur Technologieentwicklung ist der Lithographiesimulator Dr.LiTHO des IISB: Mit seiner Hilfe kann die Industrie effizienter und umfassender verschiedene Möglichkeiten bewerten und auswählen, mithilfe derer Strukturen hergestellt werden können, die kleiner als ein Viertel der Wellenlänge des verwendeten Lichts sind – der Abmessung, die i.a. vereinfacht als kleinste Grenze für optisch herstellbare Strukturen genannt wird.

Im Rahmen der Jahrestagung 2011 des Fraunhofer IISB werden am 9. Dezember Beispiele für die Entwicklung und Anwendung der Halbleiterprozess- und Bauelementesimulation am Fraunhofer IISB vorgestellt. Die Veranstaltung besteht aus Vorträgen von Wissenschaftlern des IISB sowie von Kooperationspartnern aus Industrie und Forschung.

Ein Höhepunkt steht am Schluss der Veranstaltung: Anlässlich des 70. Geburtstages des ehemaligen Institutsleiters des IISB, Prof. Heiner Ryssel, der auch die Halbleiterprozesssimulation in Deutschland in den 70er Jahren initiiert hat, wird ein kurzer Abriss der Entwicklung dieses Forschungsgebiets am Institut gegeben.

Die Teilnahme an der Jahrestagung ist kostenfrei. Nähere Informationen und das Programm sind im Internet unter den Veranstaltungshinweisen auf www.iisb.fraunhofer.de zu finden.

Ansprechpartner:
Dr. Jürgen Lorenz
Fraunhofer IISB
Schottkystraße 10, 91058 Erlangen, Germany
Tel. +49-9131-761-210
Fax +49-9131-761-211
juergen.lorenz@iisb.fraunhofer.de
Fraunhofer IISB:
Das 1985 gegründete Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB betreibt angewandte Forschung und Entwicklung auf den Gebieten der Mikro- und Nanoelektronik, Leistungselektronik und Mechatronik. Mit Technologie-, Geräte- und Materialentwicklungen für die Nanoelektronik sowie seinen Arbeiten zu leistungselektronischen Systemen für Energieeffizienz, Hybrid- und Elektroautomobile genießt das Institut internationale Aufmerksamkeit und Anerkennung. Rund 170 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter arbeiten in der Vertragsforschung für die Industrie und öffentliche Einrichtungen. Neben seinem Hauptsitz in Erlangen hat das IISB zwei weitere Standorte in Nürnberg und Freiberg. Das IISB kooperiert eng mit dem Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg.

Dr. Bernd Fischer | Fraunhofer-Gesellschaft
Weitere Informationen:
http://www.iisb.fraunhofer.de/

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Veranstaltungsnachrichten:

nachricht Ökologischer Landbau: Experten diskutieren Beitrag zum Grundwasserschutz
17.02.2017 | Universität Hohenheim

nachricht ANIM in Wien mit 1.330 Teilnehmern gestartet
17.02.2017 | Deutsche Gesellschaft für NeuroIntensiv- und Notfallmedizin

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Veranstaltungsnachrichten >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Durchbruch mit einer Kette aus Goldatomen

Einem internationalen Physikerteam mit Konstanzer Beteiligung gelang im Bereich der Nanophysik ein entscheidender Durchbruch zum besseren Verständnis des Wärmetransportes

Einem internationalen Physikerteam mit Konstanzer Beteiligung gelang im Bereich der Nanophysik ein entscheidender Durchbruch zum besseren Verständnis des...

Im Focus: Breakthrough with a chain of gold atoms

In the field of nanoscience, an international team of physicists with participants from Konstanz has achieved a breakthrough in understanding heat transport

In the field of nanoscience, an international team of physicists with participants from Konstanz has achieved a breakthrough in understanding heat transport

Im Focus: Hoch wirksamer Malaria-Impfstoff erfolgreich getestet

Tübinger Wissenschaftler erreichen Impfschutz von bis zu 100 Prozent – Lebendimpfstoff unter kontrollierten Bedingungen eingesetzt

Tübinger Wissenschaftler erreichen Impfschutz von bis zu 100 Prozent – Lebendimpfstoff unter kontrollierten Bedingungen eingesetzt

Im Focus: Sensoren mit Adlerblick

Stuttgarter Forscher stellen extrem leistungsfähiges Linsensystem her

Adleraugen sind extrem scharf und sehen sowohl nach vorne, als auch zur Seite gut – Eigenschaften, die man auch beim autonomen Fahren gerne hätte. Physiker der...

Im Focus: Weltweit genaueste und stabilste transportable optische Uhr

Optische Strontiumuhr der PTB in einem PKW-Anhänger – für geodätische Untersuchungen, weltweite Uhrenvergleiche und schließlich auch eine neue SI-Sekunde

Optische Uhren sind noch genauer als die Cäsium-Atomuhren, die gegenwärtig die Zeit „machen“. Außerdem benötigen sie nur ein Hundertstel der Messdauer, um eine...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

ANIM in Wien mit 1.330 Teilnehmern gestartet

17.02.2017 | Veranstaltungen

Ökologischer Landbau: Experten diskutieren Beitrag zum Grundwasserschutz

17.02.2017 | Veranstaltungen

Von DigiCash bis Bitcoin

16.02.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Stammzellen verlassen Blutgefäße in strömungsarmen Zonen des Knochenmarks

17.02.2017 | Biowissenschaften Chemie

LODENFREY setzt auf das Workforce Mangement von GFOS

17.02.2017 | Unternehmensmeldung

50 Jahre JULABO : Erfahrung – Können & Weiterentwicklung!

17.02.2017 | Unternehmensmeldung