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Vorrichtung und Verfahren zur interferometrischen Abstandsbestimmung

17.12.2014

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abstandsbestimmung mittels eines interferometrischen Sensors. Der Sensor fokussiert Licht auf einen Punkt des Messobjektes. Dieses Licht wird zumindest teilweise in den Sensor zurückreflektiert, hinsichtlich seiner Phasenlage analysiert und in einen Abstandswert umgerechnet. Durch laterales Scannen des Messobjektes relativ zum Sensor lassen sich Mikrostrukturen und Formen mit hoher Genauigkeit erfassen. Da mehrere hunderttausend Abstandsmesswerte pro Sekunde ermittelt werden, können sehr hohe Messgeschwindigkeiten erzielt werden.

Weitere Informationen: PDF

GINo Gesellschaft für Innovation Nordhessen mbH
Tel.: +49 (0)561/8041984

Ansprechpartner
Dr. Heike Krömker

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