Mikro- und Nanospitzen sowie Verfahren zu deren Herstellung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Spitzen durch chemisches Wachstum, deren Größenordnung im Mikro- und/oder Nanometerbereich liegt. Dazu wird ein Precursormaterial in Kontakt mit einer Matrix gebracht und anschließend großflächig energetisch aktiviert (thermisch oder photolytisch). Die nadelförmigen Spitzen können als Bauteile in Mikroskopen, insbesondere Rasterkraftmikroskopen oder optischen Rasternahfeldmikroskopen verwendet werden. Weitere Anwendungsgebiete sind: Mikrosonden zum Schreiben und Auslesen von optischen und magnetischen Datenträgern, Präge- oder Masterstrukturen zur Abformung oder Mikrobearbeitung von weichen Oberflächen, Mikroelektroden zur Emission von Elektronenstrahlung, Mikrobrennstoffzellen, Elektrolysezellen, Kristallisationspunkte, Baukomponenten von Mikroaktuatoren, Aufbau von funktionalen Oberflächen.
Weitere Informationen: PDF
TuTech Innovation GmbH (TuTech)
Tel.: +49 (0)40/76629-6542
Ansprechpartner
Dr. Markus Kähler, Dr. Stefanie Klingelhöfer, Karl-Heinz Rehfeldt, Astrid Stichnoth
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