Linse zur Fokussierung von Ionen- oder Elektronenstrahlen

Um Ionenstrahlen und Elektronenstrahlen zu fokussieren, werden als Linsen sehr homogene elektrische Felder benötigt. Zur Erzeugung dieser homogenen elektrischen Felder werden bisher Platten über Widerstandskaskaden angesteuert.
Die vorliegende Innovation bietet hierfür eine Verbesserung. Statt einer Widerstandskaskade (wie bisher üblich) wird eine flächige Widerstandsschicht verwendet, die mit Platten belegt oder mit Metallen bedampft werden kann.
Das hat den Vorteil, dass durch die Widerstandsschicht ein homogener Potentialgradient zwischen Anode und Katode erzeugt wird. Eine aufwändige Dimensionierung und das Auflöten der Widerstandskaskaden sind damit nicht mehr notwendig.

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Dr. Peter Stumpf

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