Druckgesteuerter Mikromembranspiegel für endoskopische Anwendungen
Das flexible, mikrosystemtechnische Herstellungsverfahren erlaubt die Produktion verschiedener Ausführungsformen von Mikrospiegel-Vorrichtungen z.B. in endoskopischen Anwendungen. Der auf einer Elastomer-Membran fixierte Mikrospiegel wird allein durch Druckänderungen betrieben, um seine Winkel- und translatorische Positionen zu ändern. Dieses druckgesteuerte Aktorprinzip ist im Vergleich zu herkömmlichen elektrostatisch angetriebenen Systemen mit den üblicherweise hohen Betriebsspannungen gesundheitlich unbedenklich und in-vivo einsetzbar. Des Weiteren erfolgt das Auslenken des Spiegels über einen erheblich größeren Winkel- und Höhenbereich, gegenüber dem Stand der Technik. Die Mikrospiegel können auch in einem Array angeordnet und individuell gesteuert werden.
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Campus Technologies Freiburg GmbH
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Prof. Dr. Bernhard J. Arnolds
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