Direct ReSi – direkte Siliziumrückgewinnung aus Si / SiC Sägeschlämmen
Die Erfindung direct ReSi umfasst ein Verfahren zur Rückgewinnung von Silizium aus Sägeschlämmen. Während der Waferproduktion fallen beim Schneiden Schlämme an, die Silizium und Siliziumcarbid (SiC) enthalten. Nach der Abtrennung der groben SiC Partikel wird nach dem direct ReSi Verfahren vorgeschlagen, die passivierende Oxidschicht der Si Partikel zu entfernen, um sie für die anschließende Hydrochlorierung zu aktivieren. Die Hydrochlorierung mit Chlorwasserstoffgas führt zu Trichlorsilan, welches als Ausgangsmaterial für Reinstsilizium dient.
Kommerzielle Anwendung Um die Produktionskosten bei der Waferproduktion zu senken, ist das Recycling des mit viel Energie hergestellten Reinstsiliziums für die Industrie von starkem Interesse. Dies ist Teil vielfältiger öffentlicher und industrieller Forschung.
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PROvendis GmbH
Tel.: +49 (0)208/94105 10
Ansprechpartner
Dipl.-Ing. Alfred Schillert
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