Maskenlose Mikrolithographie
Die Weiterentwicklung in der Forschung von mikroelektronischen Bauteilen hängt wesentlich von dem Vermögen und der Flexibilität der mikrolithographischen Geräte ab. Erfindungsgemäß geht es um eine mikrolithographische-Vorrichtung und ein Verfahren mit hoher Auflösung und hohem Durchsatz bei geringeren Systemkosten.
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