Bauteile mit kristallinen Beschichtungen des Systems Aluminiumoxid/Siliziumoxid und Verfahren zu deren Herstellung
Mit dem Verfahren entstehen durch entsprechenden Verfahrensbedingungen aufgrund der Eigenschaften von Aluminiumoxid und Siliziumoxid die polymorphen Modifikationen von Al2SiO5 in der Mischschicht des Systems Al-Si-O. Diese Kristallmodifikationen bilden in der jeweiligen Schichtzusammensetzung eines Schichtstapels (Mehrschichtsystem) eine harte funktionelle Schicht, die verhindert, dass bei Anwendung der Schichtstapel zerstört wird.
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GWT-TUD GmbH; FB Sächsische PatentVerwertungsAgentur (SPVA)
Tel.: 0351-8734 1725
Ansprechpartner
Dipl.-Wirtsch.-Ing. Elke Göring
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