Vorrichtung zur Überwachung von Ätzvorgängen

An der Universität des Saarlandes im Fachbereich Mikromechanik wurde eine neuar-tige Vorrichtung zur Überwachung von nasschemischen Ätzvorgängen entwickelt. Dabei kann das gewünschte Endpunkt des Ätzvorgangs (Ätzstopp) durch kontinuierliche Messung während des nasschemischen Strukturierungsvorgangs bestimmt werden.

Weitere Informationen: PDF

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