Verfahren und Vorrichtung zur nanometer genauen Positionierung von Bauteilen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur nanometer genauen Positionierung von zwei oder mehreren Bauteilen zueinander.
Dabei ist eine Genauigkeit von 1nm möglich. Mit diesem Verfahren können mehrere Bauteile auf eine flexible Struktur auf einen Punkt ausgerichtet werden. Des Weiteren lässt sich an eine bestimmte Position eine Markierung auf eine Oberfläche aufbringen. Die Vorrichtung ermöglicht die Messung von Wechselwirkungen von flexiblen Strukturen einer Oberfläche und den entsprechenden Prägestempeln und ermittelt die genaue Position zueinander. Mit diesen Messwerten kann dann eine Bewegung gesteuert werden. Durch die erzielbare Genauigkeit von unter weniger nm ist das Verfahren insbesondere in verschiedenen Herstellungprozessen der Halbleiterfertigung einsetzbar. Weitere Anwendungen existieren in der Nanoelektronik, der Molekularelektronik und Nanofluidikbauelementen.
Weitere Informationen: PDF
GINo Gesellschaft für Innovation Nordhessen mbH
Tel.: +49 (0)561/8041984
Ansprechpartner
Dr. Heike Krömker
Media Contact
Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote
Neueste Beiträge
Nanofasern-befreien Wasser von gefährlichen Farbstoffen
Farbstoffe, wie sie zum Beispiel in der Textilindustrie verwendet werden, sind ein großes Umweltproblem. An der TU Wien entwickelte man nun effiziente Filter dafür – mit Hilfe von Zellulose-Abfällen. Abfall…
Entscheidender Durchbruch für die Batterieproduktion
Energie speichern und nutzen mit innovativen Schwefelkathoden. HU-Forschungsteam entwickelt Grundlagen für nachhaltige Batterietechnologie. Elektromobilität und portable elektronische Geräte wie Laptop und Handy sind ohne die Verwendung von Lithium-Ionen-Batterien undenkbar. Das…
Wenn Immunzellen den Körper bewegungsunfähig machen
Weltweit erste Therapie der systemischen Sklerose mit einer onkologischen Immuntherapie am LMU Klinikum München. Es ist ein durchaus spektakulärer Fall: Nach einem mehrwöchigen Behandlungszyklus mit einem immuntherapeutischen Krebsmedikament hat ein…