Herstellung von dreidimensionalen Mikroformen
Die hier vorgestellte Technologie ermöglicht die 3-dimensionale Ober-flächenbearbeitung von ätzbaren Materialien sowie die Herstellung von Mikroformen für Abformtechniken. Das einstufige Verfahren zeichnet sich durch hohe Präzision und niedrige Prozesskosten aus
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Professor Dr. Arno Basedow
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