Herstellung von dreidimensionalen photonischen Kristallen mit direktem Laserschreiben
Ein Verfahren zur kontrollierten Herstellung von dreidimensionalen photonischen Kristallen ist das direkte Laserschreiben. Hierbei wird der Strahl eines Femtosekundenlasers in das Volumen des Photolacks fokussiert. Nur im Fokus ist die Intensität so hoch, dass dieser Bereich belichtet wird und nach der Entwicklung stehen bleibt. Durch kontinuierliches Verfahren eines Piezo-Verschiebetisches, der hohe Lineargeschwindigkeiten ermöglicht, lassen sich so beliebige 3-D-Strukturen herstellen. Hierdurch werden gleichzeitig die Strukturen geringfügig verschmiert und damit wesentlich glatter.
Dr. Stephan Gärtner
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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