Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Optische Lithographie - ein Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen und Formeinsätzen

26.03.2007
Dreidimensionale Mikroteile aus Kunststoff können durch optische Lithographieverfahren hergestellt werden.

Die Verwendung des negativ arbeitenden Photoresists EPON SU-8 ermöglicht die Herstellung von Kunststoffmikrostrukturen mit einer Strukturhöhe von mehreren 100 µm. Dabei sind Aspektverhältnisse (Verhältnis von Strukturhöhe zu Strukturdetail) im Bereich von 10 erreichbar. Die Verwendung des Photoresists EPON SU-8 ermöglicht die Herstellung von Mikrostrukturen mit nahezu senkrechten Seitenwänden mit Oberflächenrauigkeiten von kleiner 20 Nanometer.Aufgrund der exzellenten Haftung der einzelnen Resistschichten können auch stufige Mikrostrukturen durch eine serielle Beschichtung und Belichtung erzeugt werden.

Vorteile dieses Verfahrens für den Anwender sind die grosse zu strukturierende Nutzfläche (auf 6-Zoll-Basis) und der Einsatz konventioneller UV-Lithographie-Techniken. Hieraus folgen schnelle Prozesslaufzeiten für die Formeinsatzherstellung, d. h. Entwicklungsarbeiten und Herstellung von Applikationsprototypen können zeitlich eng verzahnt werden.

Dr. Manuella Werp
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Stabsabteilung Marketing, Patente und Lizenzen
Hermann-von-Helmholtz-Platz 1
D-76344 Eggenstein-Leopoldshafen
info@map.fzk.de

|
Weitere Informationen:
http://www.fzk.de/fzk/idcplg?IdcService=TTB&document=ID_057082&lnode=3452

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Electromagnetic water cloak eliminates drag and wake

Detailed calculations show water cloaks are feasible with today's technology

Researchers have developed a water cloaking concept based on electromagnetic forces that could eliminate an object's wake, greatly reducing its drag while...

Im Focus: Neue Einblicke in die Materie: Hochdruckforschung in Kombination mit NMR-Spektroskopie

Forschern der Universität Bayreuth und des Karlsruhe Institute of Technology (KIT) ist es erstmals gelungen, die magnetische Kernresonanzspektroskopie (NMR) in Experimenten anzuwenden, bei denen Materialproben unter sehr hohen Drücken – ähnlich denen im unteren Erdmantel – analysiert werden. Das in der Zeitschrift Science Advances vorgestellte Verfahren verspricht neue Erkenntnisse über Elementarteilchen, die sich unter hohen Drücken oft anders verhalten als unter Normalbedingungen. Es wird voraussichtlich technologische Innovationen fördern, aber auch neue Einblicke in das Erdinnere und die Erdgeschichte, insbesondere die Bedingungen für die Entstehung von Leben, ermöglichen.

Diamanten setzen Materie unter Hochdruck

Im Focus: Scientists channel graphene to understand filtration and ion transport into cells

Tiny pores at a cell's entryway act as miniature bouncers, letting in some electrically charged atoms--ions--but blocking others. Operating as exquisitely sensitive filters, these "ion channels" play a critical role in biological functions such as muscle contraction and the firing of brain cells.

To rapidly transport the right ions through the cell membrane, the tiny channels rely on a complex interplay between the ions and surrounding molecules,...

Im Focus: Stabile Quantenbits

Physiker aus Konstanz, Princeton und Maryland schaffen ein stabiles Quantengatter als Grundelement für den Quantencomputer

Meilenstein auf dem Weg zum Quantencomputer: Wissenschaftler der Universität Konstanz, der Princeton University sowie der University of Maryland entwickeln ein...

Im Focus: Realer Versuch statt virtuellem Experiment: Erfolgreiche Prüfung von Nanodrähten

Mit neuartigen Experimenten enträtseln Forscher des Helmholtz-Zentrums Geesthacht und der Technischen Universität Hamburg, warum winzige Metallstrukturen extrem fest sind

Ultraleichte und zugleich extrem feste Werkstoffe – poröse Nanomaterialien aus Metall versprechen hochinteressante Anwendungen unter anderem für künftige...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Innovative Strategien zur Bekämpfung von parasitären Würmern

08.12.2017 | Veranstaltungen

Hohe Heilungschancen bei Lymphomen im Kindesalter

07.12.2017 | Veranstaltungen

Der Roboter im Pflegeheim – bald Wirklichkeit?

05.12.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Gefäßregeneration: Wie sich Wunden schließen

12.12.2017 | Medizin Gesundheit

Mit Drohnen Wildschweinschäden schätzen

12.12.2017 | Ökologie Umwelt- Naturschutz

Tumoren ordentlich einheizen

12.12.2017 | Biowissenschaften Chemie