Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Optische Lithographie - ein Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen und Formeinsätzen

26.03.2007
Dreidimensionale Mikroteile aus Kunststoff können durch optische Lithographieverfahren hergestellt werden.

Die Verwendung des negativ arbeitenden Photoresists EPON SU-8 ermöglicht die Herstellung von Kunststoffmikrostrukturen mit einer Strukturhöhe von mehreren 100 µm. Dabei sind Aspektverhältnisse (Verhältnis von Strukturhöhe zu Strukturdetail) im Bereich von 10 erreichbar. Die Verwendung des Photoresists EPON SU-8 ermöglicht die Herstellung von Mikrostrukturen mit nahezu senkrechten Seitenwänden mit Oberflächenrauigkeiten von kleiner 20 Nanometer.Aufgrund der exzellenten Haftung der einzelnen Resistschichten können auch stufige Mikrostrukturen durch eine serielle Beschichtung und Belichtung erzeugt werden.

Vorteile dieses Verfahrens für den Anwender sind die grosse zu strukturierende Nutzfläche (auf 6-Zoll-Basis) und der Einsatz konventioneller UV-Lithographie-Techniken. Hieraus folgen schnelle Prozesslaufzeiten für die Formeinsatzherstellung, d. h. Entwicklungsarbeiten und Herstellung von Applikationsprototypen können zeitlich eng verzahnt werden.

Dr. Manuella Werp
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Stabsabteilung Marketing, Patente und Lizenzen
Hermann-von-Helmholtz-Platz 1
D-76344 Eggenstein-Leopoldshafen
info@map.fzk.de

|
Weitere Informationen:
http://www.fzk.de/fzk/idcplg?IdcService=TTB&document=ID_057082&lnode=3452

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Technologieangebote:

nachricht BladderCa Urine Test - EI-BLA: 2-gene biomarker panel for early detection of bladder cancer from urine
20.01.2017 | TechnologieAllianz e.V.

nachricht System zum Schleusen, Dosieren und Spritzgießen von Material
19.01.2017 | TechnologieAllianz e.V.

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Innovatives Hochleistungsmaterial: Biofasern aus Florfliegenseide

Neuartige Biofasern aus einem Seidenprotein der Florfliege werden am Fraunhofer-Institut für Angewandte Polymerforschung IAP gemeinsam mit der Firma AMSilk GmbH entwickelt. Die Forscher arbeiten daran, das Protein in großen Mengen biotechnologisch herzustellen. Als hochgradig biegesteife Faser soll das Material künftig zum Beispiel in Leichtbaukunststoffen für die Verkehrstechnik eingesetzt werden. Im Bereich Medizintechnik sind beispielsweise biokompatible Seidenbeschichtungen von Implantaten denkbar. Ein erstes Materialmuster präsentiert das Fraunhofer IAP auf der Internationalen Grünen Woche in Berlin vom 20.1. bis 29.1.2017 in Halle 4.2 am Stand 212.

Zum Schutz des Nachwuchses vor bodennahen Fressfeinden lagern Florfliegen ihre Eier auf der Unterseite von Blättern ab – auf der Spitze von stabilen seidenen...

Im Focus: Verkehrsstau im Nichts

Konstanzer Physiker verbuchen neue Erfolge bei der Vermessung des Quanten-Vakuums

An der Universität Konstanz ist ein weiterer bedeutender Schritt hin zu einem völlig neuen experimentellen Zugang zur Quantenphysik gelungen. Das Team um Prof....

Im Focus: Traffic jam in empty space

New success for Konstanz physicists in studying the quantum vacuum

An important step towards a completely new experimental access to quantum physics has been made at University of Konstanz. The team of scientists headed by...

Im Focus: Textiler Hochwasserschutz erhöht Sicherheit

Wissenschaftler der TU Chemnitz präsentieren im Februar und März 2017 ein neues temporäres System zum Schutz gegen Hochwasser auf Baumessen in Chemnitz und Dresden

Auch die jüngsten Hochwasserereignisse zeigen, dass vielerorts das natürliche Rückhaltepotential von Uferbereichen schnell erschöpft ist und angrenzende...

Im Focus: Wie Darmbakterien krank machen

HZI-Forscher entschlüsseln Infektionsmechanismen von Yersinien und Immunantworten des Wirts

Yersinien verursachen schwere Darminfektionen. Um ihre Infektionsmechanismen besser zu verstehen, werden Studien mit dem Modellorganismus Yersinia...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Mittelstand 4.0 – Mehrwerte durch Digitalisierung: Hintergründe, Beispiele, Lösungen

20.01.2017 | Veranstaltungen

Nachhaltige Wassernutzung in der Landwirtschaft Osteuropas und Zentralasiens

19.01.2017 | Veranstaltungen

Künftige Rohstoffexperten aus aller Welt in Freiberg zur Winterschule

18.01.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

21.500 Euro für eine grüne Zukunft – Unserer Umwelt zuliebe

20.01.2017 | Unternehmensmeldung

innovations-report im Interview mit Rolf-Dieter Lafrenz, Gründer und Geschäftsführer der Hamburger Start ups Cargonexx

20.01.2017 | Unternehmensmeldung

Niederlande: Intelligente Lösungen für Bahn und Stahlindustrie werden gefördert

20.01.2017 | Förderungen Preise