Verfahren zur Herstellung hochpräziser Mikrobauteile

Anwendungen finden sich in der Nachrichtentechnik, der medizinischen Diagnostik oder Automatisierung, um nur einige zu nennen.Das LIGA–Verfahren ermöglicht die Herstellung von Mikrobauteilen mit nahezu beliebigen lateralen Geometrien und großer Strukturhöhe aus den Materialien Kunststoff, Metall und Keramik, und deckt so den Bereich der „Nicht-Silizium“-Materialien ab. Im LIGA-Verfahren werden die Prozesse Lithographie, Galvanik und Abformung bedarfsabhängig kombiniert. Mit Seitenwandrauhigkeiten unter 50 Nanometer, Seitenwandvertikalitäten kleiner 0,5° und metrischen Genauigkeiten deutlich unter 1 Mikrometer wird auch die für die Mikrooptik unverzichtbare Präzision mit dem Verfahren erzielt.

Eine günstige Fertigung großer Stückzahlen kann mittels Rapid Prototyping oder Replikationsverfahren erfolgen.

Anwendern ermöglicht das LIGA-Verfahren den Vorstoß in neue Dimensionen der Miniaturisierung und die Erschließung neuer Anwendungen.

Dr. Manuella Werp
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Stabsabteilung Marketing, Patente und Lizenzen
Hermann-von-Helmholtz-Platz 1
D-76344 Eggenstein-Leopoldshafen
info@map.fzk.de

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote

Zurück zur Startseite

Kommentare (0)

Schreiben Sie einen Kommentar

Neueste Beiträge

Neues topologisches Metamaterial

… verstärkt Schallwellen exponentiell. Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler am niederländischen Forschungsinstitut AMOLF haben in einer internationalen Kollaboration ein neuartiges Metamaterial entwickelt, durch das sich Schallwellen auf völlig neue Art und Weise…

Astronomen entdecken starke Magnetfelder

… am Rand des zentralen schwarzen Lochs der Milchstraße. Ein neues Bild des Event Horizon Telescope (EHT) hat starke und geordnete Magnetfelder aufgespürt, die vom Rand des supermassereichen schwarzen Lochs…

Faktor für die Gehirnexpansion beim Menschen

Was unterscheidet uns Menschen von anderen Lebewesen? Der Schlüssel liegt im Neokortex, der äußeren Schicht des Gehirns. Diese Gehirnregion ermöglicht uns abstraktes Denken, Kunst und komplexe Sprache. Ein internationales Forschungsteam…

Partner & Förderer