Herstellung von Mikrobauteilen durch mechanische Bearbeitung
Sie eignen sich insbesondere zur Herstellung von komplexen Präzisionsteilen mit sehr hoher Genauigkeit, stoßen jedoch mit der Feinheit der herzustellenden Strukturen bei herkömmlicher Verfahrensführung schnell an ihre Grenzen.Die spanende Herstellung wurde in den letzten Jahren durch die Optimierung und Standardisierung der einzelnen Fertigungsschritte insbesondere für die Herstellung von Mikrostrukturen, fortlaufend verbessert hinsichtlich Reproduzierbarkeit, Zuverlässigkeit und der Herstellungskosten für Mikrostrukturapparate.
Die mechanische Mikrostrukturierung umfasst Bohren, Fräsen, Drehen und Hobeln im Mikrometermaßstab. Mit kleinsten Werkzeugen aus Diamant oder Hartmetall können Metalle mit Genauigkeiten im Mikrometerbereich strukturiert werden. Bisher wurden insbesondere Stähle, Nickel-Basis-Legierungen, Kupfer und Kupferlegierungen, Aluminium, Titan, Tantal, Palladium, Rhodium und Silber strukturiert.
Dr. Andreas Weddigen
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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