Workshop zu Technologien und Werkstoffen der Mikrosystem- und Nanotechnik

Die Mikrosystemtechnik ist wichtige Schlüsseltechnologie in Bereichen wie der Informations- und Kommunikationstechnik, Medizintechnik, Biotechnologie und Automobilindustrie.

Die VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik veranstaltet am 10. und 11. Mai 2010 in Darmstadt einen Workshop zu Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik.

Auf der Materialbasis Silizium haben sich verschiedene Technologien wie Oberflächen-Mikromechanik, Tieftrockenätzen, poröses Silizium oder Waferbondverfahren entwickelt. Diese und weitere Verfahren stehen im Mittelpunkt des Workshops, zu dem Interessierte bis 15. Januar 2010 Fachbeiträge zu folgenden Themen einreichen können:

3D-Strukturierung von Mikrosystemen (high aspect ratio)
– Tiefenlithographie
– Abformtechniken
– Silizium-Tieftrockenätzen (DRIE)
– Oberflächen-Mikromechanik, poröses Silizium
Polymere Werkstoffe für MST und deren Verarbeitung
Drucktechniken für Mikrosysteme
Mikroformgebungsverfahren, z.B.
– Spritzgießen, Heißprägen u.a. für verschiedene Materialsysteme
– Nanoimprint-Verfahren
Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme
– Waferbondverfahren für 3D-Mikrosysteme
– Niedertemperatur-Fügeverfahren
Integration von Funktionsmaterialien, wie z.B.
– XMR-Materialien und -Technologien
– Thermoelektrika
– Piezoelektrika
– Dielektrika, Ferroelektrika
– Formgedächtnislegierungen/-polymere
– Nanomaterialien
– Mikrostrukturierbare Kompositmaterialien (u.a. Mikrooptik)
Pressekontakt: Melanie Mora, Telefon: 069 6308-461, melanie.mora@vde.com