Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Neue Technologien für Speicher- und Logikchipproduktion der nächsten Generation aus Dresden

13.08.2008
Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) fördert mit dem Verbundprojekt "Critical Dimension und Registration für die 32nm Maskenlithographie" (CDuR32) in den kommenden zweieinhalb Jahren die High-Tech Entwicklung von Technologien und Messtechniken im Bereich höchstintegrierter Elektronik.

Ziel ist es, der Region Dresden, dem führenden Elektronikstandort in Europa, einen Vorsprung im Bereich moderner Masken zu verschaffen. Partner im Verbundprojekt sind das Advanced Mask Technology Center (AMTC) in Dresden, das mittelständische Unternehmen Vistec Semiconductor Systems GmbH aus Weilburg und die Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Braunschweig und Berlin (PTB).

Das im Rahmen der Hightech-Strategie der Bundesregierung geförderte Projekt CDuR32 ermöglicht den beteiligten Partnern eine frühzeitige Kooperation in einem strategischen Forschungsbereich und eröffnet somit Chancen, einen Wettbewerbsvorteil für die Region Dresden herauszuarbeiten. Eine zentrale Rolle spielt dabei die Dresdner Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) als Lieferant der derzeit weltweit anspruchsvollsten Photomasken für die Halbleiterindustrie. Eine Photomaske ist der "Urchip", mit deren Hilfe die Strukturen in den Chipfabriken auf Mikrochips aufgebracht werden.

Im Rahmen des Verbundprojektes werden Maskentechnologien für die 32nm-Speicherchip- (z. B. DRAM) und die 22nm-Logikchip-Generation (z. B. CPU) entwickelt. Diese Technologien sind nötig für die übernächste Chipgeneration, die ca. ab 2012 in Dresden produziert wird. Damit leistet dieses neue Spitzentechnologieprojekt einen wesentlichen Beitrag zur Festigung und zum Ausbau der Informations- und Kommunikationstechnologien (IKT) in Deutschland. In Übereinstimmung mit den Zielen der europäischen Förderplattform ENIAC soll CDuR32 helfen, die Position Europas in der Nanoelektronik weiter auszubauen.

Gleichzeitig sorgt es dafür, dass Arbeitsplätze, die eine hohe fachliche Qualifikation erfordern, erhalten bleiben und neue geschaffen werden können. Das Projekt mit einem Umfang von 16,7 Millionen Euro wird vom BMBF mit 7,9 Millionen Euro gefördert.

Die Aufgaben der drei Partner im Projekt: Das AMTC untersucht und erarbeitet die Grundlagen für die Maskenfertigung der 32/22nm Technologie.

Vistec Semiconductor Systems entwickelt eine neue Generation zukunftsorientierter Messgeräte (LMS IPRO5). Hierdurch werden die extrem hohen Anforderungen zur Qualifizierung der Strukturlagegenauigkeit auf diesen Masken erfüllt. Dieser Ansatz ermöglicht die Vermessung von Maskenstrukturen für den folgenden Technologieknoten und ist damit eine Voraussetzung für die Produktion zukünftiger Chipgenerationen. Die PTB bringt ihre einzigartigen messtechnischen Möglichkeiten sowie neuen mathematischen Auswertungsverfahren als Beitrag zu Lösungen bei der Qualitätssicherung der Masken ein. Hierfür werden die notwendigen Mess- und Prüfvorschriften definiert und charakterisiert.

Schon in den vergangenen Jahren wurde am Standort Deutschland mit Hilfe der BMBF-Förderung eine hervorragende Forschungs- und Entwicklungs-Infrastruktur geschaffen, dank derer die technologische Spitzenstellung des Landes im Bereich Photomaskenentwicklung und Nanoelektronik den internationalen Vergleich nicht zu scheuen braucht.

Dr. Jens Simon | idw
Weitere Informationen:
http://www.ptb.de/
http://www.amtc-dresden.com
http://www.vistec-semi.com

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Physik Astronomie:

nachricht Ultra-sensitiv dank quantenmechanischer Verschränkung
28.06.2017 | Universität Stuttgart

nachricht Forscher sorgen mit ungewöhnlicher Studie über Edelgase international für Aufmerksamkeit
26.06.2017 | Universität Bremen

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Physik Astronomie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Schnelles und umweltschonendes Laserstrukturieren von Werkzeugen zur Folienherstellung

Kosteneffizienz und hohe Produktivität ohne dabei die Umwelt zu belasten: Im EU-Projekt »PoLaRoll« entwickelt das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT aus Aachen gemeinsam mit dem Oberhausener Fraunhofer-Institut für Umwelt-, Sicherheit- und Energietechnik UMSICHT und sechs Industriepartnern ein Modul zur direkten Laser-Mikrostrukturierung in einem Rolle-zu-Rolle-Verfahren. Ziel ist es, mit Hilfe dieses Systems eine siebartige Metallfolie als Demonstrator zu fertigen, die zum Sonnenschutz von Glasfassaden verwendet wird: Durch ihre besondere Geometrie wird die Sonneneinstrahlung reduziert, woraus sich ein verminderter Energieaufwand für Kühlung und Belüftung ergibt.

Das Fraunhofer IPT ist im Projekt »PoLaRoll« für die Prozessentwicklung der Laserstrukturierung sowie für die Mess- und Systemtechnik zuständig. Von den...

Im Focus: Das Auto lernt vorauszudenken

Ein neues Christian Doppler Labor an der TU Wien beschäftigt sich mit der Regelung und Überwachung von Antriebssystemen – mit Unterstützung des Wissenschaftsministeriums und von AVL List.

Wer ein Auto fährt, trifft ständig Entscheidungen: Man gibt Gas, bremst und dreht am Lenkrad. Doch zusätzlich muss auch das Fahrzeug selbst ununterbrochen...

Im Focus: Vorbild Delfinhaut: Elastisches Material vermindert Reibungswiderstand bei Schiffen

Für eine elegante und ökonomische Fortbewegung im Wasser geben Delfine den Wissenschaftlern ein exzellentes Vorbild. Die flinken Säuger erzielen erstaunliche Schwimmleistungen, deren Ursachen einerseits in der Körperform und andererseits in den elastischen Eigenschaften ihrer Haut zu finden sind. Letzteres Phänomen ist bereits seit Mitte des vorigen Jahrhunderts bekannt, konnte aber bislang nicht erfolgreich auf technische Anwendungen übertragen werden. Experten des Fraunhofer IFAM und der HSVA GmbH haben nun gemeinsam mit zwei weiteren Forschungspartnern eine Oberflächenbeschichtung entwickelt, die ähnlich wie die Delfinhaut den Strömungswiderstand im Wasser messbar verringert.

Delfine haben eine glatte Haut mit einer darunter liegenden dicken, nachgiebigen Speckschicht. Diese speziellen Hauteigenschaften führen zu einer signifikanten...

Im Focus: Kaltes Wasser: Und es bewegt sich doch!

Bei minus 150 Grad Celsius flüssiges Wasser beobachten, das beherrschen Chemiker der Universität Innsbruck. Nun haben sie gemeinsam mit Forschern in Schweden und Deutschland experimentell nachgewiesen, dass zwei unterschiedliche Formen von Wasser existieren, die sich in Struktur und Dichte stark unterscheiden.

Die Wissenschaft sucht seit langem nach dem Grund, warum ausgerechnet Wasser das Molekül des Lebens ist. Mit ausgefeilten Techniken gelingt es Forschern am...

Im Focus: Hyperspektrale Bildgebung zur 100%-Inspektion von Oberflächen und Schichten

„Mehr sehen, als das Auge erlaubt“, das ist ein Anspruch, dem die Hyperspektrale Bildgebung (HSI) gerecht wird. Die neue Kameratechnologie ermöglicht, Licht nicht nur ortsaufgelöst, sondern simultan auch spektral aufgelöst aufzuzeichnen. Das bedeutet, dass zur Informationsgewinnung nicht nur herkömmlich drei spektrale Bänder (RGB), sondern bis zu eintausend genutzt werden.

Das Fraunhofer IWS Dresden entwickelt eine integrierte HSI-Lösung, die das Potenzial der HSI-Technologie in zuverlässige Hard- und Software überführt und für...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Marine Pilze – hervorragende Quellen für neue marine Wirkstoffe?

28.06.2017 | Veranstaltungen

Willkommen an Bord!

28.06.2017 | Veranstaltungen

Internationale Fachkonferenz IEEE ICDCM - Lokale Gleichstromnetze bereichern die Energieversorgung

27.06.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

EUROSTARS-Projekt gestartet - mHealth-Lösung: time4you Forschungs- und Entwicklungspartner bei IMPACHS

28.06.2017 | Unternehmensmeldung

Proteine entdecken, zählen, katalogisieren

28.06.2017 | Biowissenschaften Chemie

Neue Scheinwerfer-Dimension: Volladaptive Lichtverteilung in Echtzeit

28.06.2017 | Automotive