Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Neue Technologien für Speicher- und Logikchipproduktion der nächsten Generation aus Dresden

13.08.2008
Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) fördert mit dem Verbundprojekt "Critical Dimension und Registration für die 32nm Maskenlithographie" (CDuR32) in den kommenden zweieinhalb Jahren die High-Tech Entwicklung von Technologien und Messtechniken im Bereich höchstintegrierter Elektronik.

Ziel ist es, der Region Dresden, dem führenden Elektronikstandort in Europa, einen Vorsprung im Bereich moderner Masken zu verschaffen. Partner im Verbundprojekt sind das Advanced Mask Technology Center (AMTC) in Dresden, das mittelständische Unternehmen Vistec Semiconductor Systems GmbH aus Weilburg und die Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Braunschweig und Berlin (PTB).

Das im Rahmen der Hightech-Strategie der Bundesregierung geförderte Projekt CDuR32 ermöglicht den beteiligten Partnern eine frühzeitige Kooperation in einem strategischen Forschungsbereich und eröffnet somit Chancen, einen Wettbewerbsvorteil für die Region Dresden herauszuarbeiten. Eine zentrale Rolle spielt dabei die Dresdner Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) als Lieferant der derzeit weltweit anspruchsvollsten Photomasken für die Halbleiterindustrie. Eine Photomaske ist der "Urchip", mit deren Hilfe die Strukturen in den Chipfabriken auf Mikrochips aufgebracht werden.

Im Rahmen des Verbundprojektes werden Maskentechnologien für die 32nm-Speicherchip- (z. B. DRAM) und die 22nm-Logikchip-Generation (z. B. CPU) entwickelt. Diese Technologien sind nötig für die übernächste Chipgeneration, die ca. ab 2012 in Dresden produziert wird. Damit leistet dieses neue Spitzentechnologieprojekt einen wesentlichen Beitrag zur Festigung und zum Ausbau der Informations- und Kommunikationstechnologien (IKT) in Deutschland. In Übereinstimmung mit den Zielen der europäischen Förderplattform ENIAC soll CDuR32 helfen, die Position Europas in der Nanoelektronik weiter auszubauen.

Gleichzeitig sorgt es dafür, dass Arbeitsplätze, die eine hohe fachliche Qualifikation erfordern, erhalten bleiben und neue geschaffen werden können. Das Projekt mit einem Umfang von 16,7 Millionen Euro wird vom BMBF mit 7,9 Millionen Euro gefördert.

Die Aufgaben der drei Partner im Projekt: Das AMTC untersucht und erarbeitet die Grundlagen für die Maskenfertigung der 32/22nm Technologie.

Vistec Semiconductor Systems entwickelt eine neue Generation zukunftsorientierter Messgeräte (LMS IPRO5). Hierdurch werden die extrem hohen Anforderungen zur Qualifizierung der Strukturlagegenauigkeit auf diesen Masken erfüllt. Dieser Ansatz ermöglicht die Vermessung von Maskenstrukturen für den folgenden Technologieknoten und ist damit eine Voraussetzung für die Produktion zukünftiger Chipgenerationen. Die PTB bringt ihre einzigartigen messtechnischen Möglichkeiten sowie neuen mathematischen Auswertungsverfahren als Beitrag zu Lösungen bei der Qualitätssicherung der Masken ein. Hierfür werden die notwendigen Mess- und Prüfvorschriften definiert und charakterisiert.

Schon in den vergangenen Jahren wurde am Standort Deutschland mit Hilfe der BMBF-Förderung eine hervorragende Forschungs- und Entwicklungs-Infrastruktur geschaffen, dank derer die technologische Spitzenstellung des Landes im Bereich Photomaskenentwicklung und Nanoelektronik den internationalen Vergleich nicht zu scheuen braucht.

Dr. Jens Simon | idw
Weitere Informationen:
http://www.ptb.de/
http://www.amtc-dresden.com
http://www.vistec-semi.com

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Physik Astronomie:

nachricht Bereit für neue Turbulenzen
01.03.2017 | Max-Planck-Institut für Dynamik und Selbstorganisation

nachricht Am Rand der Galaxie
01.03.2017 | ESO Science Outreach Network - Haus der Astronomie

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Physik Astronomie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Forscher ahmen molekulares Gedränge nach

Enzyme verhalten sich im geräumigen Reagenzglas anders als im molekularen Gedränge einer lebenden Zelle. Chemiker der Universität Basel konnten diese engen Bedingungen nun erstmals in künstlichen Vesikeln naturgetreu simulieren. Die Erkenntnisse helfen der Weiterentwicklung von Nanoreaktoren und künstlichen Organellen, berichten die Forscher in der Fachzeitschrift «Small».

Enzyme verhalten sich im geräumigen Reagenzglas anders als im molekularen Gedränge einer lebenden Zelle. Chemiker der Universität Basel konnten diese engen...

Im Focus: Researchers Imitate Molecular Crowding in Cells

Enzymes behave differently in a test tube compared with the molecular scrum of a living cell. Chemists from the University of Basel have now been able to simulate these confined natural conditions in artificial vesicles for the first time. As reported in the academic journal Small, the results are offering better insight into the development of nanoreactors and artificial organelles.

Enzymes behave differently in a test tube compared with the molecular scrum of a living cell. Chemists from the University of Basel have now been able to...

Im Focus: Mit Künstlicher Intelligenz das Gehirn verstehen

Wie entsteht Bewusstsein? Die Antwort auf diese Frage, so vermuten Forscher, steckt in den Verbindungen zwischen den Nervenzellen. Leider ist jedoch kaum etwas über den Schaltplan des Gehirns bekannt.

Wie entsteht Bewusstsein? Die Antwort auf diese Frage, so vermuten Forscher, steckt in den Verbindungen zwischen den Nervenzellen. Leider ist jedoch kaum etwas...

Im Focus: Wie Proteine Zellmembranen verformen

Zellen schnüren regelmäßig kleine Bläschen von ihrer Außenhaut ab und nehmen sie in ihr Inneres auf. Daran sind die EHD-Proteine beteiligt, die Professor Oliver Daumke vom MDC erforscht. Er und sein Team haben nun aufgeklärt, wie sich diese Proteine auf der Oberfläche von Zellen zusammenlagern und dadurch deren Außenhaut verformen.

Zellen schnüren regelmäßig kleine Bläschen von ihrer Außenhaut ab und nehmen sie in ihr Inneres auf. Daran sind die EHD-Proteine beteiligt, die Professor...

Im Focus: Safe glide at total engine failure with ELA-inside

On January 15, 2009, Chesley B. Sullenberger was celebrated world-wide: after the two engines had failed due to bird strike, he and his flight crew succeeded after a glide flight with an Airbus A320 in ditching on the Hudson River. All 155 people on board were saved.

On January 15, 2009, Chesley B. Sullenberger was celebrated world-wide: after the two engines had failed due to bird strike, he and his flight crew succeeded...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

„Microbiology and Infection“ – deutschlandweit größte Fachkonferenz 5.-8. März in Würzburg

01.03.2017 | Veranstaltungen

Nebennierentumoren: Radioaktiv markierte Substanzen vermeiden unnötige Operationen

28.02.2017 | Veranstaltungen

350 Onlineforscher_innen treffen sich zur Fachkonferenz General Online Research an der HTW Berlin

28.02.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

„Microbiology and Infection“ – deutschlandweit größte Fachkonferenz 5.-8. März in Würzburg

01.03.2017 | Veranstaltungsnachrichten

CeBIT 2017: Automatisiertes Fahren: Sicheres Navigieren im Baustellenbereich

01.03.2017 | CeBIT 2017

Hybrid-Speicher mit Marktpotenzial: Batterie-Produktion goes Industrie 4.0

01.03.2017 | Energie und Elektrotechnik