Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

EUV-Quelle "klassisch": Kompakt und preiswert

13.12.2002


Feinere Strukturen auf Computerchips können nur mit Hilfe lithographischer Verfahren unter Verwendung immer kleinerer Lichtwellenlängen realisiert werden. Eine Strahlquelle mit extrem kurzen Wellenlängen (13,5 nm) wird zur Zeit am LZH entwickelt, die sich durch eine sehr kompakte Bauweise und einen niedrigen Preis auszeichnet.



Gemäß dem "Moore’schen Gesetz" verdoppelt sich die Leistung von Computerchips etwa alle 18 Monate. Dies erfordert immer feinere Strukturen auf den Chips, die wiederum nur mit Hilfe fortschrittlicher lithographischer Verfahren unter Verwendung immer kleinerer Lichtwellenlängen realisiert werden können. Extreme Ultraviolett (EUV) Lithographie bei einer Wellenlänge um 13,5 nm wird heute allgemein als der wahrscheinlichste Nachfolger der optischen Lithographie für die Chipherstellung der nächsten Generation mit Strukturgrößen unterhalb von etwa 50 Nanometern angesehen. Als mögliche Quellen dieser extrem kurzwelligen Strahlung werden derzeit laserproduzierte Plasmen und Gasentladungen intensiv untersucht.

... mehr zu:
»EUV-Quelle »EUV-Quellen »LZH


Im Zuge dieser Entwicklung werden künftig auch zahlreiche optische Komponenten benötigt, z. B. EUV-Filter, Vielfachschicht-Spiegel, Gitter, welche in diesem Spektralbereich vermessen, d.h. bezüglich ihrer optischen Eigenschaften charakterisiert werden müssen.

Kompakte, kalibrierte und preisgünstige EUV-Quellen sind hierfür von großem Interesse. Derzeit basieren EUV-Quellen für die Messtechnik entweder auf Plasmen oder auf sehr komplexen und kostspieligen Synchrotrons.

Hier hilft die Rückbesinnung auf seit einem Jahrhundert Bewährtes weiter: Eine viel einfachere und häufig übersehene Möglichkeit, EUV-Strahlung zu erzeugen, bietet die Übertragung konventioneller Röntgenröhrentechnik in den EUV-Bereich. Dies erlaubt die Realisierung kompakter, flexibler und preiswerter Strahlquellen und vermeidet die für Plasmaquellen typischen Nachteile, wie z.B. die Entstehung von Debris, der die Betriebsdauer herabsetzt. Eine solche "klassische" EUV-Quelle wird zur Zeit am LZH entwickelt. Elektronen werden kontinuierlich durch Glühemission erzeugt und in einem elektrischen Hochspannungsfeld auf eine Anode aus Beryllium (Be) oder Silizium (Si) beschleunigt anstelle von Wolfram oder Molybdän bei Röntgenröhren in Medizin und Technik. Dabei wird durch charakteristische Emission Strahlung bei 11,4 nm (Be) bzw. bei 13,5 nm (Si) generiert. Diese EUV-Quelle zeichnet sich durch eine sehr kompakte Bauweise und einen niedrigen Preis aus und verspricht zu einem enorm wichtigen Werkzeug für die zukünftige EUV-Metrologie zu avancieren.

In Zusammenarbeit mit der Firma phoenix|x-ray Systems + Services GmbH wird in naher Zukunft eine kommerzielle kompakte "EUV-Röhre" zur Verfügung stehen.

Das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) ist eine durch Mittel des niedersächsischen Ministeriums für Wirtschaft, Technologie und Verkehr unterstützte Forschungs- und Entwicklungseinrichtung auf dem Gebiet der Lasertechnik.

Für mehr Information:
Laser Zentrum Hannover e.V.
Herr Michael Botts
Hollerithallee 8
D-30419 Hannover
Tel.: +49 511 2788-151
Fax: +49 511 2788-100
E-Mail: bt@lzh.de

Michael Botts | idw

Weitere Berichte zu: EUV-Quelle EUV-Quellen LZH

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Physik Astronomie:

nachricht Maßgeschneiderte Eigenschaften erlauben Einblicke in Quantenpunkte
17.01.2018 | Ruhr-Universität Bochum

nachricht Mit Elektrizität Magnetismus umschalten
17.01.2018 | Technische Universität Wien

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Physik Astronomie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Forscher entschlüsseln zentrales Reaktionsprinzip von Metalloenzymen

Sogenannte vorverspannte Zustände beschleunigen auch photochemische Reaktionen

Was ermöglicht den schnellen Transfer von Elektronen, beispielsweise in der Photosynthese? Ein interdisziplinäres Forscherteam hat die Funktionsweise wichtiger...

Im Focus: Scientists decipher key principle behind reaction of metalloenzymes

So-called pre-distorted states accelerate photochemical reactions too

What enables electrons to be transferred swiftly, for example during photosynthesis? An interdisciplinary team of researchers has worked out the details of how...

Im Focus: Erstmalige präzise Messung der effektiven Ladung eines einzelnen Moleküls

Zum ersten Mal ist es Forschenden gelungen, die effektive elektrische Ladung eines einzelnen Moleküls in Lösung präzise zu messen. Dieser fundamentale Fortschritt einer vom SNF unterstützten Professorin könnte den Weg für die Entwicklung neuartiger medizinischer Diagnosegeräte ebnen.

Die elektrische Ladung ist eine der Kerneigenschaften, mit denen Moleküle miteinander in Wechselwirkung treten. Das Leben selber wäre ohne diese Eigenschaft...

Im Focus: The first precise measurement of a single molecule's effective charge

For the first time, scientists have precisely measured the effective electrical charge of a single molecule in solution. This fundamental insight of an SNSF Professor could also pave the way for future medical diagnostics.

Electrical charge is one of the key properties that allows molecules to interact. Life itself depends on this phenomenon: many biological processes involve...

Im Focus: Wie Metallstrukturen effektiv helfen, Knochen zu heilen

Forscher schaffen neue Generation von Knochenimplantaten

Wissenschaftler am Julius Wolff Institut, dem Berlin-Brandenburger Centrum für Regenerative Therapien und dem Centrum für Muskuloskeletale Chirurgie der...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

2. Hannoverscher Datenschutztag: Neuer Datenschutz im Mai – Viele Unternehmen nicht vorbereitet!

16.01.2018 | Veranstaltungen

Fachtagung analytica conference 2018

15.01.2018 | Veranstaltungen

Tagung „Elektronikkühlung - Wärmemanagement“ vom 06. - 07.03.2018 in Essen

11.01.2018 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Der Kobold in der Zange

17.01.2018 | Biowissenschaften Chemie

Mit Elektrizität Magnetismus umschalten

17.01.2018 | Physik Astronomie

Maßgeschneiderte Eigenschaften erlauben Einblicke in Quantenpunkte

17.01.2018 | Physik Astronomie