Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

EUV-Quelle "klassisch": Kompakt und preiswert

13.12.2002


Feinere Strukturen auf Computerchips können nur mit Hilfe lithographischer Verfahren unter Verwendung immer kleinerer Lichtwellenlängen realisiert werden. Eine Strahlquelle mit extrem kurzen Wellenlängen (13,5 nm) wird zur Zeit am LZH entwickelt, die sich durch eine sehr kompakte Bauweise und einen niedrigen Preis auszeichnet.



Gemäß dem "Moore’schen Gesetz" verdoppelt sich die Leistung von Computerchips etwa alle 18 Monate. Dies erfordert immer feinere Strukturen auf den Chips, die wiederum nur mit Hilfe fortschrittlicher lithographischer Verfahren unter Verwendung immer kleinerer Lichtwellenlängen realisiert werden können. Extreme Ultraviolett (EUV) Lithographie bei einer Wellenlänge um 13,5 nm wird heute allgemein als der wahrscheinlichste Nachfolger der optischen Lithographie für die Chipherstellung der nächsten Generation mit Strukturgrößen unterhalb von etwa 50 Nanometern angesehen. Als mögliche Quellen dieser extrem kurzwelligen Strahlung werden derzeit laserproduzierte Plasmen und Gasentladungen intensiv untersucht.

... mehr zu:
»EUV-Quelle »EUV-Quellen »LZH


Im Zuge dieser Entwicklung werden künftig auch zahlreiche optische Komponenten benötigt, z. B. EUV-Filter, Vielfachschicht-Spiegel, Gitter, welche in diesem Spektralbereich vermessen, d.h. bezüglich ihrer optischen Eigenschaften charakterisiert werden müssen.

Kompakte, kalibrierte und preisgünstige EUV-Quellen sind hierfür von großem Interesse. Derzeit basieren EUV-Quellen für die Messtechnik entweder auf Plasmen oder auf sehr komplexen und kostspieligen Synchrotrons.

Hier hilft die Rückbesinnung auf seit einem Jahrhundert Bewährtes weiter: Eine viel einfachere und häufig übersehene Möglichkeit, EUV-Strahlung zu erzeugen, bietet die Übertragung konventioneller Röntgenröhrentechnik in den EUV-Bereich. Dies erlaubt die Realisierung kompakter, flexibler und preiswerter Strahlquellen und vermeidet die für Plasmaquellen typischen Nachteile, wie z.B. die Entstehung von Debris, der die Betriebsdauer herabsetzt. Eine solche "klassische" EUV-Quelle wird zur Zeit am LZH entwickelt. Elektronen werden kontinuierlich durch Glühemission erzeugt und in einem elektrischen Hochspannungsfeld auf eine Anode aus Beryllium (Be) oder Silizium (Si) beschleunigt anstelle von Wolfram oder Molybdän bei Röntgenröhren in Medizin und Technik. Dabei wird durch charakteristische Emission Strahlung bei 11,4 nm (Be) bzw. bei 13,5 nm (Si) generiert. Diese EUV-Quelle zeichnet sich durch eine sehr kompakte Bauweise und einen niedrigen Preis aus und verspricht zu einem enorm wichtigen Werkzeug für die zukünftige EUV-Metrologie zu avancieren.

In Zusammenarbeit mit der Firma phoenix|x-ray Systems + Services GmbH wird in naher Zukunft eine kommerzielle kompakte "EUV-Röhre" zur Verfügung stehen.

Das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) ist eine durch Mittel des niedersächsischen Ministeriums für Wirtschaft, Technologie und Verkehr unterstützte Forschungs- und Entwicklungseinrichtung auf dem Gebiet der Lasertechnik.

Für mehr Information:
Laser Zentrum Hannover e.V.
Herr Michael Botts
Hollerithallee 8
D-30419 Hannover
Tel.: +49 511 2788-151
Fax: +49 511 2788-100
E-Mail: bt@lzh.de

Michael Botts | idw

Weitere Berichte zu: EUV-Quelle EUV-Quellen LZH

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Physik Astronomie:

nachricht Partnerschaft auf Abstand: tiefgekühlte Helium-Moleküle
07.12.2016 | Goethe-Universität Frankfurt am Main

nachricht Das Universum enthält weniger Materie als gedacht
07.12.2016 | Rheinische Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Physik Astronomie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Poröse kristalline Materialien: TU Graz-Forscher zeigt Methode zum gezielten Wachstum

Mikroporöse Kristalle (MOFs) bergen große Potentiale für die funktionalen Materialien der Zukunft. Paolo Falcaro von der TU Graz et al zeigen in Nature Materials, wie man MOFs gezielt im großen Maßstab wachsen lässt.

„Metal-organic frameworks“ (MOFs) genannte poröse Kristalle bestehen aus metallischen Knotenpunkten mit organischen Molekülen als Verbindungselemente. Dank...

Im Focus: Gravitationswellen als Sensor für Dunkle Materie

Die mit der Entdeckung von Gravitationswellen entstandene neue Disziplin der Gravitationswellen-Astronomie bekommt eine weitere Aufgabe: die Suche nach Dunkler Materie. Diese könnte aus einem Bose-Einstein-Kondensat sehr leichter Teilchen bestehen. Wie Rechnungen zeigen, würden Gravitationswellen gebremst, wenn sie durch derartige Dunkle Materie laufen. Dies führt zu einer Verspätung von Gravitationswellen relativ zu Licht, die bereits mit den heutigen Detektoren messbar sein sollte.

Im Universum muss es gut fünfmal mehr unsichtbare als sichtbare Materie geben. Woraus diese Dunkle Materie besteht, ist immer noch unbekannt. Die...

Im Focus: Significantly more productivity in USP lasers

In recent years, lasers with ultrashort pulses (USP) down to the femtosecond range have become established on an industrial scale. They could advance some applications with the much-lauded “cold ablation” – if that meant they would then achieve more throughput. A new generation of process engineering that will address this issue in particular will be discussed at the “4th UKP Workshop – Ultrafast Laser Technology” in April 2017.

Even back in the 1990s, scientists were comparing materials processing with nanosecond, picosecond and femtosesecond pulses. The result was surprising:...

Im Focus: Wie sich Zellen gegen Salmonellen verteidigen

Bioinformatiker der Goethe-Universität haben das erste mathematische Modell für einen zentralen Verteidigungsmechanismus der Zelle gegen das Bakterium Salmonella entwickelt. Sie können ihren experimentell arbeitenden Kollegen damit wertvolle Anregungen zur Aufklärung der beteiligten Signalwege geben.

Jedes Jahr sind Salmonellen weltweit für Millionen von Infektionen und tausende Todesfälle verantwortlich. Die Körperzellen können sich aber gegen die...

Im Focus: Shape matters when light meets atom

Mapping the interaction of a single atom with a single photon may inform design of quantum devices

Have you ever wondered how you see the world? Vision is about photons of light, which are packets of energy, interacting with the atoms or molecules in what...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

NRW Nano-Konferenz in Münster

07.12.2016 | Veranstaltungen

Wie aus reinen Daten ein verständliches Bild entsteht

05.12.2016 | Veranstaltungen

Von „Coopetition“ bis „Digitale Union“ – Die Fertigungsindustrien im digitalen Wandel

02.12.2016 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Das Universum enthält weniger Materie als gedacht

07.12.2016 | Physik Astronomie

Partnerschaft auf Abstand: tiefgekühlte Helium-Moleküle

07.12.2016 | Physik Astronomie

Bakterien aus dem Blut «ziehen»

07.12.2016 | Biowissenschaften Chemie