Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Durchbruch auf dem Weg zu 25-Nanometer-Chips

09.07.2008
Forscher erzielen kleine Strukturgrößen mit günstiger Methode

Forscher am Massachusetts Institute of Technology (MIT) haben einen Durchbruch auf dem Weg zu kleineren Strukturgrößen bei Mikrochips erzielt. Mit einer Abwandlung eines gängigen Lithographie-Verfahrens zum Erzeugen von Chip-Strukturen konnten sie Linien mit einer Breite von 25 Nanometern (nm) erzeugen, mit ebenso großen Abständen. Das ist eine deutlich geringere Strukturgröße, als sie aktuell verbreitet ist. Die Methode dürfte nach Ansicht des MIT-Teams kostengünstig umsetzbar sein und könnte daher vielseitige Anwendungsmöglichkeiten haben.

Basis für die Arbeit der Forscher war die sogenannte Interferenz-Lithographie, bei der Strukturen mithilfe von Laserlicht erzeugt werden. In einer Abwandlung dieser gängigen Methode haben die MIT-Wissenschaftler Schallwellen genutzt, um das Laserlicht so zu beeinflussen, dass damit die ungewöhnlich kleinen Strukturen hergestellt werden können. Das Verfahren könne schnell großflächig Strukturen erzeugen und biete bisher nie da gewesene Kontrolle über die Geometrie der Features, so die Wissenschaftler. "Was wir sehen ist, dass die Kontrolle über den lithografischen Prozess nicht mehr der limitierende Faktor ist", so Teammitglied Mark Schattenburg. Vielmehr seien es nun Materialfragen, welche die größte Barriere auf dem Weg zu noch kleineren Strukturen bilden. Neue Technologien, die Abhilfe schaffen könnten, wären abzusehen, so Schattenburg. "Die Resultate zeigen, dass es noch viel Platz für Skalenreduzierung bei optischer Lithografie gibt", meint der Wissenschaftler.

Schon die 25-nm-Strukturgröße ist ein großer Schritt. Verbreitet sind aktuell 65-nm-Strukturen, Intel ist erst gegen Ende des Vorjahres zur 45-nm-Technologie übergegangen. 2009 werden Chips laut Intel auf 32-nm-Strukturen geschrumpft, wie Deutschland-Chef Hannes Schwaderer anlässlich der CeBIT betonte (pressetext berichtete: http://pte.at/pte.mc?pte=080315002). Der Fahrplan der Industrie sehe 25 nm für den Zeitraum von 2013 bis 2015 vor, so das MIT. Die neue Lithografie-Technik könnte auch ökonomisch attraktiv sein, ist man überzeugt. Dafür sei das Auskommen ohne bestimmte Chemikalien, teure Werkzeuge oder die Nutzung von Immersionslithographie-Techniken mit zusätzlichem flüssigen Medium im Prozess verantwortlich.

... mehr zu:
»Laserlicht

Die Technik des Teams könnte laut MIT beispielsweise für Next-Generation-Speicher, integrierte Schaltkreise oder verbesserte Solarzellen genutzt werden. Auch wäre es denkbar, dass das Verfahren die Kommerzialisierung vieler nanotechnologischer Erfindungen ermöglicht, die derzeit mangels geeigneter Produktionstechnik in Laboren dahinvegetieren.

Thomas Pichler | pressetext.austria
Weitere Informationen:
http://www.mit.edu

Weitere Berichte zu: Laserlicht

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Physik Astronomie:

nachricht Internationales Forscherteam entdeckt kohärenten Lichtverstärkungsprozess in Laser-angeregtem Glas
25.09.2017 | Universität Kassel

nachricht Kleinste Teilchen aus fernen Galaxien!
22.09.2017 | Bergische Universität Wuppertal

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Physik Astronomie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: LaserTAB: Effizientere und präzisere Kontakte dank Roboter-Kollaboration

Auf der diesjährigen productronica in München stellt das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT das Laser-Based Tape-Automated Bonding, kurz LaserTAB, vor: Die Aachener Experten zeigen, wie sich dank neuer Optik und Roboter-Unterstützung Batteriezellen und Leistungselektronik effizienter und präziser als bisher lasermikroschweißen lassen.

Auf eine geschickte Kombination von Roboter-Einsatz, Laserscanner mit selbstentwickelter neuer Optik und Prozessüberwachung setzt das Fraunhofer ILT aus Aachen.

Im Focus: LaserTAB: More efficient and precise contacts thanks to human-robot collaboration

At the productronica trade fair in Munich this November, the Fraunhofer Institute for Laser Technology ILT will be presenting Laser-Based Tape-Automated Bonding, LaserTAB for short. The experts from Aachen will be demonstrating how new battery cells and power electronics can be micro-welded more efficiently and precisely than ever before thanks to new optics and robot support.

Fraunhofer ILT from Aachen relies on a clever combination of robotics and a laser scanner with new optics as well as process monitoring, which it has developed...

Im Focus: The pyrenoid is a carbon-fixing liquid droplet

Plants and algae use the enzyme Rubisco to fix carbon dioxide, removing it from the atmosphere and converting it into biomass. Algae have figured out a way to increase the efficiency of carbon fixation. They gather most of their Rubisco into a ball-shaped microcompartment called the pyrenoid, which they flood with a high local concentration of carbon dioxide. A team of scientists at Princeton University, the Carnegie Institution for Science, Stanford University and the Max Plank Institute of Biochemistry have unravelled the mysteries of how the pyrenoid is assembled. These insights can help to engineer crops that remove more carbon dioxide from the atmosphere while producing more food.

A warming planet

Im Focus: Hochpräzise Verschaltung in der Hirnrinde

Es ist noch immer weitgehend unbekannt, wie die komplexen neuronalen Netzwerke im Gehirn aufgebaut sind. Insbesondere in der Hirnrinde der Säugetiere, wo Sehen, Denken und Orientierung berechnet werden, sind die Regeln, nach denen die Nervenzellen miteinander verschaltet sind, nur unzureichend erforscht. Wissenschaftler um Moritz Helmstaedter vom Max-Planck-Institut für Hirnforschung in Frankfurt am Main und Helene Schmidt vom Bernstein-Zentrum der Humboldt-Universität in Berlin haben nun in dem Teil der Großhirnrinde, der für die räumliche Orientierung zuständig ist, ein überraschend präzises Verschaltungsmuster der Nervenzellen entdeckt.

Wie die Forscher in Nature berichten (Schmidt et al., 2017. Axonal synapse sorting in medial entorhinal cortex, DOI: 10.1038/nature24005), haben die...

Im Focus: Highly precise wiring in the Cerebral Cortex

Our brains house extremely complex neuronal circuits, whose detailed structures are still largely unknown. This is especially true for the so-called cerebral cortex of mammals, where among other things vision, thoughts or spatial orientation are being computed. Here the rules by which nerve cells are connected to each other are only partly understood. A team of scientists around Moritz Helmstaedter at the Frankfiurt Max Planck Institute for Brain Research and Helene Schmidt (Humboldt University in Berlin) have now discovered a surprisingly precise nerve cell connectivity pattern in the part of the cerebral cortex that is responsible for orienting the individual animal or human in space.

The researchers report online in Nature (Schmidt et al., 2017. Axonal synapse sorting in medial entorhinal cortex, DOI: 10.1038/nature24005) that synapses in...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Legionellen? Nein danke!

25.09.2017 | Veranstaltungen

Posterblitz und neue Planeten

25.09.2017 | Veranstaltungen

Hochschule Karlsruhe richtet internationale Konferenz mit Schwerpunkt Informatik aus

25.09.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Legionellen? Nein danke!

25.09.2017 | Veranstaltungsnachrichten

Hochvolt-Lösungen für die nächste Fahrzeuggeneration!

25.09.2017 | Seminare Workshops

Seminar zum 3D-Drucken am Direct Manufacturing Center am

25.09.2017 | Seminare Workshops