Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Fizeau-Interferometer für Oberflächen unterschiedlicher Reflektivität

18.12.2007
Fizeau-Interferometer werden wegen ihres stabilen Aufbaus zur Bestimmung der Topographie von Oberflächen wie beispielsweise Planflächen eingesetzt. Ein in der PTB entwickeltes Verfahren gestattet es nun, auch Oberflächen mit unterschiedlichem Reflexionsgrad in einfacher Weise zu analysieren. Außerdem kann das Verfahren auf dynamische Messungen erweitert werden.

Fizeau-Interferometer erzeugen eine Interferenz zwischen einer Probenoberfläche und einer nahe an die Probe herangebrachten Referenzfläche. Das Interferenzbild wird durch eine abbildende Optik aufgenommen und ausgewertet. Der Kontrast und die Form der Interferenzsignale hängen allerdings vom Reflexionsgrad der Prüflinge ab. Hierdurch erhöht sich der Aufwand für die Messung und Auswertung der Topographien von unterschiedlich reflektierenden Prüflingen erheblich.

Das zum Patent angemeldete Verfahren zur Trennung der Wellenfronten von Referenz- und Prüflingsoberfläche in der Ebene der Referenzfläche nutzt eine neue Generation kommerziell verfügbarer Strahlteiler - auch als "On-axis"-Strahlteiler bezeichnet -, die entlang der optischen Achse zu einer Separation der Polarisationsrichtungen des eingestrahlten Lichtes führt. Dies hat gegenüber herkömmlichen Fizeau-Interferometern eine Reihe von Vorzügen.

Zum einen kann durch die Erzeugung polarisierten Lichtes die Messung auf eine reine Zweistrahlinterferenz zurückgeführt werden. Die Auswertung des Signals wird dadurch deutlich vereinfacht und verbessert. Klassische Fizeau-Interferometer beruhen hingegen auf der Auswertung der Vielstrahlinterferenz.

Zum anderen kann durch Variation der Polarisationsrichtung ein Maximalkontrast unabhängig vom Reflexionsgrad der Probe eingestellt werden. In herkömmlichen Fizeau-Interferometern müssen hingegen bei stark wechselndem Reflexionsgrad der Proben verschiedene Referenzflächen mit angepasstem Reflexionsvermögen vorgehalten werden. Um die Auswertegenauigkeit herkömmlicher Fizeau-Interferometer zu erhöhen, wird durch die mechanische Veränderung des Abstandes zwischen Probe und Referenzfläche eine variable Phase erzeugt (Phasenschiebe-Interferometrie). Ein weiterer Vorteil des neuen Verfahrens ist es, dass eine solche Phasenschiebung durch den Einsatz elektrooptischer Komponenten und damit ohne bewegliche Teile möglich wird. Die dadurch erhöhte Messdynamik ermöglicht beispielsweise auch die Durchführung von Topographie-Messungen in schwingungsbelasteten Umgebungen.

Das neue Verfahren ermöglicht eine vereinfachte und verbesserte Messdatenauswertung, benötigt statt mehrerer nur eine kalibrierte Referenzfläche und eröffnet neue Anwendungen im Bereich der dynamischen Interferometrie. Es ist besonders geeignet für Messungen an strukturierten oder unstrukturierten Oberflächen mit unterschiedlichem Reflexionsgrad, insbesondere in der Optik- und Halbleiterindustrie.

Weitergehende Informationen von
H. Bosse,
Tel.: (0531) 592-5200,
E-Mail: harald.bosse@ptb.de

Erika Schow | idw
Weitere Informationen:
http://www.ptb.de/de/publikationen/news/html/news073/artikel/07303.htm

Weitere Berichte zu: Fizeau-Interferometer Reflexionsgrad

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Physik Astronomie:

nachricht Highlight der Halbleiter-Forschung
20.02.2018 | Technische Universität Chemnitz

nachricht Beobachtung und Kontrolle ultraschneller Prozesse mit Attosekunden-Auflösung
20.02.2018 | Technische Universität München

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Physik Astronomie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Die Brücke, die sich dehnen kann

Brücken verformen sich, daher baut man normalerweise Dehnfugen ein. An der TU Wien wurde eine Technik entwickelt, die ohne Fugen auskommt und dadurch viel Geld und Aufwand spart.

Wer im Auto mit flottem Tempo über eine Brücke fährt, spürt es sofort: Meist rumpelt man am Anfang und am Ende der Brücke über eine Dehnfuge, die dort...

Im Focus: Eine Frage der Dynamik

Die meisten Ionenkanäle lassen nur eine ganz bestimmte Sorte von Ionen passieren, zum Beispiel Natrium- oder Kaliumionen. Daneben gibt es jedoch eine Reihe von Kanälen, die für beide Ionensorten durchlässig sind. Wie den Eiweißmolekülen das gelingt, hat jetzt ein Team um die Wissenschaftlerin Han Sun (FMP) und die Arbeitsgruppe von Adam Lange (FMP) herausgefunden. Solche nicht-selektiven Kanäle besäßen anders als die selektiven eine dynamische Struktur ihres Selektivitätsfilters, berichten die FMP-Forscher im Fachblatt Nature Communications. Dieser Filter könne zwei unterschiedliche Formen ausbilden, die jeweils nur eine der beiden Ionensorten passieren lassen.

Ionenkanäle sind für den Organismus von herausragender Bedeutung. Wenn zum Beispiel Sinnesreize wahrgenommen, ans Gehirn weitergeleitet und dort verarbeitet...

Im Focus: In best circles: First integrated circuit from self-assembled polymer

For the first time, a team of researchers at the Max-Planck Institute (MPI) for Polymer Research in Mainz, Germany, has succeeded in making an integrated circuit (IC) from just a monolayer of a semiconducting polymer via a bottom-up, self-assembly approach.

In the self-assembly process, the semiconducting polymer arranges itself into an ordered monolayer in a transistor. The transistors are binary switches used...

Im Focus: Erste integrierte Schaltkreise (IC) aus Plastik

Erstmals ist es einem Forscherteam am Max-Planck-Institut (MPI) für Polymerforschung in Mainz gelungen, einen integrierten Schaltkreis (IC) aus einer monomolekularen Schicht eines Halbleiterpolymers herzustellen. Dies erfolgte in einem sogenannten Bottom-Up-Ansatz durch einen selbstanordnenden Aufbau.

In diesem selbstanordnenden Aufbauprozess ordnen sich die Halbleiterpolymere als geordnete monomolekulare Schicht in einem Transistor an. Transistoren sind...

Im Focus: Quantenbits per Licht übertragen

Physiker aus Princeton, Konstanz und Maryland koppeln Quantenbits und Licht

Der Quantencomputer rückt näher: Neue Forschungsergebnisse zeigen das Potenzial von Licht als Medium, um Informationen zwischen sogenannten Quantenbits...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

VideoLinks
Industrie & Wirtschaft
Veranstaltungen

Digitalisierung auf dem Prüfstand: Hochkarätige Konferenz zu Empowerment in der agilen Arbeitswelt

20.02.2018 | Veranstaltungen

Aachener Optiktage: Expertenwissen in zwei Konferenzen für die Glas- und Kunststoffoptikfertigung

19.02.2018 | Veranstaltungen

Konferenz "Die Mobilität von morgen gestalten"

19.02.2018 | Veranstaltungen

VideoLinks
Wissenschaft & Forschung
Weitere VideoLinks im Überblick >>>
 
Aktuelle Beiträge

Highlight der Halbleiter-Forschung

20.02.2018 | Physik Astronomie

Wie verbessert man die Nahtqualität lasergeschweißter Textilien?

20.02.2018 | Materialwissenschaften

Der Bluthochdruckschalter in der Nebenniere

20.02.2018 | Biowissenschaften Chemie

Weitere B2B-VideoLinks
IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics