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An der Grenze des Messbaren

01.07.2009
läppen und polieren - noch dazu auf einer Anlage - ist für den Pitch-Polisher von Okamoto kein Problem.

30 nm Oberflächengenauigkeit auf einer Fläche von 1,5 Quadratmeter ist mit dem Pitch Polisher des Schleifmaschinenherstellers prozesssicher möglich. Das innovative Maschinenkonzept erschließt Herstellern in der optischen oder Halbleiterindustrie beziehungsweise im Maschinen- und Anlagenbau wirtschaftlich diese extremen Oberflächengüten.

Ein stetig steigender Bedarf an großen Hochpräzisionsteilen mit Oberflächen-Ungenauigkeiten von lediglich wenigen Atomlagen, etwa für Messgläser, LCD-Bildschirme, Teleskopspiegel, Halbleiter aber auch Komponenten im Maschinenbau, führte zur Entwicklung des Pitch-Polishers zum Läppen und Polieren bis hin zum Spiegelglanz.Das auf absolute Hochgenauigkeit fokussierte Maschinenkonzept arbeitet mit der so genannten "Zero Ideal Technologie" des Herstellers.

Das sind verschiedene innovative, auf die Applikation hin optimierte Maschinenkomponenten, die im Zusammenspiel die spezielle Leistungsfähigkeit der Anlage ausmachen und so die geforderten Ergebnisse ermöglichen. Beim Pitch Polisher sorgt das Non-Contact-Hydrostatik-System für eine nahezu 100-prozentige Stabilisierung des Maschinentisches aus Granit. Dieses schwere Naturmaterial ist weitestgehend unempfindlich gegenüber thermischen und mechanischen Einflüssen. Das macht die Hochpräzisions-Anlage hitze-, stoß- und vibrationsresistent.

Zuerst wird durch Läppen die geforderte Ebenheit hergestellt. Dazu kommen Korngrößen größer 1 µm zum Einsatz. Um den letztendlichen Spiegelglanz zu erreichen, wird anschließend mittels einer Spezialemulsion und Korngrößen kleiner 1 µm die Oberfläche auf Endebenheit poliert. Dabei steht der Prozess unter ständiger Überwachung: Die integrierte Korrektureinheit reagiert unmittelbar auf Veränderungen bzw. Störungen und greift vollautomatisch ein. Die Dimensionen des Pitch Polishers reichen von 1.200 Millimter bis hin zur größten Anlage "SPP 8400" mit 8,40 Meter Durchmesser und den dazugehörigen Werkstückauflagen bzw. Käfigen für die zu läppenden und polierenden Werkstücke. Meist werden die Modelle jedoch individuell auf die jeweilige Applikation hin maßgeschneidert. lg

| SCOPE
Weitere Informationen:
http://www.scope-online.de/xist4c/web/An-der-Grenze-des-Messbaren_id_161__dId_446540_.htm

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