Prozessintegrierte Mehrgrößenüberwachung der Bondqualität in Echtzeit
Erstmalig werden, wie es heißt, in Echtzeit alle physikalisch relevanten Signale einer Auswertung unterzogen, die als Resultat einen eindeutigen Qualitätsindex angibt.
Dazu wurde in den Transducer ein zusätzlicher Sensor integriert. Damit sei sichergestellt, dass die Vorgänge an der Wedgespitze, im Wesentlichen deren Bewegung, eindeutig und in Echtzeit erfassbar sind.
Die Echtzeiterfassung der Sensorsignale erfolgt durch eine neu entwickelte FPGA-basierte Elektronik mit entsprechender, zusätzlicher Schnittstelle zu dem DDS-Ultraschallgenerator.
Die Überwachung umfasst unter anderem die für die Bewertung notwendigen Schwingungen der Spitze, den Strom, die Resonanzfrequenz, die Reibung und ergänzend auch die Drahtverformung.
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