Optische Inspektions-Sensoren
Der Sensor besteht aus einem Sensorkopf mit Messnadel und einer entfernt platzierbaren Kontrolleinheit. Die Messnadel rotiert luftgelagert mit einer Frequenz von bis zu 5 Hz, kann aber auch auf Positionsbetrieb umgeschaltet werden.
Mit Hilfe des optischen Dekodierverfahrens in der Kontrolleinheit werden sich verändernde Abstände zur Oberfläche bis zu 16 000 Mal in der Sekunde abgetastet, so der Hersteller. Über den Messbereich von mehreren Millimetern hinweg sind Wiederholgenauigkeiten von 100 nm erreichbar, heißt es weiter.
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