Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Chipfilm™-Prozess wird produktionsreif

09.12.2010
Neuer ultradünner Chipherstellungsprozess präsentiert auf der IEDM 2010 in San Francisco

Während der IEDM 2010 (IEEE International Electron Devices Meeting), die vom 5. bis 8. Dezember in San Francisco stattfand, präsentierten Wissenschaftler von bekannten Unternehmen, wie IBM, Intel, Samsung und TSMC, die neuesten Entwicklungen und führende Akademikerkreise stellten ihre neuesten Errungenschaften vor.

Darunter befanden sich auch Forscher vom Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), das eine zentrale Rolle im Bereich des Wissenstransfers aus der Forschung hin zur industriellen Verwertung spielt. Das IMS CHIPS-Team um Prof. Joachim Burghartz präsentierte eine optimierte Version ihrer Chipfilm™-Technologie, die erstmals auf der IEDM 2006 vorgestellt wurde und jetzt in eine industriell verwertbare Verfahrenstechnologie entwickelt hat.

Für die Arbeiten an Herstellungsverfahren für ultradünne Mikrochips erhielt Joachim Burghartz den badenwürttembergischen Landesforschungspreis für angewandte Forschung. In den letzten drei Jahren wurde die Verfahrensentwicklung mit einem vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) geförderten Forschungsprogramm am IMS in Kooperation mit den Chipfabriken der Robert Bosch GmbH, Micronas, und Telefunken Semiconductor sowie weiteren Partnern vorangetrieben. Anders als konventionelle Waferrückdünnungs-Verfahren basiert die Chipfilm™- Technologie auf der gezielten Bildung kleiner Hohlräume im Wafer unter den Chipoberflächen, über denen die anvisierte Chipdicke durch epitaktisch gewachsenes Silizium festgelegt wird.

Dementsprechend kann die Uniformität dieser ultradünnen Chips (
Die Entwicklung eines breiten Prozessfensters war in den letzten Jahren ein besonderer Schwerpunkt bei der Weiterentwicklung der Chipfilm™-Technologie. Den Wissenschaftlern ist es endlich gelungen, die Anordnung der Anker und die individuelle Ankerstruktur für ein Prozessfenster zu entwickeln, das den Anforderungen eines industriellen Herstellungsverfahrens entspricht. In ihrer Präsentation auf der IEDM 2010 zeigen sie auch, dass die Chipfilm™-Stempel über erstaunlich hochwertige mechanische Stabilität verfügen. Ein 20 μm-Chip lässt sich auf einen Durchmesser von lediglich 0,8 mm biegen, was die Chipfilm™-Technologie besonders für die biegsame Elektronik geeignet macht.

Aber aufgrund der erweiterten Anwendbarkeit auf eine sehr geringe Dicke bei gleichzeitiger Kontrolle der Dicke ist die Chipfilm™-Technologie auch für die Chipstappelung in dreidimensionalen (3D) integrierten Systemen geeignet. Aus diesem Grund wird der Vortrag von IMS CHIPS auf der IEDM 2010 auch im Rahmen der Technical Session “Advanced 3D Integration” präsentiert.

IMS CHIPS

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) ist eine gemeinnützige Stiftung des Landes Baden-Württemberg und betreibt wirtschaftsnahe Forschung auf den Gebieten Silizium- Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Das Institut ist Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg und sieht sich als Partner kleiner und mittlerer Unternehmen insbesondere in Baden-Württemberg und arbeitet mit international führenden Halbleiterunternehmen und Zulieferern zusammen. Unter der Leitung von Prof. Joachim Burghartz verfügt das Institut über 100 hochqualifizierte Mitarbeiter, die ihre Expertise in die wichtige Mikroelektronik und deren Umsetzung für die Industrie einbringen.

Pressekontakt:
Thomas Deuble
Tel.: +49-711-21855-244,
E-Mail: deuble@ims-chips.de

Thomas Deuble | IMS CHIPS
Weitere Informationen:
http://www.ims-chips.de

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Informationstechnologie:

nachricht Layouterfassung im Flug: Drohne unterstützt bei der Fabrikplanung
19.05.2017 | IPH - Institut für Integrierte Produktion Hannover gGmbH

nachricht Intelligente Industrialisierung von Rechenzentren
15.05.2017 | Rittal GmbH & Co. KG

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Informationstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Can the immune system be boosted against Staphylococcus aureus by delivery of messenger RNA?

Staphylococcus aureus is a feared pathogen (MRSA, multi-resistant S. aureus) due to frequent resistances against many antibiotics, especially in hospital infections. Researchers at the Paul-Ehrlich-Institut have identified immunological processes that prevent a successful immune response directed against the pathogenic agent. The delivery of bacterial proteins with RNA adjuvant or messenger RNA (mRNA) into immune cells allows the re-direction of the immune response towards an active defense against S. aureus. This could be of significant importance for the development of an effective vaccine. PLOS Pathogens has published these research results online on 25 May 2017.

Staphylococcus aureus (S. aureus) is a bacterium that colonizes by far more than half of the skin and the mucosa of adults, usually without causing infections....

Im Focus: Orientierungslauf im Mikrokosmos

Physiker der Universität Würzburg können auf Knopfdruck einzelne Lichtteilchen erzeugen, die einander ähneln wie ein Ei dem anderen. Zwei neue Studien zeigen nun, welches Potenzial diese Methode hat.

Der Quantencomputer beflügelt seit Jahrzehnten die Phantasie der Wissenschaftler: Er beruht auf grundlegend anderen Phänomenen als ein herkömmlicher Rechner....

Im Focus: A quantum walk of photons

Physicists from the University of Würzburg are capable of generating identical looking single light particles at the push of a button. Two new studies now demonstrate the potential this method holds.

The quantum computer has fuelled the imagination of scientists for decades: It is based on fundamentally different phenomena than a conventional computer....

Im Focus: Tumult im trägen Elektronen-Dasein

Ein internationales Team von Physikern hat erstmals das Streuverhalten von Elektronen in einem nichtleitenden Material direkt beobachtet. Ihre Erkenntnisse könnten der Strahlungsmedizin zu Gute kommen.

Elektronen in nichtleitenden Materialien könnte man Trägheit nachsagen. In der Regel bleiben sie an ihren Plätzen, tief im Inneren eines solchen Atomverbunds....

Im Focus: Turmoil in sluggish electrons’ existence

An international team of physicists has monitored the scattering behaviour of electrons in a non-conducting material in real-time. Their insights could be beneficial for radiotherapy.

We can refer to electrons in non-conducting materials as ‘sluggish’. Typically, they remain fixed in a location, deep inside an atomic composite. It is hence...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Meeresschutz im Fokus: Das IASS auf der UN-Ozean-Konferenz in New York vom 5.-9. Juni

24.05.2017 | Veranstaltungen

Diabetes Kongress in Hamburg beginnt heute: Rund 6000 Teilnehmer werden erwartet

24.05.2017 | Veranstaltungen

Wissensbuffet: „All you can eat – and learn”

24.05.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Hochspannung für den Teilchenbeschleuniger der Zukunft

24.05.2017 | Physik Astronomie

3D-Graphen: Experiment an BESSY II zeigt, dass optische Eigenschaften einstellbar sind

24.05.2017 | Physik Astronomie

Optisches Messverfahren für Zellanalysen in Echtzeit - Ulmer Physiker auf der Messe "Sensor+Test"

24.05.2017 | Messenachrichten