Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Halbleitertechnik für die Umweltüberwachung

03.11.2004


Das italienische SENSOR-Labor hat durch die Bearbeitung von Metalloxiden auf atomarer Ebene eine neue Generation von Miniaturgassensoren entwickelt.



Die elektrischen Eigenschaften von Halbleitern liegen zwischen denen eines Leiters und denen eines Isolators. Halbleiter werden in erster Linie für die Herstellung von Computerchips wie z.B. CPUs oder Speicherchips verwendet. Es gibt aber auch andere Einsatzgebiete. Das SENSOR-Labor der Universität Brescia verwendet dünne Halbleiterfilme zur Entwicklung von außergewöhnlichen Gassensoren.



Dieses gut ausgerüstete Labor ist seit nunmehr fast zwei Jahrzehnten auf diesem Gebiet tätig. Die Forscher verfügen über sehr gute Fachkenntnisse zu den Prozessen der physikalischen Abscheidung aus der Dampfphase (PVD = Physical Vapor Desposition). Hier wurde das PVD-Verfahren der Magnetronzerstäubung angewendet. Diese Zerstäubung umfasst das Entfernen von Material aus einer stabilen Kathode durch ihren Beschuss mit positiven Ionen, die während einer Inertgasentladung ausgestoßen wurden. Dieses Material lagert sich dann auf dem Zielelement ab.

Die RF-Magnetronzerstäubung wurde angewandt, um dünne Aluminium-Vanadium-Oxid-Schichten auf maschinell hergestellte Siliziumsubstrate aufzutragen. Dieses Verfahren wurde ebenfalls für die Ablagerung anderer Metalloxide, und zwar Titan-Indium-Oxide und Titan-Wolfram-Oxide, genutzt. Die schichtweise Ablagerung ermöglichte die Herstellung von Heteroübergängen. Hierbei handelt es sich um Übergänge zwischen Halbleitern mit unterschiedlichem Leitvermögen. Der Vorteil von Heteroübergängen liegt darin, dass Störungen durch verunreinigte Materialien zum Großteil vermindert werden.

Mit diesen neuen Materialien hergestellte Sensoren können für Anwendungen der Umweltüberwachung genutzt werden. Mikroskopische Sensoren wurden speziell für die Messung der Konzentration von schadstoffhaltigen Gasen in der Umgebung entworfen. Das SENSOR-Labor beabsichtigt die weitere Entwicklung und Nutzung dieser Technologie. Diese Sensoren könnten schon bald die derzeit auf dem Markt erhältlichen Zinnsensoren ersetzen. Jedoch müssen bis dahin noch Fragen zur Langzeitstabilität gelöst werden.

Kontaktangaben

Prof. Guido Faglia
Italian Institute for the Pysiks of Matter Unit of Brescia
Via Valotti 9, 25133 Brescia, Italien
Tel: +39-030-3715708
Fax: +39-030-2091271
Email: gfaglia@tflab.ing.unibs.it

Prof. Guido Faglia | ctm
Weitere Informationen:
http://sensor.ing.unibs.it

Weitere Berichte zu: Ablagerung Halbleiter SENSOR-Labor Sensor Umweltüberwachung

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Informationstechnologie:

nachricht Ergonomie am Arbeitsplatz: Kamera erkennt ungesunde Bewegungen
24.04.2017 | IPH - Institut für Integrierte Produktion Hannover gGmbH

nachricht TU Ilmenau entwickelt Chiptechnologie von morgen
20.04.2017 | Technische Universität Ilmenau

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Informationstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Nanoskopie auf dem Chip: Mikroskopie in HD-Qualität

Neue Erfindung der Universitäten Bielefeld und Tromsø (Norwegen)

Physiker der Universität Bielefeld und der norwegischen Universität Tromsø haben einen Chip entwickelt, der super-auflösende Lichtmikroskopie, auch...

Im Focus: Löschbare Tinte für den 3-D-Druck

Im 3-D-Druckverfahren durch Direktes Laserschreiben können Mikrometer-große Strukturen mit genau definierten Eigenschaften geschrieben werden. Forscher des Karlsruher Institus für Technologie (KIT) haben ein Verfahren entwickelt, durch das sich die 3-D-Tinte für die Drucker wieder ‚wegwischen‘ lässt. Die bis zu hundert Nanometer kleinen Strukturen lassen sich dadurch wiederholt auflösen und neu schreiben - ein Nanometer entspricht einem millionstel Millimeter. Die Entwicklung eröffnet der 3-D-Fertigungstechnik vielfältige neue Anwendungen, zum Beispiel in der Biologie oder Materialentwicklung.

Beim Direkten Laserschreiben erzeugt ein computergesteuerter, fokussierter Laserstrahl in einem Fotolack wie ein Stift die Struktur. „Eine Tinte zu entwickeln,...

Im Focus: Leichtbau serientauglich machen

Immer mehr Autobauer setzen auf Karosserieteile aus kohlenstofffaserverstärktem Kunststoff (CFK). Dennoch müssen Fertigungs- und Reparaturkosten weiter gesenkt werden, um CFK kostengünstig nutzbar zu machen. Das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) hat daher zusammen mit der Volkswagen AG und fünf weiteren Partnern im Projekt HolQueSt 3D Laserprozesse zum automatisierten Besäumen, Bohren und Reparieren von dreidimensionalen Bauteilen entwickelt.

Automatisiert ablaufende Bearbeitungsprozesse sind die Grundlage, um CFK-Bauteile endgültig in die Serienproduktion zu bringen. Ausgerichtet an einem...

Im Focus: Making lightweight construction suitable for series production

More and more automobile companies are focusing on body parts made of carbon fiber reinforced plastics (CFRP). However, manufacturing and repair costs must be further reduced in order to make CFRP more economical in use. Together with the Volkswagen AG and five other partners in the project HolQueSt 3D, the Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) has developed laser processes for the automatic trimming, drilling and repair of three-dimensional components.

Automated manufacturing processes are the basis for ultimately establishing the series production of CFRP components. In the project HolQueSt 3D, the LZH has...

Im Focus: Wonder material? Novel nanotube structure strengthens thin films for flexible electronics

Reflecting the structure of composites found in nature and the ancient world, researchers at the University of Illinois at Urbana-Champaign have synthesized thin carbon nanotube (CNT) textiles that exhibit both high electrical conductivity and a level of toughness that is about fifty times higher than copper films, currently used in electronics.

"The structural robustness of thin metal films has significant importance for the reliable operation of smart skin and flexible electronics including...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

„Microbiology and Infection“ - deutschlandweit größte Fachkonferenz in Würzburg

25.04.2017 | Veranstaltungen

Berührungslose Schichtdickenmessung in der Qualitätskontrolle

25.04.2017 | Veranstaltungen

Forschungsexpedition „Meere und Ozeane“ mit dem Ausstellungsschiff MS Wissenschaft

24.04.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

„Microbiology and Infection“ - deutschlandweit größte Fachkonferenz in Würzburg

25.04.2017 | Veranstaltungsnachrichten

Auf dem Weg zur lückenlosen Qualitätsüberwachung in der gesamten Lieferkette

25.04.2017 | Verkehr Logistik

Digitalisierung bringt Produktion zurück an den Standort Deutschland

25.04.2017 | Wirtschaft Finanzen