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Alternative Methode des Bondens für die Mikrochip-Technologie

17.08.2004


Ein effizienteres System zur Überwachung von Prostatakrebs-Patienten wurde entwickelt, welches den Wert des prostataspezifischen Antigens (PSA) im Blut messen kann. Der Schlüssel zur Effizienzsteigerung dieses neuen Sensors liegt in der Sensibilität des verwendeten Chips in Bezug auf dessen Fähigkeit zur Lesung sehr geringer PSA-Werte.



Bei der Herstellung von Mikrochips stellt das Bonden einen wichtigen Bestandteil der Technologie in Bezug auf Effektivität und Effizienz des Endprodukts dar. Das trifft besonders dann zu, wenn präzises Lesen erforderlich ist. Dies ist bei der Feststellung von sehr niedrigen PSA-Werten im Blut der Fall.



Verschiedene Arten von Bonding-Techniken wurden verwendet, wiesen aber Mängel in Bezug auf ihre Effizienz auf. Anodisches Bonden, welches man für die Verbindung von Silikon mit Glaswafern verwendet, ist teuer und benötigt zu viel Energie, sowohl Strom als auch Wärme. Eine andere Technik, das Direktbonden, das beim Verbinden von Quarz mit Hartglas Anwendung findet, erfordert ebenfalls extrem hohe Temperaturen und ist viel zu zeitaufwendig.

Deshalb wurde nach einer alternativen Methode für das Verbinden von Glas mit Silikon-Wafern gesucht. Im Gegensatz zum anodischen Bonden und Direktbonden ist dafür nur eine kleine Materialmenge nötig und Zimmertemperatur ausreichend. Das verringert den Energieverbrauch und damit auch die Herstellungskosten. Da die Klebeschicht sehr dünn ist, kann sie einfach abgelagert werden. Sie ist auch feuchtigkeitsbeständig und eignet sich gut für glatte und ebene Oberflächen. Außerdem kann sie für Silikon-Wafer und andere glatte Metalloxid-Oberflächen verwendet werden. Diese neue Technologie des Bondens ist ein großer Fortschritt für die Messung von PSA-Werten im Blut, weil damit selbst geringe Werte aufgespürt werden können und dadurch der Anstoß zu Behandlungen gegeben werden kann.

Kontakt:

Prof. Jean-Jacques Pireaux
Facultés Universitaires Notre-Dame de la Paix (F.U.N.D.P.)
Rue de Bruxelles 61
5000 Namur, Belgien
Tel: +32-81-724606
Fax: +32-81-724595
Email: jean-jacques.pireaux@fundp.ac.be

Prof. Jean-Jacques Pireaux | ctm
Weitere Informationen:
http://www.fundp.ac.be

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