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BMBF startet Großprojekt in der Nanoelektronik

04.12.2003


Entwicklung von Abbildungsmethodiken wird mit 80 Millionen Euro gefördert


Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) führt Industrie und Forschungsinstitute bei der Entwicklung neuer Abbildungsmethodiken in der Nanoelektronik zusammen. Für das Projekt „Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente“ seien in den kommenden vier Jahren insgesamt rund 80 Millionen Euro vorgesehen, teilte das Ministerium am Donnerstag in Berlin mit.
Der Erfolg der Nanoelektronikindustrie beruht darauf, immer leistungsfähigere und gleichzeitig preiswertere Chips zu entwickeln und so ständig neue und bessere Anwendungen zu ermöglichen. Dazu sind Abbildungsmethodiken der entscheidende Schlüssel. Wer hier führend ist, schafft es rascher und effizienter, einen innovativen Chipentwurf in ein Produkt umzusetzen. Millionen von einzelnen Bauelementen müssen mit lithographischen Abbildungsmethodiken auf den Wafer übertragen werden. Das muss nicht nur nanopräzise, sondern massenweise in einem Hochdurchsatzverfahren geschehen.

Für das BMBF-Projekt haben sich 23 Partner aus Industrie und Forschungsinstituten zusammengeschlossen. Sie bringen dabei ihr führendes Know-how in Teilbereichen wie Ultrapräzisionsbearbeitung, Maskentechnologie, Nanostrukturierung, Mess- und Halbleitertechnologie zusammen. Beteiligt sind neun Großunternehmen (Schott Lithotec Jena, Steag Hamatech Sternenfels, Siemens München, AMD Dresden, Infineon München und Dresden, AMTC Dresden, DuPont Photomasks Dresden, M+W Zander Stuttgart, Leica Jena und Wetzlar), fünf klein- und mittelständische Unternehmen (Sigma C München, NaWoTec Darmstadt, Equicon Jena, IMS Jena, Teraport Stuttgart) sowie neun Forschungsinstitute (FhG-ISiT Itzehoe, FhG-IOF Jena, FhG-IWS Dresden, IMS-Chips Stuttgart, PTB Braunschweig, FhG-IISB Erlangen, FhG-HHI Berlin, ZfM-TUC Chemnitz, BESSY II Berlin).

Weitere Informationen erhalten Sie bei:

Dr. Volker Tüngler
DLR-Projektträger des BMBF
Nanoelektronik und Systeme
Rutherfordstr. 2, 12489 Berlin
Tel.: +49/030/67055-738
Email: Volker.Tuengler@dlr.de

Dr. Jochen Dreßen
VDI Technologiezentrum
Projektträger des BMBF
Physikalische Technologien
Graf-Recke-Str. 84, 40239 Düsseldorf
Tel.: +49/0211/6214-580 Fax: -484
Email: dressen@vdi.de

Dr. Volker Tüngler | BMBF
Weitere Informationen:
http://www.pt-dlr.de
http://www.vdi-tz.de

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