Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Hochenergie-Implantation schafft kostengünstige Chip-Produktion

21.12.2004


BMBF hat erfolgreiches Nanoelektronikprojekt mit 3,5 Millionen Euro gefördert



Eine neuartige Anwendung aus der Nanoelektronikforschung ermöglicht eine kostengünstigere Produktion von elektronischen Chips und Geräten. Mit Hilfe eines hoch energetischen Teilchenstrahls können elektronische Schaltkreise nicht nur an ihrer Oberfläche, sondern auch in tiefen Materialschichten - durch so genannte Ionenimplantation - gezielt modifiziert werden. Das vereinfacht die Herstellung elektronischer Chips erheblich, da bisher mehrere Schichten nacheinander implantiert werden mussten. Die Erfindung gelang einem Forscher-Team der Unternehmen PREMA Semiconductor GmbH Mainz und Semikron Nürnberg in Zusammenarbeit mit Wissenschaftlern der Ruhr-Universität Bochum. Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) hat das Projekt von April 2000 bis September 2003 mit insgesamt 3,5 Millionen Euro gefördert.



Mit Hilfe der Hochenergie-Implantation lassen sich Bauelementstrukturen verwirklichen, die mit konventionellen Verfahren sehr aufwändig oder gar nicht herzustellen sind. Der auf mehr als sechs Millionen Elektronenvolt beschleunigte Ionenstrahl kann mehrere Schichten eines Siliziumschaltkreises durchdringen, ohne diese zu zerstören und in der gewünschten Tiefe die Dotierung ermöglichen. Gleichzeitig halten so hergestellte Chips höheren Spannungen stand (über 130 Volt, was mehr als doppelt so viel wie üblich ist) und erschließen damit neue Anwendungsbereiche. Das hochinnovative Verfahren zur Chipherstellung ist ein vom BMBF unterstützter Beitrag mittelständischer Unternehmen, Arbeitsplätze am Standort Deutschland zu sichern. Chips, die von dieser Technologie profitieren, finden sich in praktisch allen technischen Anwendungen, vom Bügeleisen bis hin zum Automobil.

Silvia von Einsiedel | idw
Weitere Informationen:
http://www.prema.com
http://www.bmbf.de

Weitere Berichte zu: Chip-Produktion Hochenergie-Implantation Schicht

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Energie und Elektrotechnik:

nachricht Geothermie: Den Sommer im Winter ernten
18.01.2017 | Karlsruher Institut für Technologie

nachricht Tierschutz auf hoher See
17.01.2017 | Helmut-Schmidt-Universität, Universität der Bundeswehr Hamburg

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Energie und Elektrotechnik >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Textiler Hochwasserschutz erhöht Sicherheit

Wissenschaftler der TU Chemnitz präsentieren im Februar und März 2017 ein neues temporäres System zum Schutz gegen Hochwasser auf Baumessen in Chemnitz und Dresden

Auch die jüngsten Hochwasserereignisse zeigen, dass vielerorts das natürliche Rückhaltepotential von Uferbereichen schnell erschöpft ist und angrenzende...

Im Focus: Wie Darmbakterien krank machen

HZI-Forscher entschlüsseln Infektionsmechanismen von Yersinien und Immunantworten des Wirts

Yersinien verursachen schwere Darminfektionen. Um ihre Infektionsmechanismen besser zu verstehen, werden Studien mit dem Modellorganismus Yersinia...

Im Focus: How gut bacteria can make us ill

HZI researchers decipher infection mechanisms of Yersinia and immune responses of the host

Yersiniae cause severe intestinal infections. Studies using Yersinia pseudotuberculosis as a model organism aim to elucidate the infection mechanisms of these...

Im Focus: Interfacial Superconductivity: Magnetic and superconducting order revealed simultaneously

Researchers from the University of Hamburg in Germany, in collaboration with colleagues from the University of Aarhus in Denmark, have synthesized a new superconducting material by growing a few layers of an antiferromagnetic transition-metal chalcogenide on a bismuth-based topological insulator, both being non-superconducting materials.

While superconductivity and magnetism are generally believed to be mutually exclusive, surprisingly, in this new material, superconducting correlations...

Im Focus: Erforschung von Elementarteilchen in Materialien

Laseranregung von Semimetallen ermöglicht die Erzeugung neuartiger Quasiteilchen in Festkörpersystemen sowie ultraschnelle Schaltung zwischen verschiedenen Zuständen.

Die Untersuchung der Eigenschaften fundamentaler Teilchen in Festkörpersystemen ist ein vielversprechender Ansatz für die Quantenfeldtheorie. Quasiteilchen...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Künftige Rohstoffexperten aus aller Welt in Freiberg zur Winterschule

18.01.2017 | Veranstaltungen

Bundesweiter Astronomietag am 25. März 2017

17.01.2017 | Veranstaltungen

Über intelligente IT-Systeme und große Datenberge

17.01.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Der erste Blick auf ein einzelnes Protein

18.01.2017 | Biowissenschaften Chemie

Das menschliche Hirn wächst länger und funktionsspezifischer als gedacht

18.01.2017 | Biowissenschaften Chemie

Zur Sicherheit: Rettungsautos unterbrechen Radio

18.01.2017 | Verkehr Logistik