Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Haltung bewahren in der Mikrowelt - Fraunhofer IZM entwickelt elektrostatischen Träger für ultradünne Wafer

08.05.2008
Mikrochips werden klassischerweise auf Silizium-Scheiben - den Wafern - prozessiert. Doch für einige Anwendungen sind die Wafer mittlerweile so dünn, dass Ihre Handhabung für viele Firmen zum Problem wird.

Eine elegante Lösung für die Herstellung extrem dünner mikroelektronischer Komponenten, die Realisierung von verlustarmen Leistungselektronik-Bausteinen oder die Entwicklung von 3D-integrierten Chip-Aufbauten hat nun das Fraunhofer IZM entwickelt.

Mobile elektrostatische Träger für die Prozessierung ultradünner Wafer
Die Technik ist deshalb besonders interessant, weil durch sie auch dünnste Wafer im Dickenbereich von 20 - 50 µm in den vorhandenen Prozessanlagen der Halbleiterindustrie weiterprozessiert werden können. Dazu werden die gedünnten bzw. die zu dünnenden Produkt-Wafer auf einen spezifisch präparierten Träger-Wafer gelegt und anschließend durch Aufladen einer großflächigen Elektrodenstruktur elektrostatisch fixiert.

Es hat sich gezeigt, dass bei Auswahl einer geeigneten dielektrischen Beschichtung auf dem Träger-Substrat eine lang andauernde elektrische Polarisierung erzielt wird. Der dünne Wafer bleibt somit auch nach Abkopplung der Ladespannung sicher auf dem Träger fixiert und kann weitere Prozessschritte durchlaufen. Nach Beendigung der Fertigungssequenz wird die Elektrodenstruktur entladen, und der gedünnte Wafer kann leicht wieder entfernt werden.

Da für diese neue Trägertechnik keine polymeren Klebstoffe benötigt werden, sind nach dem Ablösen des zu bearbeitenden Wafers auch keine Reinigungsprozeduren erforderlich.

Das Trägersubstrat selbst ist ein Silizium-Wafer, der in Dünnfilmtechnik strukturiert und an der Kontaktfläche zum fixierten dünnen Wafer vollständig elektrisch isoliert ist. Die Kontaktstellen zum Aufladen der Elektroden können an der Vorder- oder Rückseite des Trägersubstrats realisiert werden.

Im Gegensatz zu anderen Trägermaterialien, wie z.B. Glas, Saphir oder Keramik, bietet Silizium die entscheidenden Vorteile einer sehr guten Wärmeleitfähigkeit und, im Falle der Handhabung von dünnen Silizium-Wafern, auch einen ideal angepassten Wärmeausdehnungskoeffizient.

Einsatzmöglichkeiten
Die elektrostatische Haltekraft ist auch bei Temperaturen über 400 °C noch aktiv. Somit bietet diese Trägertechnik erstmals die Möglichkeit, Prozessschritte an sehr dünnen Wafern bei hohen Temperaturen auszuführen. Beispiele hierfür sind das Legieren von Rückseitenmetallisierungen oder das Aufbringen und Plasma-Ätzen von dielektrischen Schichten.

Potenzielle Anwendungsgebiete der elektrostatischen Trägertechnik sind neben der Leistungselektronik auch opto-elektronische Produkte, Bumping-Prozesse an dünnen Wafern, die Herstellung noch dünnerer Solarzellensubstrate und viele weitere Technologiefelder, bei denen fragile Substrate prozessiert werden sollen.

Kontakt:
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Institutsteil München
Hansastraße 27 d
80686 München
URL: www.izm.fraunhofer.de
Christof Landesberger
Tel.: 089/54759 295
Fax: 089/54759 100
Mail: christof.landesberger@izm-m.fraunhofer.de

Georg Weigelt | idw
Weitere Informationen:
http://www.izm.fraunhofer.de
http://www2.izm.fhg.de/Bilder/traeger.zip
http://www.izm.fhg.de/news_events/news/index.jsp

Weitere Berichte zu: Trägersubstrat Trägertechnik

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Energie und Elektrotechnik:

nachricht Geothermie: Den Sommer im Winter ernten
18.01.2017 | Karlsruher Institut für Technologie

nachricht Tierschutz auf hoher See
17.01.2017 | Helmut-Schmidt-Universität, Universität der Bundeswehr Hamburg

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Energie und Elektrotechnik >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Textiler Hochwasserschutz erhöht Sicherheit

Wissenschaftler der TU Chemnitz präsentieren im Februar und März 2017 ein neues temporäres System zum Schutz gegen Hochwasser auf Baumessen in Chemnitz und Dresden

Auch die jüngsten Hochwasserereignisse zeigen, dass vielerorts das natürliche Rückhaltepotential von Uferbereichen schnell erschöpft ist und angrenzende...

Im Focus: Wie Darmbakterien krank machen

HZI-Forscher entschlüsseln Infektionsmechanismen von Yersinien und Immunantworten des Wirts

Yersinien verursachen schwere Darminfektionen. Um ihre Infektionsmechanismen besser zu verstehen, werden Studien mit dem Modellorganismus Yersinia...

Im Focus: How gut bacteria can make us ill

HZI researchers decipher infection mechanisms of Yersinia and immune responses of the host

Yersiniae cause severe intestinal infections. Studies using Yersinia pseudotuberculosis as a model organism aim to elucidate the infection mechanisms of these...

Im Focus: Interfacial Superconductivity: Magnetic and superconducting order revealed simultaneously

Researchers from the University of Hamburg in Germany, in collaboration with colleagues from the University of Aarhus in Denmark, have synthesized a new superconducting material by growing a few layers of an antiferromagnetic transition-metal chalcogenide on a bismuth-based topological insulator, both being non-superconducting materials.

While superconductivity and magnetism are generally believed to be mutually exclusive, surprisingly, in this new material, superconducting correlations...

Im Focus: Erforschung von Elementarteilchen in Materialien

Laseranregung von Semimetallen ermöglicht die Erzeugung neuartiger Quasiteilchen in Festkörpersystemen sowie ultraschnelle Schaltung zwischen verschiedenen Zuständen.

Die Untersuchung der Eigenschaften fundamentaler Teilchen in Festkörpersystemen ist ein vielversprechender Ansatz für die Quantenfeldtheorie. Quasiteilchen...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Künftige Rohstoffexperten aus aller Welt in Freiberg zur Winterschule

18.01.2017 | Veranstaltungen

Bundesweiter Astronomietag am 25. März 2017

17.01.2017 | Veranstaltungen

Über intelligente IT-Systeme und große Datenberge

17.01.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

ALMA beginnt Beobachtung der Sonne

18.01.2017 | Physik Astronomie

Textiler Hochwasserschutz erhöht Sicherheit

18.01.2017 | Architektur Bauwesen

Neues Forschungsspecial zu Meeren, Ozeanen und Gewässern

18.01.2017 | Geowissenschaften