Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Neues Labor mit Reinraumklasse 10-100

04.06.2003


Im neuen Labor der Chemnitzer Abteilung "Micro Devices and Equipment" (MDE) des Fraunhofer-Institutes für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin ist es supersteril. Hier herrscht Reinraumklasse 10-100: Pro Kubikfuß Luft (etwa 30 Liter) befinden sich in einigen Bereichen des Reinraums nicht mehr als zehn Staubkörner.

... mehr zu:
»Equipment »IZM »Labor »MDE

Dabei dürfen die Partikel nicht größer sein als ein tausendstel Millimeter - das entspricht etwa dem Größenverhältnis eines Stecknadelkopfes zu einem Fußballfeld. In diesem Teil des neuen Institutsgebäudes am Rande des Campus der TU Chemnitz ist es somit tausendmal reiner als in einem Operationssaal und millionenmal sauberer als in der Chemnitzer Außenluft.

Diese Reinheit ist Voraussetzung für die Forschung im Labor. An den Apparaturen und Messgeräten im Wert von 2,1 Millionen Euro sind heute 15 Mitarbeiter der MDE-Abteilung gemeinsam mit Forschern des Zentrums für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz in blauen Overalls und mit Kopfbedeckung zu Gange. Im so genannten Packaging-Labor werden Siliziumscheiben (Siliziumwafer) im Mikro- bis Nanometerbereich bearbeitet und zusammengefügt. So können im neuen Reinraum Wafer mit mikromechanischen Strukturen mit einer Genauigkeit von unter zwei Mikrometer gefügt werden.


Neben dem hochwertigen Equipment für die Entwicklung und Fertigung neuer Wafer-Verbunde befindet sich im Labor eine Anlage für das chemisch-mechanische Polieren (CMP) von Siliziumwafern. Die CMP- Technologie gehört gegenwärtig zu den Herausforderungen der Mikroelektronik, vor allem was die Bearbeitung hochintegrierter Schaltungen mit neuen Metallisierungs- und Isolationskonzepten betrifft. Darüber hinaus eröffnet diese Technologie völlig neue Wege für die Entwicklung von Bauelementen in der Mikrosystemtechnik. Mit dem vorhanden kommerziellen Equipment kann die Abteilung MDE Industriepartner auf höchstem technologischen Niveau bedienen.

Die Abteilung Micro Devices and Equipment (MDE) wurde 1998 als Teil der Zweigstelle Chemnitz des Fraunhofer Institutes für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin mit zwei Mitarbeitern gegründet. Heute arbeiten hier 15 Wissenschaftler.

Die Abteilung beschäftigt sich unter Leitung von Prof. Dr. Thomas Geßner mit der Entwicklung Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) sowie mit Technologien und Ausrüstungen zu ihrer Herstellung. Die Forschungsaktivitäten konzentrieren sich dabei auf neue Aufbau- und Verbindungstechniken, speziell auf die Kombination von Silizium-Mikromechanik mit miniaturisierter traditioneller Feinwerktechnik, sowie Schichtabscheidungstechnologien (CVD, PVD) für mikroelektronische Anwendungen. Die Optimierung von Equipment und Prozessbedingungen wird unterstützt durch Modellierung und Simulation. Mit diesem spezifischen Know-how und einer erstklassigen Ausrüstung bietet die Abteilung MDE in enger Kooperation mit dem Zentrum für Mikrotechnologien an der TU Chemnitz eine hervorragende Entwicklungsumgebung für Mikroelektronik und Silizium- Mikromechanik. Das Dienstleistungsangebot erstreckt sich vom Technologie- und Wissenstransfer über Auftragsforschung für die Industrie bis hin zur kompletten Produktentwicklung eines Mikrosystems vom Entwurf bis zum Prototyp. Die Mitarbeit in vielen Industrie- und öffentlich geförderten Projekten machte bisher eine Projektsumme von sieben Millionen Euro inklusive Investitionen möglich.

Weitere Informationen:

Prof. Dr. Thomas Geßner
Telefon 0371 - 531-3130, Fax - 3131

Mario Baum
Telefon 0371 - 5397-926

| TU Chemnitz
Weitere Informationen:
http://www.tu-chemnitz.de

Weitere Berichte zu: Equipment IZM Labor MDE

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Bildung Wissenschaft:

nachricht Vom Feld in die Schule: Aktuelle Forschung zu moderner Landwirtschaft für den Unterricht
23.01.2017 | Max-Planck-Institut für Molekulare Pflanzenphysiologie

nachricht Bei Celisca entsteht das Labor der Zukunft
19.12.2016 | Universität Rostock

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Bildung Wissenschaft >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Scientists spin artificial silk from whey protein

X-ray study throws light on key process for production

A Swedish-German team of researchers has cleared up a key process for the artificial production of silk. With the help of the intense X-rays from DESY's...

Im Focus: Forscher spinnen künstliche Seide aus Kuhmolke

Ein schwedisch-deutsches Forscherteam hat bei DESY einen zentralen Prozess für die künstliche Produktion von Seide entschlüsselt. Mit Hilfe von intensivem Röntgenlicht konnten die Wissenschaftler beobachten, wie sich kleine Proteinstückchen – sogenannte Fibrillen – zu einem Faden verhaken. Dabei zeigte sich, dass die längsten Proteinfibrillen überraschenderweise als Ausgangsmaterial schlechter geeignet sind als Proteinfibrillen minderer Qualität. Das Team um Dr. Christofer Lendel und Dr. Fredrik Lundell von der Königlich-Technischen Hochschule (KTH) Stockholm stellt seine Ergebnisse in den „Proceedings“ der US-Akademie der Wissenschaften vor.

Seide ist ein begehrtes Material mit vielen erstaunlichen Eigenschaften: Sie ist ultraleicht, belastbarer als manches Metall und kann extrem elastisch sein....

Im Focus: Erstmalig quantenoptischer Sensor im Weltraum getestet – mit einem Lasersystem aus Berlin

An Bord einer Höhenforschungsrakete wurde erstmals im Weltraum eine Wolke ultrakalter Atome erzeugt. Damit gelang der MAIUS-Mission der Nachweis, dass quantenoptische Sensoren auch in rauen Umgebungen wie dem Weltraum eingesetzt werden können – eine Voraussetzung, um fundamentale Fragen der Wissenschaft beantworten zu können und ein Innovationstreiber für alltägliche Anwendungen.

Gemäß dem Einstein’schen Äquivalenzprinzip werden alle Körper, unabhängig von ihren sonstigen Eigenschaften, gleich stark durch die Gravitationskraft...

Im Focus: Quantum optical sensor for the first time tested in space – with a laser system from Berlin

For the first time ever, a cloud of ultra-cold atoms has been successfully created in space on board of a sounding rocket. The MAIUS mission demonstrates that quantum optical sensors can be operated even in harsh environments like space – a prerequi-site for finding answers to the most challenging questions of fundamental physics and an important innovation driver for everyday applications.

According to Albert Einstein's Equivalence Principle, all bodies are accelerated at the same rate by the Earth's gravity, regardless of their properties. This...

Im Focus: Mikrobe des Jahres 2017: Halobacterium salinarum - einzellige Urform des Sehens

Am 24. Januar 1917 stach Heinrich Klebahn mit einer Nadel in den verfärbten Belag eines gesalzenen Seefischs, übertrug ihn auf festen Nährboden – und entdeckte einige Wochen später rote Kolonien eines "Salzbakteriums". Heute heißt es Halobacterium salinarum und ist genau 100 Jahre später Mikrobe des Jahres 2017, gekürt von der Vereinigung für Allgemeine und Angewandte Mikrobiologie (VAAM). Halobacterium salinarum zählt zu den Archaeen, dem Reich von Mikroben, die zwar Bakterien ähneln, aber tatsächlich enger verwandt mit Pflanzen und Tieren sind.

Rot und salzig
Archaeen sind häufig an außergewöhnliche Lebensräume angepasst, beispielsweise heiße Quellen, extrem saure Gewässer oder – wie H. salinarum – an...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Neuer Algorithmus in der Künstlichen Intelligenz

24.01.2017 | Veranstaltungen

Gehirn und Immunsystem beim Schlaganfall – Neueste Erkenntnisse zur Interaktion zweier Supersysteme

24.01.2017 | Veranstaltungen

Hybride Eisschutzsysteme – Lösungen für eine sichere und nachhaltige Luftfahrt

23.01.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Im Interview mit Harald Holzer, Geschäftsführer der vitaliberty GmbH

24.01.2017 | Unternehmensmeldung

MAIUS-1 – erste Experimente mit ultrakalten Atomen im All

24.01.2017 | Physik Astronomie

European XFEL: Forscher können erste Vorschläge für Experimente einreichen

24.01.2017 | Physik Astronomie