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Neues Labor mit Reinraumklasse 10-100

04.06.2003


Im neuen Labor der Chemnitzer Abteilung "Micro Devices and Equipment" (MDE) des Fraunhofer-Institutes für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin ist es supersteril. Hier herrscht Reinraumklasse 10-100: Pro Kubikfuß Luft (etwa 30 Liter) befinden sich in einigen Bereichen des Reinraums nicht mehr als zehn Staubkörner.

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Dabei dürfen die Partikel nicht größer sein als ein tausendstel Millimeter - das entspricht etwa dem Größenverhältnis eines Stecknadelkopfes zu einem Fußballfeld. In diesem Teil des neuen Institutsgebäudes am Rande des Campus der TU Chemnitz ist es somit tausendmal reiner als in einem Operationssaal und millionenmal sauberer als in der Chemnitzer Außenluft.

Diese Reinheit ist Voraussetzung für die Forschung im Labor. An den Apparaturen und Messgeräten im Wert von 2,1 Millionen Euro sind heute 15 Mitarbeiter der MDE-Abteilung gemeinsam mit Forschern des Zentrums für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz in blauen Overalls und mit Kopfbedeckung zu Gange. Im so genannten Packaging-Labor werden Siliziumscheiben (Siliziumwafer) im Mikro- bis Nanometerbereich bearbeitet und zusammengefügt. So können im neuen Reinraum Wafer mit mikromechanischen Strukturen mit einer Genauigkeit von unter zwei Mikrometer gefügt werden.


Neben dem hochwertigen Equipment für die Entwicklung und Fertigung neuer Wafer-Verbunde befindet sich im Labor eine Anlage für das chemisch-mechanische Polieren (CMP) von Siliziumwafern. Die CMP- Technologie gehört gegenwärtig zu den Herausforderungen der Mikroelektronik, vor allem was die Bearbeitung hochintegrierter Schaltungen mit neuen Metallisierungs- und Isolationskonzepten betrifft. Darüber hinaus eröffnet diese Technologie völlig neue Wege für die Entwicklung von Bauelementen in der Mikrosystemtechnik. Mit dem vorhanden kommerziellen Equipment kann die Abteilung MDE Industriepartner auf höchstem technologischen Niveau bedienen.

Die Abteilung Micro Devices and Equipment (MDE) wurde 1998 als Teil der Zweigstelle Chemnitz des Fraunhofer Institutes für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin mit zwei Mitarbeitern gegründet. Heute arbeiten hier 15 Wissenschaftler.

Die Abteilung beschäftigt sich unter Leitung von Prof. Dr. Thomas Geßner mit der Entwicklung Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) sowie mit Technologien und Ausrüstungen zu ihrer Herstellung. Die Forschungsaktivitäten konzentrieren sich dabei auf neue Aufbau- und Verbindungstechniken, speziell auf die Kombination von Silizium-Mikromechanik mit miniaturisierter traditioneller Feinwerktechnik, sowie Schichtabscheidungstechnologien (CVD, PVD) für mikroelektronische Anwendungen. Die Optimierung von Equipment und Prozessbedingungen wird unterstützt durch Modellierung und Simulation. Mit diesem spezifischen Know-how und einer erstklassigen Ausrüstung bietet die Abteilung MDE in enger Kooperation mit dem Zentrum für Mikrotechnologien an der TU Chemnitz eine hervorragende Entwicklungsumgebung für Mikroelektronik und Silizium- Mikromechanik. Das Dienstleistungsangebot erstreckt sich vom Technologie- und Wissenstransfer über Auftragsforschung für die Industrie bis hin zur kompletten Produktentwicklung eines Mikrosystems vom Entwurf bis zum Prototyp. Die Mitarbeit in vielen Industrie- und öffentlich geförderten Projekten machte bisher eine Projektsumme von sieben Millionen Euro inklusive Investitionen möglich.

Weitere Informationen:

Prof. Dr. Thomas Geßner
Telefon 0371 - 531-3130, Fax - 3131

Mario Baum
Telefon 0371 - 5397-926

| TU Chemnitz
Weitere Informationen:
http://www.tu-chemnitz.de

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