Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Neues Labor mit Reinraumklasse 10-100

04.06.2003


Im neuen Labor der Chemnitzer Abteilung "Micro Devices and Equipment" (MDE) des Fraunhofer-Institutes für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin ist es supersteril. Hier herrscht Reinraumklasse 10-100: Pro Kubikfuß Luft (etwa 30 Liter) befinden sich in einigen Bereichen des Reinraums nicht mehr als zehn Staubkörner.

... mehr zu:
»Equipment »IZM »Labor »MDE

Dabei dürfen die Partikel nicht größer sein als ein tausendstel Millimeter - das entspricht etwa dem Größenverhältnis eines Stecknadelkopfes zu einem Fußballfeld. In diesem Teil des neuen Institutsgebäudes am Rande des Campus der TU Chemnitz ist es somit tausendmal reiner als in einem Operationssaal und millionenmal sauberer als in der Chemnitzer Außenluft.

Diese Reinheit ist Voraussetzung für die Forschung im Labor. An den Apparaturen und Messgeräten im Wert von 2,1 Millionen Euro sind heute 15 Mitarbeiter der MDE-Abteilung gemeinsam mit Forschern des Zentrums für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz in blauen Overalls und mit Kopfbedeckung zu Gange. Im so genannten Packaging-Labor werden Siliziumscheiben (Siliziumwafer) im Mikro- bis Nanometerbereich bearbeitet und zusammengefügt. So können im neuen Reinraum Wafer mit mikromechanischen Strukturen mit einer Genauigkeit von unter zwei Mikrometer gefügt werden.


Neben dem hochwertigen Equipment für die Entwicklung und Fertigung neuer Wafer-Verbunde befindet sich im Labor eine Anlage für das chemisch-mechanische Polieren (CMP) von Siliziumwafern. Die CMP- Technologie gehört gegenwärtig zu den Herausforderungen der Mikroelektronik, vor allem was die Bearbeitung hochintegrierter Schaltungen mit neuen Metallisierungs- und Isolationskonzepten betrifft. Darüber hinaus eröffnet diese Technologie völlig neue Wege für die Entwicklung von Bauelementen in der Mikrosystemtechnik. Mit dem vorhanden kommerziellen Equipment kann die Abteilung MDE Industriepartner auf höchstem technologischen Niveau bedienen.

Die Abteilung Micro Devices and Equipment (MDE) wurde 1998 als Teil der Zweigstelle Chemnitz des Fraunhofer Institutes für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin mit zwei Mitarbeitern gegründet. Heute arbeiten hier 15 Wissenschaftler.

Die Abteilung beschäftigt sich unter Leitung von Prof. Dr. Thomas Geßner mit der Entwicklung Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) sowie mit Technologien und Ausrüstungen zu ihrer Herstellung. Die Forschungsaktivitäten konzentrieren sich dabei auf neue Aufbau- und Verbindungstechniken, speziell auf die Kombination von Silizium-Mikromechanik mit miniaturisierter traditioneller Feinwerktechnik, sowie Schichtabscheidungstechnologien (CVD, PVD) für mikroelektronische Anwendungen. Die Optimierung von Equipment und Prozessbedingungen wird unterstützt durch Modellierung und Simulation. Mit diesem spezifischen Know-how und einer erstklassigen Ausrüstung bietet die Abteilung MDE in enger Kooperation mit dem Zentrum für Mikrotechnologien an der TU Chemnitz eine hervorragende Entwicklungsumgebung für Mikroelektronik und Silizium- Mikromechanik. Das Dienstleistungsangebot erstreckt sich vom Technologie- und Wissenstransfer über Auftragsforschung für die Industrie bis hin zur kompletten Produktentwicklung eines Mikrosystems vom Entwurf bis zum Prototyp. Die Mitarbeit in vielen Industrie- und öffentlich geförderten Projekten machte bisher eine Projektsumme von sieben Millionen Euro inklusive Investitionen möglich.

Weitere Informationen:

Prof. Dr. Thomas Geßner
Telefon 0371 - 531-3130, Fax - 3131

Mario Baum
Telefon 0371 - 5397-926

| TU Chemnitz
Weitere Informationen:
http://www.tu-chemnitz.de

Weitere Berichte zu: Equipment IZM Labor MDE

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Bildung Wissenschaft:

nachricht MINT Nachwuchsbarometer 2017: Digitale Bildung in Deutschland braucht ein Update
22.06.2017 | acatech - Deutsche Akademie der Technikwissenschaften

nachricht Die Verbindung macht’s
24.03.2017 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Bildung Wissenschaft >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Can we see monkeys from space? Emerging technologies to map biodiversity

An international team of scientists has proposed a new multi-disciplinary approach in which an array of new technologies will allow us to map biodiversity and the risks that wildlife is facing at the scale of whole landscapes. The findings are published in Nature Ecology and Evolution. This international research is led by the Kunming Institute of Zoology from China, University of East Anglia, University of Leicester and the Leibniz Institute for Zoo and Wildlife Research.

Using a combination of satellite and ground data, the team proposes that it is now possible to map biodiversity with an accuracy that has not been previously...

Im Focus: Klima-Satellit: Mit robuster Lasertechnik Methan auf der Spur

Hitzewellen in der Arktis, längere Vegetationsperioden in Europa, schwere Überschwemmungen in Westafrika – mit Hilfe des deutsch-französischen Satelliten MERLIN wollen Wissenschaftler ab 2021 die Emissionen des Treibhausgases Methan auf der Erde erforschen. Möglich macht das ein neues robustes Lasersystem des Fraunhofer-Instituts für Lasertechnologie ILT in Aachen, das eine bisher unerreichte Messgenauigkeit erzielt.

Methan entsteht unter anderem bei Fäulnisprozessen. Es ist 25-mal wirksamer als das klimaschädliche Kohlendioxid, kommt in der Erdatmosphäre aber lange nicht...

Im Focus: Climate satellite: Tracking methane with robust laser technology

Heatwaves in the Arctic, longer periods of vegetation in Europe, severe floods in West Africa – starting in 2021, scientists want to explore the emissions of the greenhouse gas methane with the German-French satellite MERLIN. This is made possible by a new robust laser system of the Fraunhofer Institute for Laser Technology ILT in Aachen, which achieves unprecedented measurement accuracy.

Methane is primarily the result of the decomposition of organic matter. The gas has a 25 times greater warming potential than carbon dioxide, but is not as...

Im Focus: How protons move through a fuel cell

Hydrogen is regarded as the energy source of the future: It is produced with solar power and can be used to generate heat and electricity in fuel cells. Empa researchers have now succeeded in decoding the movement of hydrogen ions in crystals – a key step towards more efficient energy conversion in the hydrogen industry of tomorrow.

As charge carriers, electrons and ions play the leading role in electrochemical energy storage devices and converters such as batteries and fuel cells. Proton...

Im Focus: Die Schweiz in Pole-Position in der neuen ESA-Mission

Die Europäische Weltraumagentur ESA gab heute grünes Licht für die industrielle Produktion von PLATO, der grössten europäischen wissenschaftlichen Mission zu Exoplaneten. Partner dieser Mission sind die Universitäten Bern und Genf.

Die Europäische Weltraumagentur ESA lanciert heute PLATO (PLAnetary Transits and Oscillation of stars), die grösste europäische wissenschaftliche Mission zur...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Von Batterieforschung bis Optoelektronik

23.06.2017 | Veranstaltungen

10. HDT-Tagung: Elektrische Antriebstechnologie für Hybrid- und Elektrofahrzeuge

22.06.2017 | Veranstaltungen

„Fit für die Industrie 4.0“ – Tagung von Hochschule Darmstadt und Schader-Stiftung am 27. Juni

22.06.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Radioaktive Elemente in Cassiopeia A liefern Hinweise auf Neutrinos als Ursache der Supernova-Explosion

23.06.2017 | Physik Astronomie

Dünenökosysteme modellieren

23.06.2017 | Ökologie Umwelt- Naturschutz

Makro-Mikrowelle macht Leichtbau für Luft- und Raumfahrt effizienter

23.06.2017 | Materialwissenschaften